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半导体工艺与制造设备
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001-半导体器件SPICE建模
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《半导体器件SPICE模型参数提取实战》
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半导体器件SPICE模型参数提取实战
共计 30 章节
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01
课程导论与预备知识
半导体物理基础回顾 · PN结原理 · MOSFET工作原理
课程导论
预备知识
02
SPICE模型分类与选择
Level 1/2/3模型 · BSIM3/4模型 · PSP模型
SPICE
模型分类
03
测量数据获取与预处理
IV/CV测试原理 · 探针台与参数分析仪使用 · 数据格式转换
测量数据获取
预处理
04
参数提取工具与环境搭建
IC-CAP · MBP · BSIMProPlus
参数提取工具
环境搭建
05
MOSFET直流参数提取(一)
阈值电压Vth提取方法(线性外推法 · 常数电流法 · 二阶导数法)
MOSFET
直流参数提取
06
MOSFET直流参数提取(二)
迁移率μ0与迁移率退化参数提取 · 饱和速度vsat提取
MOSFET
直流参数提取
07
MOSFET直流参数提取(三)
沟道长度调制系数λ · 体效应系数γ · 衬底掺杂浓度NA提取
MOSFET
直流参数提取
08
MOSFET交流参数提取(一)
栅氧化层电容Cox提取 · 栅电阻Rg提取 · 源漏电阻Rs/Rd提取
MOSFET
交流参数提取
09
MOSFET交流参数提取(二)
交叠电容Cgs/Cgd/Cgb提取 · 结电容Cj/Cjsw提取
MOSFET
交流参数提取
10
BSIM4模型参数提取(一)
模型参数集概述 · 几何缩放参数 · 工艺参数初始化
BSIM4
模型参数提取
11
BSIM4模型参数提取(二)
I-V特性参数提取(Id-Vgs · Id-Vds曲线拟合策略)
BSIM4
模型参数提取
12
BSIM4模型参数提取(三)
C-V特性参数提取(Cgg-Vgs · Cgd-Vds曲线拟合)
BSIM4
模型参数提取
13
BSIM4模型参数提取(四)
输出电导与跨导参数优化 · Gm/Id方法应用
BSIM4
模型参数提取
14
BSIM4模型参数提取(五)
温度效应参数提取(Tnom · Tcv · Ute等)
BSIM4
模型参数提取
15
BSIM4模型参数提取(六)
噪声模型参数提取(闪烁噪声 · 热噪声参数)
BSIM4
模型参数提取
16
BSIM4模型参数提取(七)
匹配模型参数提取(失配模型 · 蒙特卡洛参数)
BSIM4
模型参数提取
17
BSIM4模型参数提取(八)
射频模型参数提取(S参数 · 小信号等效电路)
BSIM4
模型参数提取
18
BSIM4模型参数提取(九)
自热效应参数提取(Rth · Cth · Pth)
BSIM4
模型参数提取
19
BSIM4模型参数提取(十)
应力效应参数提取(机械应力 · 热应力)
BSIM4
模型参数提取
20
BSIM4模型参数提取(十一)
辐射效应参数提取(总剂量效应 · 单粒子效应)
BSIM4
模型参数提取
21
BSIM4模型参数提取(十二)
可靠性模型参数提取(热载流子注入 · 负偏置温度不稳定性)
BSIM4
模型参数提取
22
BSIM4模型参数提取(十三)
统计模型参数提取(工艺角模型 · 全局/局部变化)
BSIM4
模型参数提取
23
BSIM4模型参数提取(十四)
模型验证与校准(DC/AC/瞬态验证 · 交叉验证)
BSIM4
模型参数提取
24
BSIM4模型参数提取(十五)
模型库生成与封装(PDK集成 · 模型文件格式)
BSIM4
模型参数提取
25
BSIM4模型参数提取(十六)
自动化提取脚本开发(Python/P… · 优化算法)
BSIM4
模型参数提取
26
BSIM4模型参数提取(十七)
多器件联合提取(不同尺寸 · 不同温度 · 不同工艺角)
BSIM4
模型参数提取
27
BSIM4模型参数提取(十八)
模型参数敏感性分析与优化(全局敏感性… · 局部优化)
BSIM4
模型参数提取
28
BSIM4模型参数提取(十九)
模型参数提取案例实战(28nm/45…
BSIM4
模型参数提取
29
BSIM4模型参数提取(二十)
模型参数提取常见问题与调试技巧(收敛… · 参数相关性)
BSIM4
模型参数提取
30
课程总结与进阶方向
模型参数提取未来趋势 · 机器学习在建模中的应用 · 课程项目答辩指导
课程总结
进阶方向
所属VIP或分类
同VIP:BSIM4模型参数提取:沟道长度调制与DIBL效应拟合
同VIP:GaN-HEMT小信号建模:S参数提取与等效电路拟合
同VIP:GaN-HEMT建模:从器件物理到SPICE模型生成