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光子技术_硅光与光通信工程
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005-硅光制造与异质集成光子工程
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《硅光制造数据分析与良率提升》
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本课程属于:005-硅光制造与异质集成光子工程
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硅光制造数据分析与良率提升
共计 30 章节
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01
硅光制造良率挑战导入
目标=硅光芯片制造流程概览 · 良率损失的主要环节 · 数据分析在良率提升中的角色与课程学习…
硅光制造良率挑战…
目标=硅光芯片制…
02
硅光制造数据版图
目标=晶圆厂数据源分类 · 工艺设备数据 · 量测与测试数据
硅光制造数据版图
目标=晶圆厂数据…
03
硅光晶圆数据清洗实战
目标=缺失值处理 · 异常值识别 · 重复记录去重
硅光晶圆数据清洗…
目标=缺失值处理
04
硅光工艺参数特征工程
目标=光刻 · 刻蚀 · 沉积
硅光工艺参数特征…
目标=光刻
05
硅光器件性能数据探索性分析
目标=插入损耗 · 消光比 · 带宽
硅光器件性能数据…
目标=插入损耗
06
良率数据可视化与报表
目标=晶圆图绘制 · 良率趋势图 · 帕累托图
良率数据可视化
报表
07
硅光制造统计过程控制
目标=控制图选择 · 过程能力指数Cpk/Ppk计算 · Western Electric规则
硅光制造统计过程…
目标=控制图选择
08
良率与工艺参数相关性分析
目标=皮尔逊与斯皮尔曼相关 · 互信息 · 偏相关
良率
工艺参数相关性分…
09
硅光良率预测建模基础
目标=线性回归 · 正则化回归 · 决策树
硅光良率预测建模…
目标=线性回归
10
硅光良率分类与缺陷预测
目标=逻辑回归 · 支持向量机 · 梯度提升树
硅光良率分类
缺陷预测
11
硅光制造中的时间序列分析
目标=设备传感器时序数据 · 趋势与季节性分解 · 自相关与偏自相关
硅光制造
时间序列分析
12
硅光量测数据与测试数据融合
目标=在线量测与离线测试数据对齐 · 多源数据合并 · 特征级融合
硅光量测数据
测试数据融合
13
硅光制造中的实验设计
目标=全因子与部分因子设计 · 响应曲面法 · 正交表
硅光制造
实验设计
14
良率根因分析实战
目标=5Why · 鱼骨图 · 故障树分析
良率根因分析实战
Why
15
硅光晶圆图分析与缺陷聚类
目标=晶圆图坐标系统 · 缺陷密度图 · 聚类算法
硅光晶圆图分析
缺陷聚类
16
硅光制造中的机器学习进阶
目标=集成学习 · XGBoost与LightGBM · 超参数调优
硅光制造
机器学习进阶
17
硅光工艺设备异常检测
目标=设备日志与传感器数据 · 无监督异常检测 · 孤立森林
硅光工艺设备异常…
目标=设备日志
18
硅光制造良率提升的反馈控制
目标=统计反馈控制 · Run-to-Run控制 · APC简介
硅光制造良率提升…
目标=统计反馈控…
19
硅光封装与测试良率数据分析
目标=耦合封装工艺数据 · 对准偏差分析 · 温度循环测试
硅光封装
测试良率数据分析
20
硅光制造大数据平台与工具链
目标=数据湖与数据仓库 · Spark与Dask · Jupyter与版本控制
硅光制造大数据平…
工具链
21
硅光良率提升项目管理
目标=良率提升目标设定 · 跨部门协作 · 数据驱动决策流程
硅光良率提升项目…
目标=良率提升目…
22
硅光制造中的成本与良率权衡
目标=晶圆成本构成 · 测试成本 · 封装成本
硅光制造
成本
23
硅光制造数据安全与合规
目标=数据隐私 · 知识产权保护 · 访问控制
硅光制造数据安全
合规
24
硅光制造数字孪生与仿真
目标=工艺仿真基础 · TCAD与FDTD简介 · 数字孪生架构
硅光制造数字孪生
仿真
25
硅光良率提升案例一
目标=波导损耗良率问题:数据收集 · 特征分析 · 根因定位
硅光良率提升案例…
目标=波导损耗良…
26
硅光良率提升案例二
目标=调制器带宽良率问题:多变量分析 · DOE优化 · 机器学习预测
硅光良率提升案例…
目标=调制器带宽…
27
硅光良率提升案例三
目标=探测器暗电流良率问题:缺陷分析 · 设备参数关联 · SPC预警
硅光良率提升案例…
目标=探测器暗电…
28
硅光制造良率分析报告撰写
目标=报告结构 · 数据可视化呈现 · 结论与建议
硅光制造良率分析…
目标=报告结构
29
硅光良率提升前沿方法
目标=迁移学习 · 小样本学习 · 强化学习在工艺优化中的应用
硅光良率提升前沿…
目标=迁移学习
30
课程综合实战
目标=端到端硅光良率分析项目 · 数据获取与清洗 · 特征工程
课程综合实战
目标=端到端硅光…
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