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本课程属于：022-Applied Materials薄膜沉积与半导体制造工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
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Applied Materials沉积设备整机联调与验收

共计 30 章节
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01
课程导入与安全规范
目标=Applied Materia… · 范围 · 安全锁定挂牌
课程导入安全规范
02
沉积设备系统架构总览
目标=PVD · CVD · ALD等Applied Materi…
沉积设备系统架构…PVD
03
整机联调前置条件检查
目标=厂务条件 · 水电气 · 真空泵
整机联调前置条件…目标=厂务条件
04
设备图纸与文档体系解读
目标=P&ID · 电气原理图 · 气路图
设备图纸文档体系解读
05
真空系统联调
目标=干泵 · 分子泵 · 阀门
真空系统联调目标=干泵
06
气路与流量校准
目标=工艺气体管路吹扫 · 检漏 · MFC零点与满量程校准
气路流量校准
07
射频与电源系统联调
目标=RF发生器 · 匹配网络 · 偏压电源
射频电源系统联调
08
加热与温控系统联调
目标=基座加热 · 腔壁加热 · 热电偶与红外测温校准
加热温控系统联调
09
晶圆传输与机械手联调
目标=大气传输 · 真空传输 · 对准
晶圆传输机械手联调
10
腔体与基座机械动作联调
目标=门阀 · 升降销 · 挡板
腔体基座机械动作联调
11
工艺气体喷淋与混合系统验证
目标=喷淋头气流分布 · 混合均匀性 · 等离子体点火与稳定性初步测试
工艺气体喷淋混合系统验证
12
等离子体点火与稳定性联调
目标=不同气体组合下的点火窗口 · 反射功率控制 · 等离子体均匀性与异常灭弧排查
等离子体点火稳定性联调
13
薄膜沉积初步工艺验证
目标=在标准片上进行PVD/CVD/… · 检查厚度 · 均匀性
薄膜沉积初步工艺…PVD/CVD
14
膜厚与光学特性量测联调
目标=椭偏仪 · 反射光谱 · XRF等量测设备与沉积设备的联机数据…
膜厚光学特性量测联调
15
颗粒与缺陷检测联调
目标=使用表面颗粒检测仪 · 缺陷复查SEM验证传输与沉积过程中的…
颗粒缺陷检测联调
16
设备间通信与SECS/GEM联调
目标=主机与设备通信 · 配方下发 · 状态上报
SECS/GEM设备间通信
17
配方管理与工艺菜单验证
目标=配方创建 · 编辑 · 版本控制
配方管理工艺菜单验证
18
报警与互锁系统测试
目标=安全互锁 · 工艺互锁 · 硬件报警
报警互锁系统测试
19
整机自动化运行测试
目标=从晶圆加载到沉积到卸载的全自动… · 异常中断恢复 · 批次处理与日志记录验证
整机自动化运行测…目标=从晶圆加载…
20
工艺均匀性与重复性验证
目标=多批次 · 多位置 · 多片晶圆的膜厚
工艺均匀性重复性验证
21
设备匹配与工艺匹配
目标=同一平台多腔体之间 · 不同设备之间的薄膜特性匹配方法与验收…
设备匹配工艺匹配
22
故障排查与根因分析实战
目标=真空异常 · 气流异常 · 射频反射高
故障排查根因分析实战
23
预防性维护与联调后复验
目标=PM项目清单 · 耗材更换 · 腔体清洗后重新联调与验收的检查要点
预防性维护联调后复验
24
验收测试计划与执行
目标=制定验收测试计划 · 定义测试用例 · 记录原始数据
验收测试计划执行
25
关键性能指标验收
目标=本底真空 · 漏率 · 温度均匀性
关键性能指标验收目标=本底真空
26
安全与合规验收
目标=SEMI S2/S8 · CE · 电气安全
安全合规验收
27
软件与数据完整性验收
目标=配方审计追踪 · 数据记录 · 用户权限
软件数据完整性验收
28
整机联调与验收实战模拟
目标=给定一台Applied Mat… · 分组完成从检查到验收报告的全流程模拟
整机联调验收实战模拟
29
验收文档交付与培训
目标=操作手册 · 维护手册 · 培训材料
验收文档交付培训
30
课程总结与持续改进
目标=整机联调与验收知识体系回顾 · 常见陷阱 · 最佳实践与后续工艺优化方向
课程总结持续改进