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本课程属于：022-Applied Materials薄膜沉积与半导体制造工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
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Applied Materials沉积腔体真空与气路工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程对象认知
目标=Applied Materia… · 典型工艺场景 · 学习路径与安全规范
课程导入工程对象认知
02
沉积腔体真空系统基础
目标=真空度单位 · 压力区间划分 · 气体流动状态
沉积腔体真空系统…目标=真空度单位
03
Applied Materials沉积腔体结构解析
目标=腔体本体 · 喷淋头 · 基座
AppliedMaterials
04
真空泵在沉积腔体中的配置
目标=干泵 · 涡轮分子泵 · 低温泵的选型依据
真空泵沉积腔体
05
真空测量与传感器工程
目标=电容薄膜规 · 皮拉尼规 · 冷阴极规
真空测量传感器工程
06
气路系统总体设计
目标=工艺气体种类 · 供气源 · 质量流量控制器
气路系统总体设计目标=工艺气体种…
07
质量流量控制器与流量校准
目标=MFC工作原理 · 量程选择 · 响应时间
质量流量控制器流量校准
08
工艺气体输送与分配
目标=气体管路材质 · 表面处理 · 颗粒控制
工艺气体输送分配
09
真空密封与检漏技术
目标=O型圈 · 金属密封 · 法兰标准
真空密封检漏技术
10
腔体抽气与压力控制
目标=节流阀 · 摆阀 · 蝶阀
腔体抽气压力控制
11
气路吹扫与残留控制
目标=氮气吹扫 · 抽空循环 · 残余气体分析
气路吹扫残留控制
12
沉积腔体真空系统启动与停机
目标=标准操作流程 · 互锁条件 · 泵启动顺序
沉积腔体真空系统…停机
13
真空系统故障诊断与排除
目标=常见真空故障 · 泵异常 · 泄漏
真空系统故障诊断排除
14
气路系统故障诊断与排除
目标=MFC漂移 · 管路堵塞 · 阀门失效
气路系统故障诊断排除
15
沉积腔体清洁与维护
目标=腔体打开 · 部件更换 · 清洁工艺
沉积腔体清洁维护
16
真空与气路系统的颗粒控制
目标=颗粒来源 · 气流剪切 · 湍流抑制
真空气路系统的颗粒控…
17
沉积工艺中的气体动力学
目标=气体混合 · 停留时间分布 · 喷淋头压降
沉积工艺气体动力学
18
等离子体与气路交互
目标=等离子体启辉对压力与流量的扰动 · 气体解离 · 副产物生成与排气路径设计
等离子体气路交互
19
腔体壁与管路沉积物管理
目标=副产物沉积 · 颗粒剥落 · 管路堵塞
腔体壁管路沉积物管理
20
真空与气路系统的自动化控制
目标=PLC · SECS/GEM · 配方管理
真空气路系统的自动化…
21
沉积均匀性与气路设计优化
目标=喷淋头孔径分布 · 气室结构 · 流量分配
沉积均匀性气路设计优化
22
真空系统性能验证与验收
目标=抽速测试 · 极限真空 · 泄漏率
真空系统性能验证验收
23
气路系统性能验证与验收
目标=流量精度 · 响应时间 · 吹扫效率
气路系统性能验证验收
24
实际沉积腔体案例
目标=PECVD腔体真空与气路系统配… · 工艺调试 · 常见问题与解决方案
实际沉积腔体案例PECVD
25
实际沉积腔体案例
目标=PVD腔体真空与气路系统配置 · 靶材冷却 · 工艺气体控制与真空维持
实际沉积腔体案例PVD
26
实际沉积腔体案例
目标=ALD腔体真空与气路系统配置 · 前驱体输送 · 吹扫效率与残留控制
实际沉积腔体案例ALD
27
真空与气路系统的可靠性工程
目标=故障模式分析 · 预防性维护计划 · 备件管理
真空气路系统的可靠性…
28
真空与气路系统的成本与效率优化
目标=泵能耗 · 气体消耗 · 维护停机时间
真空气路系统的成本
29
先进沉积腔体真空与气路技术趋势
目标=更高真空度 · 更精确流量控制 · 原位监测
先进沉积腔体真空气路技术趋势
30
综合实战项目
目标=针对某款Applied Mat… · 完成真空与气路系统的故障排查 · 维护方案与工艺恢复报告
综合实战项目Applied