VIP20
本课程属于：022-Applied Materials薄膜沉积与半导体制造工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

Applied Materials薄膜缺陷诊断与颗粒治理

共计 30 章节
可可资料掘金营 · 点击在线试看
01
课程导入与全景认知
目标=Applied Materia… · 缺陷与颗粒对良率的影响 · 课程目标与学习路径
课程导入全景认知
02
薄膜缺陷与颗粒的基础分类
目标=按来源 · 形貌 · 尺寸
薄膜缺陷颗粒的基础分类
03
Applied Materials薄膜沉积设备概览
目标=PVD · CVD · ALD等平台的基本结构
AppliedMaterials
04
缺陷检测与表征技术总览
目标=光学显微镜 · SEM · TEM
缺陷检测表征技术总览
05
颗粒检测与计数方法
目标=激光散射 · 表面扫描 · 电子束检测原理
颗粒检测计数方法
06
缺陷数据管理与分析流程
目标=缺陷图谱 · KLA与Applied Materi… · 统计过程控制与良率关联
缺陷数据管理分析流程
07
薄膜缺陷诊断的根因分析方法
目标=鱼骨图 · 5Why · 故障树
薄膜缺陷诊断的根…目标=鱼骨图
08
颗粒来源追踪与污染路径分析
目标=从环境 · 化学品 · 气体
颗粒来源追踪污染路径分析
09
PVD工艺中的颗粒与缺陷治理
目标=靶材溅射 · 挡板沉积 · 电弧与液滴形成机制及抑制策略
PVD工艺
10
CVD工艺中的颗粒与缺陷治理
目标=气相成核 · 腔壁沉积 · 气流与温度场不均导致的颗粒问题及对策
CVD工艺
11
ALD工艺中的颗粒与缺陷治理
目标=前驱体反应 · 吹扫不足 · 颗粒生成与膜层针孔缺陷的诊断与解决
ALD工艺
12
外延与选择性沉积中的缺陷诊断
目标=晶格失配 · 位错 · 堆垛层错与颗粒污染的区分与治理
外延选择性沉积
13
薄膜应力与缺陷关联分析
目标=应力诱导裂纹 · 剥离 · 空洞的形成机制及工艺窗口优化
薄膜应力缺陷关联分析
14
界面缺陷与附着力问题诊断
目标=界面污染 · 氧化 · 扩散阻挡层失效导致的缺陷与颗粒剥离
界面缺陷附着力问题诊断
15
腔室清洁与预防性维护对缺陷的影响
目标=清洁周期 · 清洁气体 · 部件寿命与颗粒再生的关系
腔室清洁预防性维护对缺陷…
16
化学品与气体纯度对颗粒缺陷的影响
目标=过滤器 · 管路 · 阀门
化学品气体纯度对颗粒缺…
17
晶圆传输与机械手颗粒控制
目标=大气与真空传输模块 · 机械手接触 · 静电吸附与颗粒转移
晶圆传输机械手颗粒控制
18
洁净室环境与人员操作对缺陷的贡献
目标=洁净度等级 · 气流组织 · 人员行为
洁净室环境人员操作对缺陷的…
19
缺陷复检与失效分析实战
目标=从缺陷发现到取样 · 制样 · TEM/EDS分析
缺陷复检失效分析实战
20
颗粒治理的工程控制方法
目标=源头控制 · 传播路径阻断 · 终端防护与在线监测的组合策略
颗粒治理的工程控…目标=源头控制
21
工艺参数优化减少缺陷与颗粒
目标=温度 · 压力 · 功率
工艺参数优化减少…颗粒
22
设备硬件改进与颗粒抑制
目标=腔体设计 · 喷淋头 · 挡板
设备硬件改进颗粒抑制
23
统计过程控制与缺陷趋势监控
目标=控制图 · 缺陷密度趋势 · 报警机制与异常响应流程
统计过程控制缺陷趋势监控
24
良率分析与缺陷帕累托
目标=将缺陷类型与良率损失关联 · 确定优先治理对象与资源分配
良率分析缺陷帕累托
25
典型缺陷案例一
目标=PVD颗粒缺陷导致金属短路或开…
典型缺陷案例一PVD
26
典型缺陷案例二
目标=CVD腔壁剥落颗粒造成薄膜针孔…
典型缺陷案例二CVD
27
典型缺陷案例三
目标=ALD前驱体残留引发颗粒与膜层…
典型缺陷案例三ALD
28
跨工艺整合与缺陷溯源
目标=多腔室 · 多步骤工艺中缺陷传递与累积效应的分析…
跨工艺整合缺陷溯源
29
缺陷治理的持续改进体系
目标=8D · PDCA · 六西格玛在薄膜缺陷与颗粒治理中的落地…
缺陷治理的持续改…目标=8D
30
课程总结与能力评估
目标=核心知识回顾 · 实战任务复盘 · 缺陷诊断与颗粒治理能力自评与提升路径
课程总结能力评估