2. 光与半导体基础

图像传感器之所以能把“看到的画面”变成“可计算的数字”,根源在于光与半导体之间的一次能量交换。CCD 与 CMOS 虽然读出方式不同,但它们的感光起点完全一致:光子进入硅,被吸收,激发电子,形成可被收集的电荷。理解这条物理链路,是理解量子效率、灵敏度、噪声和光谱响应的前提。

一、光子:携带能量的最小光单位

光具有波粒二象性。在图像传感器语境中,我们更关心它的粒子性:光子携带一份离散能量,单个光子能量由普朗克关系决定:

E = h · ν = h · c / λ

h = 6.626×10⁻³⁴ J·s   (普朗克常数)
c = 3×10⁸ m/s          (真空光速)
λ = 光波长(m)
ν = 光频率(Hz)

由公式可见,波长越短,单光子能量越高;波长越长,单光子能量越低。例如 450 nm 蓝光单光子能量约 2.76 eV,550 nm 绿光约 2.25 eV,650 nm 红光约 1.91 eV,而 850 nm 近红外仅约 1.46 eV。这个数值直接决定了硅能否“接住”它。

二、光电效应与能带理论:硅为什么能感光

半导体硅的电子占据能带。价带中的电子被共价键束缚,导带中的电子可以自由移动参与导电。二者之间是禁带,硅的禁带宽度约为 1.12 eV(室温)。当光子能量大于或等于禁带宽度时,价带电子吸收光子后跃迁到导带,同时在价带留下一个空穴,形成“电子—空穴对”。这就是内光电效应,也是硅基光电转换的物理本质。

由此可推出硅的截止波长:

λc = h · c / Eg = 1240 / 1.12 ≈ 1107 nm

Eg = 1.12 eV(硅室温禁带宽度)
1240 = h·c 换算为 eV·nm 的常数

也就是说,波长长于约 1100 nm 的光子,即使照进硅中,也无法把电子从价带激发到导带,硅对它们基本“透明”。这就是硅图像传感器在近红外长波端响应迅速下降的根本原因。

硅基光电转换:能带跃迁与量子效率 能带与光子能量 导带 Ec(电子可自由移动) 禁带 Eg ≈ 1.12 eV 光子能量 ≥ Eg 才能激发跃迁 价带 Ev(电子被共价键束缚) 光子吸收 + 空穴 − 电子 量子效率 QE 随波长变化 λ/nm QE 400 500 600 700 900 峰值 QE 约 60%~80% λc ≈ 1100 nm 短波吸收浅、长波吸收深;过深则载流子难收集,QE 下降

三、量子效率:一个光子能换来多少电子

量子效率(Quantum Efficiency,QE)定义为收集到的电子数与入射光子数之比:

QE = 收集电子数 / 入射光子数 × 100%

外量子效率 EQE:包含表面反射、吸收损失后的实际比例
内量子效率 IQE:只统计被硅吸收的光子中有多少转化为可收集载流子

QE 不是固定值,它随波长变化。典型硅图像传感器在 500~600 nm 绿光附近 QE 最高,可达 60%~80%;蓝光端因表面复合和吸收深度极浅而下降;近红外端因硅吸收系数变小、光子穿透太深而下降。因此,QE 曲线是评价传感器光谱能力的关键参数。

四、硅基光电转换的完整链路

从光子到数字信号,硅基图像传感器经历以下物理与电路过程:

  1. 入射与透射:光经过微透镜、彩色滤光片、抗反射层进入硅表面。
  2. 吸收:硅吸收光子,吸收深度与波长相关,蓝光约 0.1~0.3 μm,红光约 1~3 μm,近红外可达数十微米。
  3. 激发:光子能量 ≥ Eg 时产生电子—空穴对。
  4. 收集:耗尽区电场将电子扫入势阱,空穴被排走。
  5. 转换:电荷经浮置扩散节点转为电压,再经放大、采样、量化成为数字码值。

关键结论:光子能量决定“能不能激发”,硅吸收深度决定“在哪里激发”,耗尽区与收集结构决定“能不能收得到”,量子效率决定“收得好不好”。四者共同决定传感器的灵敏度与光谱响应。

五、案例与场景:为什么近红外相机更贵、更“吃力”

在安防监控、机器视觉和生物成像中,常需要 850 nm 或 940 nm 近红外补光。此时单光子能量仅约 1.46 eV 和 1.32 eV,虽仍高于硅的 1.12 eV,但硅的吸收系数已大幅下降。光子会穿透到硅深处,产生的载流子远离表面耗尽区,收集效率降低,串扰增加,QE 明显下滑。为改善这一点,工程上常采用:

  • 加厚外延层或使用高阻硅,扩大耗尽区体积;
  • 背面照射(BSI)结构,让光从背面进入,缩短载流子收集路径;
  • 深沟槽隔离,抑制相邻像素间的近红外串扰;
  • 提高抗反射层在近红外的透射率。

六、常见误区与复盘

误区 正确理解
“光越强,QE 越高” QE 是比例,与光强无关;光强影响的是信号绝对量,不是转换比例。
“所有波长都能被硅感光” 只有光子能量 ≥ 1.12 eV,即波长 ≤ 约 1100 nm 的光才能激发硅。
“QE 越高,图像一定越好” QE 高有利于灵敏度,但还要看噪声、暗电流、串扰和动态范围。
“蓝光更容易被吸收,所以蓝光 QE 最高” 蓝光吸收太浅,表面复合严重,实际 QE 往往低于绿光。

学习提示:记住三个数字——硅禁带宽度 1.12 eV、截止波长约 1100 nm、绿光附近 QE 峰值。它们能帮你快速判断一个传感器在可见光与近红外场景中的基本表现。

光与半导体的相互作用,是 CCD 与 CMOS 共同的物理地基。光子带来能量,能带决定门槛,吸收深度决定位置,量子效率决定产出。后续讨论像素结构、读出噪声和色彩还原时,都会反复回到这条链路。