VIP10
本课程属于：017-薄膜铌酸锂TFLN集成光子工程 光子技术_硅光与光通信工程 · 共 10 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

TFLN晶圆工艺与器件制造工程

共计 30 章节
可可资料掘金营 · 点击在线试看
01
课程导入与TFLN技术全景
目标=薄膜铌酸锂的材料特性 · 晶圆工艺与器件制造工程的整体框架 · 学习目标与产业应用图谱
TFLN课程导入
02
TFLN晶圆衬底工程
目标=从铌酸锂体晶生长 · 智能剥离与键合到薄膜转移的完整衬底制… · 以及厚度均匀性
TFLN晶圆衬底工程
03
TFLN晶圆键合与剥离工艺实战
目标=苯并环丁烯 · 氧化物等中间层键合 · 离子注入剥离参数设计
TFLN晶圆键合
04
TFLN晶圆表面处理与清洗
目标=化学机械抛光 · 湿法清洗 · 等离子体活化对表面态与后续工艺的影响
TFLN晶圆表面处理
05
TFLN光刻工艺与图形化
目标=紫外光刻 · 电子束光刻 · 纳米压印在TFLN上的工艺窗口
TFLN光刻工艺
06
TFLN干法刻蚀核心工艺
目标=电感耦合等离子体刻蚀 · 反应离子刻蚀的化学与物理机制 · 刻蚀气体配比
TFLN干法刻蚀核心工艺
07
TFLN刻蚀损伤与修复
目标=刻蚀引起的晶格损伤 · 表面粗糙化 · 锂元素损耗机制
TFLN刻蚀损伤
08
TFLN波导结构制造
目标=脊型波导 · 加载条波导 · 光子晶体波导的版图设计
TFLN波导结构制造
09
TFLN微纳加工中的薄膜应力管理
目标=薄膜应力来源 · 晶圆翘曲测量 · 应力对光学损耗与器件频率响应的影响及…
TFLN微纳加工
10
TFLN电光调制器制造工程
目标=行波电极设计 · 马赫-曾德尔与微环调制器结构 · 电极与波导对准工艺及调制效率测试
TFLN电光调制器制造工…
11
TFLN电极与互连工艺
目标=金 · 铜等金属电极的沉积 · 剥离与电镀工艺
TFLN电极
12
TFLN周期极化与非线性器件制造
目标=电场极化工艺 · 周期极化铌酸锂的占空比控制 · 铁电畴翻转动力学与非线性频率转换器件…
TFLN周期极化
13
TFLN声光与压电器件制造
目标=声表面波与体声波器件在TFLN… · 声学模式匹配与机电耦合系数优化
TFLN声光
14
TFLN晶圆级封装与划片
目标=晶圆减薄 · 划片 · 端面抛光
TFLN晶圆级封装
15
TFLN器件测试与表征方法
目标=插入损耗 · 消光比 · 半波电压
TFLN器件测试
16
TFLN工艺集成与工艺设计套件
目标=多项目晶圆流片 · 工艺设计套件开发 · 设计规则检查与器件模型库的工程化实践
TFLN工艺集成
17
TFLN晶圆缺陷分析与良率工程
目标=缺陷分类 · 失效分析手段 · 统计过程控制与良率提升的系统方法及实…
TFLN晶圆缺陷分析
18
TFLN与硅光异质集成
目标=TFLN与硅 · 氮化硅等平台的异质键合与集成方案 · 模斑转换
TFLN硅光异质集成
19
TFLN量子与非线性光学器件制造
目标=量子光源 · 压缩态产生 · 频率梳等器件对晶圆工艺的特殊要求与制…
TFLN量子
20
TFLN薄膜转移与衬底回收技术
目标=晶圆级薄膜转移的批量一致性 · 衬底回收再利用的工艺路径与成本效益分…
TFLN薄膜转移
21
TFLN工艺中的洁净室与设备工程
目标=洁净室等级要求 · 关键设备选型与维护 · 工艺腔体污染控制与设备匹配
TFLN工艺
22
TFLN光刻版图设计与工艺协同
目标=版图设计规则 · 光学邻近效应修正 · 工艺偏差对器件性能的影响与设计补偿
TFLN光刻版图设计
23
TFLN退火与热处理工艺
目标=退火温度 · 气氛 · 时间对薄膜结晶质量
TFLN退火
24
TFLN器件可靠性工程
目标=加速老化测试 · 温度循环 · 湿度偏压测试与失效机理分析
TFLN器件可靠性工程
25
TFLN晶圆在线监测与量测
目标=膜厚 · 刻蚀深度 · 线宽
TFLN晶圆
26
TFLN调制器阵列与大规模集成
目标=多通道调制器阵列的串扰抑制 · 热光相位调控 · 电极布线密度与晶圆级集成挑战
TFLN调制器阵列
27
TFLN工艺成本模型与量产化
目标=从研发到量产的工艺成本构成 · 产能规划 · 设备利用率与降本路径分析
TFLN工艺成本模型
28
TFLN器件制造中的环境与安全
目标=铌酸锂粉尘 · 刻蚀气体 · 有机溶剂等危险源管理
TFLN器件制造
29
TFLN前沿工艺探索
目标=新型刻蚀技术 · 选择性外延 · 二维材料集成等前沿方向对晶圆工艺与器…
TFLN前沿工艺探索
30
TFLN晶圆工艺与器件制造综合实战
目标=从器件指标定义 · 工艺流程设计 · 流片实施到测试验证的完整项目模拟与复…
TFLN晶圆工艺