VIP20
本课程属于：012-芯片测试技术 半导体工艺与制造设备 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

CP测试探针卡选型与测试环境故障排查

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
CP测试基础概念
CP测试定义 · CP测试在半导体制造流程中的位置 · CP测试与FT测试的区别
CP测试基础概念
02
探针卡概述
探针卡的功能 · 探针卡的类型（悬臂针 · 垂直针
探针卡概述探针卡的功能
03
探针卡选型核心参数（一）
探针间距（Pitch） · 探针数量（Channel Count… · 探针材料（钨
探针卡选型核心参…Pitch
04
探针卡选型核心参数（二）
最大测试频率 · 寄生电容与电感 · 电流承载能力（DC/AC）
探针卡选型核心参…最大测试频率
05
探针卡选型核心参数（三）
探针力（Probe Force） · 探针行程（Overdrive） · 探针寿命（Touchdown Cyc…
探针卡选型核心参…Probe
06
探针卡选型流程
根据DIE尺寸与Pad布局确定Pit… · 根据测试机台接口确定PCB规格 · 根据测试频率确定信号完整性方案
探针卡选型流程DIE
07
探针卡PCB设计要点
多层板叠层设计 · 阻抗控制（50Ω/75Ω） · 去耦电容布局
PCB探针卡
08
探针卡与测试机接口
接口类型（Pogo Tower · Hi-Fix · Socket）
探针卡测试机接口
09
探针卡清洁与维护
清洁频率 · 清洁方法（超声波 · 擦拭
探针卡清洁维护
10
探针卡存储与运输
存储环境要求（温湿度 · 防静电） · 运输包装规范
探针卡存储运输
11
测试环境搭建（一）
测试机台（Tester）基本架构 · 探针台（Prober）基本架构 · 温控系统（Chuck）连接
测试环境搭建Tester
12
测试环境搭建（二）
探针卡安装步骤 · 水平校准（Leveling） · 零点校准（Zeroing）
测试环境搭建探针卡安装步骤
13
测试环境搭建（三）
测试程序加载 · DUT供电设置（VDD/VSS） · 信号通道验证（Continuity…
测试环境搭建测试程序加载
14
常见故障现象分类
接触不良（Open/High Res… · 短路（Short） · 漏电（Leakage）
常见故障现象分类Open/High
15
接触不良故障排查
探针针尖污染 · Pad氧化 · Overdrive不足
接触不良故障排查探针针尖污染
16
短路故障排查
探针变形导致相邻针短路 · PCB内部微短路 · 探针卡与DUT机械干涉
短路故障排查探针变形导致相邻…
17
漏电故障排查
探针卡表面污染 · PCB绝缘层破损 · 测试环境湿度影响
漏电故障排查探针卡表面污染
18
信号完整性故障排查
高频衰减 · 串扰（Crosstalk） · 阻抗不匹配
信号完整性故障排…高频衰减
19
探针卡寿命管理
探针磨损监测方法 · 探针更换标准 · 探针卡翻新（Refurbish）流程
探针卡寿命管理探针磨损监测方法
20
测试数据异常分析
良率（Yield）骤降分析 · Shmoo图解读 · Bin分布异常排查
测试数据异常分析Yield
21
探针卡与测试机台兼容性测试
机械接口兼容性 · 电气参数匹配 · 软件驱动兼容性
探针卡测试机台兼容性测…
22
探针卡验收标准
外观检查 · 电气测试（开路/短路/绝缘） · 接触电阻一致性测试
探针卡验收标准外观检查
23
探针卡故障快速定位工具
万用表 · 示波器 · TDR（时域反射计）
探针卡故障快速定…万用表
24
探针卡故障排查流程（一）
故障现象确认 · 测试环境检查 · 探针卡外观检查
探针卡故障排查流…故障现象确认
25
探针卡故障排查流程（二）
分段隔离法（Tester/Probe… · 替换法 · 对比测试法
探针卡故障排查流…Tester/Probe
26
探针卡故障排查流程（三）
数据日志分析 · 波形捕获分析 · 故障复现与根因定位
探针卡故障排查流…数据日志分析
27
探针卡选型案例分析（一）
低引脚数（<100）模拟芯片探针卡选…
探针卡选型案例分…低引脚数
28
探针卡选型案例分析（二）
高引脚数（>1000）数字SoC芯片…
探针卡选型案例分…SoC
29
探针卡选型案例分析（三）
射频（RF）芯片探针卡选型实例（高频…
探针卡选型案例分…RF
30
探针卡技术发展趋势
MEMS探针卡技术 · 多层陶瓷探针卡 · 3D探针卡
探针卡技术发展趋…MEMS