VIP20
本课程属于：022-Applied Materials薄膜沉积与半导体制造工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

AMAT制造设备量产导入与工程交付

共计 30 章节
可可资料掘金营 · 点击在线试看
01
课程导入与全景认知
目标=AMAT制造设备量产导入与工程… · 业务范围 · 核心价值
课程导入全景认知
02
AMAT设备技术概览
目标=面向量产导入的AMAT设备分类 · 关键模块 · 工艺接口
AMAT设备技术概览
03
量产导入项目启动
目标=项目章程 · 范围界定 · 交付物清单
量产导入项目启动目标=项目章程
04
客户需求与规格转化
目标=将客户工艺需求 · 产能目标 · 良率要求转化为设备技术规格
客户需求规格转化
05
设备选型与配置确认
目标=基于工艺窗口 · 产能模型 · 兼容性
设备选型配置确认
06
厂务与设施条件准备
目标=电力 · 气体 · 化学品
厂务设施条件准备
07
设备到厂与开箱验收
目标=物流计划 · 到厂检查 · 开箱验收
设备到厂开箱验收
08
机械安装与水平校准
目标=框架组装 · 模块就位 · 水平调整
机械安装水平校准
09
电气与控制系统安装
目标=配电接入 · 接地 · 信号线缆
电气控制系统安装
10
气体与化学品系统连接
目标=特气柜 · VMB · 化学品供应
气体化学品系统连接
11
真空与排气系统调试
目标=真空泵 · 管路 · 阀门
真空排气系统调试
12
软件与配方加载
目标=设备控制软件 · 配方管理 · 数据采集
软件配方加载
13
单机功能测试
目标=各模块手动/自动功能验证 · 安全联锁测试 · 报警测试
单机功能测试目标=各模块手动
14
工艺调试与参数优化
目标=工艺窗口探索 · DOE方法 · 关键参数调优
工艺调试参数优化
15
首片与试片验证
目标=首片流片计划 · 试片选择 · 量测方案
首片试片验证
16
良率与缺陷分析
目标=缺陷分类 · 根因分析 · SPC监控
良率缺陷分析
17
产能与节拍验证
目标=UPH测算 · 瓶颈分析 · 搬运与换片时间优化
产能节拍验证
18
设备稳定性与可靠性测试
目标=MTBF/MTTR评估 · 连续跑片 · 压力测试
设备稳定性可靠性测试
19
量产导入验收
目标=SAT/FAT · 验收标准 · 数据包准备
量产导入验收SAT/FAT
20
工程交付文档体系
目标=设备手册 · 图纸 · BOM
工程交付文档体系目标=设备手册
21
备件与耗材管理
目标=关键备件识别 · 安全库存 · 耗材寿命
备件耗材管理
22
培训与知识转移
目标=操作员 · 工程师 · 维护人员培训体系
培训知识转移
23
维护与故障响应
目标=预防性维护计划 · 故障诊断树 · 远程支持
维护故障响应
24
变更管理与配置控制
目标=工程变更请求 · 影响评估 · 审批流程
变更管理配置控制
25
安全、健康与环境合规
目标=EHS风险评估 · 化学品安全 · 辐射/激光安全
安全健康
26
跨部门与客户协同
目标=与工艺 · 制造 · 厂务
跨部门客户协同
27
风险与问题管理
目标=风险登记册 · FMEA · 问题升级
风险问题管理
28
量产爬坡与移交
目标=爬坡计划 · 性能监控 · 移交标准
量产爬坡移交
29
项目复盘与持续改进
目标=项目KPI回顾 · 成本/进度/质量分析 · 最佳实践提炼与组织过程资产更新
项目复盘持续改进
30
综合实战与结业项目
目标=以真实AMAT设备量产导入项目… · 完成从启动 · 安装
综合实战结业项目