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硅氮光子与硅光混合集成工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程全景
目标=硅氮光子与硅光混合集成的定义 · 技术边界 · 典型应用场景
课程导入工程全景
02
硅氮材料体系与光学特性
目标=SiNx化学计量比调控 · 折射率与应力关系 · 光损耗机制
硅氮材料体系光学特性
03
硅光平台基础与混合集成需求
目标=SOI波导 · 调制器 · 探测器
硅光平台基础混合集成需求
04
混合集成架构设计
目标=硅氮波导层与硅光层垂直/横向耦… · 层间对准容差 · 模式匹配与偏振管理
混合集成架构设计目标=硅氮波导层
05
硅氮薄膜沉积工艺
目标=LPCVD · PECVD · ICP-CVD沉积SiNx的工艺窗口
硅氮薄膜沉积工艺LPCVD
06
硅氮波导刻蚀与图形化
目标=光刻 · 干法刻蚀 · 侧壁粗糙度控制
硅氮波导刻蚀图形化
07
硅氮波导后处理与退火
目标=高温退火对氢键 · 损耗 · 应力及CMOS兼容性的影响
硅氮波导后处理退火
08
硅光波导与器件制造回顾
目标=SOI波导 · MMI · 定向耦合器
硅光波导器件制造回顾
09
层间耦合器设计与仿真
目标=硅氮-硅光垂直耦合器 · 渐逝耦合 · 绝热耦合的FDTD/FDE仿真与参数…
层间耦合器设计仿真
10
混合集成对准与键合技术
目标=晶圆键合 · 芯片键合 · 对准标记设计
混合集成对准键合技术
11
硅氮光子无源器件设计
目标=基于SiNx的微环 · 阵列波导光栅 · 多模干涉器
硅氮光子无源器件…SiNx
12
硅氮光子有源器件集成
目标=SiNx与硅光调制器 · 探测器 · 激光器的异质集成界面与模式转换
硅氮光子有源器件…SiNx
13
混合集成中的光损耗预算
目标=耦合损耗 · 传播损耗 · 弯曲损耗
混合集成光损耗预算
14
硅氮光子与硅光混合集成的偏振管理
目标=偏振分束器 · 偏振旋转器 · 应力双折射补偿与偏振透明设计
硅氮光子硅光混合集成的偏…
15
热光与电光调谐集成
目标=硅氮热光移相器 · 硅光载流子调制器 · 混合调谐效率与功耗优化
热光电光调谐集成
16
混合集成版图与设计流程
目标=PDK构建 · 层映射 · DRC规则
混合集成版图设计流程
17
工艺集成与CMOS兼容性
目标=热预算 · 污染控制 · 硅氮沉积对硅光器件性能的影响与隔离策…
CMOS工艺集成
18
混合集成芯片测试与表征
目标=端面耦合 · 光栅耦合 · 光谱响应
混合集成芯片测试表征
19
硅氮光子与硅光混合集成的封装
目标=光纤阵列对准 · 热管理 · 气密封装与可靠性验证
硅氮光子硅光混合集成的封…
20
典型应用一
目标=混合集成可调谐激光器与光频梳
典型应用一目标=混合集成可…
21
典型应用二
目标=混合集成微波光子链路 · 硅光调制器与探测器的协同设计与系统验…
典型应用二目标=混合集成微…
22
典型应用三
目标=混合集成量子光子芯片
典型应用三目标=混合集成量…
23
典型应用四
目标=混合集成生物传感与光谱仪
典型应用四目标=混合集成生…
24
混合集成中的非线性效应与利用
目标=硅氮中的四波混频 · 克尔效应与硅光中的非线性损耗对比
混合集成非线性效应
25
良率与可靠性工程
目标=工艺波动 · 缺陷密度 · 加速老化测试与混合集成芯片的寿命预测
良率可靠性工程
26
设计-工艺协同优化
目标=基于实测数据的模型校准 · 工艺角仿真与鲁棒性设计方法
设计工艺协同优化
27
混合集成工程实战
目标=从需求到流片 · 仿真与版图
混合集成工程实战目标=从需求到流…
28
流片数据回传与失效分析
目标=测试结果分析 · 失效定位 · 工艺迭代与设计修正的闭环实践
流片数据回传失效分析
29
前沿进展与文献研讨
目标=硅氮光子与硅光混合集成的最新顶… · 技术路线对比与未解决问题
前沿进展文献研讨
30
课程项目答辩与总结
目标=各组展示混合集成芯片设计 · 测试结果与工程报告 · 总结关键技术挑战与未来方向
课程项目答辩目标=各组展示混…