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半导体设备软件状态机、流程编排与自动运行工程

共计 30 章节
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01
半导体设备软件自动运行全景
目标=从晶圆传输 · 工艺腔室控制到整机调度的分层架构 · 状态机
半导体设备软件自…目标=从晶圆传输
02
设备状态机建模基础
目标=状态 · 迁移 · 事件
设备状态机建模基…目标=状态
03
有限状态机在设备控制中的实现
目标=状态表驱动 · 状态模式 · 层次状态机（HSM）的代码组织方式
有限状态机设备控制
04
状态机与设备安全互锁
目标=安全状态 · 紧急停止 · 互锁条件在状态迁移中的嵌入方法
状态机设备安全互锁
05
并行与层次状态机
目标=处理多腔室并行 · 传输与工艺重叠时的状态分解 · 正交区域与历史状态的工程用法
并行层次状态机
06
状态机调试与可视化
目标=状态日志 · 迁移追踪 · 运行时状态图生成
状态机调试可视化
07
流程编排核心概念
目标=配方（Recipe） · 工序（Step） · 序列（Sequence）
流程编排核心概念Recipe
08
配方管理与版本控制
目标=配方参数 · 步骤参数 · 设备常数与产品配方的分离
配方管理版本控制
09
流程编排引擎设计
目标=解释器式 · 编译式与数据驱动式编排引擎的对比 · 选择依据与性能考量
流程编排引擎设计目标=解释器式
10
晶圆传输流程编排
目标=Load Port · Aligner · Robot
晶圆传输流程编排Load
11
工艺腔室流程编排
目标=抽气 · 进气 · 射频
工艺腔室流程编排目标=抽气
12
多腔室集群调度编排
目标=Cluster Tool 中多… · 串行 · 重入流程的编排策略与死锁避免
多腔室集群调度编…Cluster
13
异常与恢复流程编排
目标=报警分类 · 重试 · 跳过
异常恢复流程编排
14
自动运行模式与状态
目标=Auto · Manual · Maintenance
自动运行模式状态
15
自动运行启动与停止序列
目标=上电初始化 · 回零 · 暖机
自动运行启动停止序列
16
设备自动化与 MES/EAP 集成
目标=SECS/GEM 通信 · 远程命令 · 配方上传下载
MES/EAP设备自动化
17
自动运行中的物料追踪
目标=晶圆 ID 读取 · 位置追踪 · 加工历史记录与数据完整性保障
自动运行物料追踪
18
自动运行中的调度与排程
目标=基于状态与资源的动态调度 · 优先级 · 防饥饿与吞吐量优化
自动运行调度
19
状态机与流程编排的协同
目标=流程步骤驱动状态迁移 · 状态反馈控制流程分支的闭环设计模式
状态机流程编排的协同
20
自动运行中的时间管理
目标=超时 · 延时 · 周期任务
自动运行时间管理
21
故障诊断与状态恢复
目标=基于状态机的故障树 · 根因定位 · 自动恢复与人工介入的切换逻辑
故障诊断状态恢复
22
自动运行日志与追溯
目标=状态迁移日志 · 流程执行日志 · 报警日志的结构化记录与追溯查询
自动运行日志追溯
23
仿真与测试
目标=设备状态机与流程编排的单元测试 · 集成测试 · 硬件在环（HIL）仿真与场景回放
仿真测试
24
形式化验证入门
目标=使用模型检验（Model Ch… · 无活锁与安全属性
形式化验证入门Model
25
性能与实时性优化
目标=状态机执行效率 · 流程编排开销 · 通信延迟对自动运行节拍的影响与优化
性能实时性优化
26
可配置与可扩展设计
目标=状态与流程的配置化 · 插件化 · 脚本化扩展
可配置可扩展设计
27
典型设备案例
目标=刻蚀机 · CVD · PVD
典型设备案例目标=刻蚀机
28
自动运行工程实战
目标=从需求到状态图 · 从流程编排到代码实现 · 从仿真到上机调试的完整项目流程
自动运行工程实战目标=从需求到状…
29
上线与运维
目标=自动运行版本发布 · 现场调试 · 参数调优
上线运维
30
综合项目
目标=设计并实现一个多腔室半导体设备… · 涵盖状态机 · 流程编排
综合项目目标=设计并实现…