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良率案例分析：NAND闪存产品良率爬坡工程实践

共计 30 章节
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01
课程导论
NAND闪存市场现状 · 良率对成本的影响 · 良率爬坡的挑战与意义
课程导论NAND
02
NAND闪存基础
存储单元结构（SLC/MLC/TLC… · 3D NAND堆叠技术 · 编程与擦除原理
NAND闪存基础
03
良率定义与分类
晶圆良率（Die Yield） · 封装良率（Assembly Yiel… · 测试良率（Test Yield）
良率定义分类
04
良率爬坡阶段模型
研发阶段 · 试产阶段 · 量产爬坡阶段
良率爬坡阶段模型研发阶段
05
缺陷工程基础
缺陷分类（随机缺陷 · 系统缺陷 · 参数缺陷）
缺陷工程基础缺陷分类
06
良率数据采集系统
EES（设备工程系统） · MES（制造执行系统） · EDA（工程数据分析）的架构与数据流
良率数据采集系统EES
07
关键工艺模块（一）
光刻工艺对良率的影响（套刻精度 · 线宽均匀性 · 缺陷密度）
关键工艺模块光刻工艺对良率的…
08
关键工艺模块（二）
刻蚀工艺对良率的影响（关键尺寸控制 · 侧壁粗糙度 · 残留物）
关键工艺模块刻蚀工艺对良率的…
09
关键工艺模块（三）
薄膜沉积工艺对良率的影响（膜厚均匀性 · 台阶覆盖 · 针孔缺陷）
关键工艺模块薄膜沉积工艺对良…
10
关键工艺模块（四）
化学机械抛光（CMP）对良率的影响（… · 腐蚀 · 刮伤）
关键工艺模块CMP
11
电性测试与良率关联
WAT（晶圆允收测试）参数（Vt · Ids · Rs）与良率的相关性分析
电性测试良率关联
12
存储单元特性测试
NAND串电流 · 阈值电压分布 · 读干扰
存储单元特性测试NAND
13
良率分析工具（一）
良率地图（Yield Map）与空间… · 划痕 · 边缘效应）
良率分析工具Yield
14
良率分析工具（二）
Pareto图与鱼骨图在根因分析中的…
良率分析工具Pareto
15
良率分析工具（三）
统计过程控制（SPC）与Cp/Cpk…
良率分析工具SPC
16
良率分析工具（四）
数据挖掘与机器学习在良率预测中的应用… · 随机森林）
良率分析工具数据挖掘
17
失效分析技术（一）
光学显微镜（OM） · 扫描电子显微镜（SEM）在缺陷定位中…
失效分析技术OM
18
失效分析技术（二）
透射电子显微镜（TEM） · 能量色散X射线光谱（EDX）在成分分…
失效分析技术TEM
19
失效分析技术（三）
电性失效分析（EFA）与物理失效分析…
失效分析技术EFA
20
良率提升方法论（一）
DMAIC（定义 · 测量 · 分析
良率提升方法论DMAIC
21
良率提升方法论（二）
8D报告（问题描述 · 临时措施 · 根因分析
良率提升方法论8D报告
22
工艺窗口与DOE
设计实验（DOE）方法优化工艺参数 · 扩大工艺窗口 · 提升良率
DOE工艺窗口
23
在线监控与自动化
自动缺陷分类（ADC） · 自动光学检测（AOI）在产线中的应用
线监控自动化
24
良率与可靠性权衡
加速寿命测试（HTOL · TDDB）与良率之间的平衡策略
良率可靠性权衡
25
案例复盘（一）
某3D NAND产品初始良率低（<3…
案例复盘NAND
26
案例复盘（二）
某NAND产品良率爬坡停滞（60%-…
案例复盘NAND
27
案例复盘（三）
某NAND产品测试良率波动大的根因分…
案例复盘NAND
28
案例复盘（四）
某NAND产品封装良率损失的改善（翘…
案例复盘NAND
29
良率爬坡团队协作
YE · PE · PIE
良率爬坡团队协作YE
30
课程总结与未来展望
AI在良率管理中的应用 · 未来NAND技术对良率的新挑战
课程总结未来展望