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高端制造、半导体装备与精密工程
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017-高端装备温控、热设计与热稳定性工程
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《Chiller精密温控系统设计、控制与设备集成工程》
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本课程属于:017-高端装备温控、热设计与热稳定性工程
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Chiller精密温控系统设计、控制与设备集成工程
共计 30 章节
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01
Chiller精密温控系统概述
目标=精密温控的定义与指标 · Chiller在半导体/激光/医疗/… · 系统边界与工程交付物
Chiller
精密温控系统概述
02
制冷循环与热力学基础
目标=蒸气压缩循环 · 制冷剂压焓图 · 过冷度与过热度
制冷循环
热力学基础
03
Chiller系统架构与部件选型
目标=压缩机 · 电子膨胀阀 · 板换/壳管蒸发器
Chiller
系统架构
04
精密温控对象建模
目标=被控对象热容与热阻 · 负载扰动类型 · 传递函数与状态空间建模
精密温控对象建模
目标=被控对象热…
05
温度传感器与信号链设计
目标=PT100/PT1000/热电… · 四线制与三线制接法 · 变送与隔离
温度传感器
信号链设计
06
执行器与驱动
目标=电子膨胀阀特性与驱动 · 变频压缩机与变频泵 · 加热器与比例阀
执行器
驱动
07
PID控制与参数整定
目标=位置式与增量式PID · 抗积分饱和 · 微分先行
PID
控制
08
先进温控算法
目标=前馈-反馈复合控制 · 增益调度 · 模糊PID
先进温控算法
目标=前馈
09
Chiller启停与能量调节控制
目标=压缩机启停逻辑 · 最小运行时间与防频繁启停 · 容量调节与卸载
Chiller
启停
10
多回路与多温区协调控制
目标=多蒸发器/多负载分配 · 主从控制与均流 · 耦合通道解耦
多回路
多温区协调控制
11
PLC与嵌入式控制平台
目标=PLC选型与I/O配置 · 嵌入式控制器与实时OS · 控制程序架构
PLC
嵌入式控制平台
12
HMI与上位监控系统
目标=人机界面设计 · 报警与事件管理 · 趋势与历史数据
HMI
上位监控系统
13
通信协议与设备互联
目标=Modbus RTU/TCP · CANopen · BACnet
通信协议
设备互联
14
电气设计与安全
目标=供电与配电 · 断路器与接触器 · 变频器EMC
电气设计
安全
15
制冷管路与水力系统集成
目标=管路压降与流量匹配 · 水泵选型与变频 · 旁通与定压
制冷管路
水力系统集成
16
热交换与冷板/负载集成
目标=冷板流道设计 · 导热界面材料 · 负载热仿真与实测
热交换
冷板
17
系统仿真与数字孪生
目标=Modelica/Simuli… · 制冷循环与热管理联合仿真 · 控制算法在环测试
系统仿真
数字孪生
18
样机搭建与调试流程
目标=台架搭建 · 管路保压与抽真空 · 制冷剂充注
样机搭建
调试流程
19
温控性能测试与评估
目标=稳态精度与波动度 · 升温/降温速率 · 超调与恢复时间
温控性能测试
评估
20
可靠性与环境适应性设计
目标=MTBF与寿命评估 · 高低温/湿热/振动试验 · 冗余与降级运行
可靠性
环境适应性设计
21
故障诊断与预测维护
目标=常见故障(缺氟 · 堵塞 · 传感器漂移
故障诊断
预测维护
22
能效优化与绿色设计
目标=COP/EER与部分负载效率 · 变频与群控节能 · 自然冷却与免费冷却
能效优化
绿色设计
23
行业合规与标准
目标=SEMI S2/S8 · UL/CE · GB/T相关标准
行业合规
标准
24
半导体与激光设备温控案例
目标=高精度±0.1℃需求 · 快速变载抑制 · 多通道独立控温
半导体
激光设备温控案例
25
数据中心与储能液冷案例
目标=CDU与Chiller协同 · 高密度机柜冷却 · 冷却液分配与冗余
数据
储能液冷案例
26
医疗与实验室Chiller案例
目标=生物样本/影像设备温控 · 低噪声与低振动要求 · 卫生与防污染
Chiller
医疗
27
控制柜与整机集成工程
目标=柜体布局与散热 · 布线规范与标识 · EMC与屏蔽
控制柜
整机集成工程
28
项目管理与工程交付
目标=需求分解与规格书 · 进度与风险管理 · BOM与供应链
项目管理
工程交付
29
综合实战项目
目标=从需求到样机——完成一台精密C… · 控制方案 · 程序编写
综合实战项目
目标=从需求到样…
30
前沿趋势与持续改进
目标=新型制冷剂与压缩机 · AI辅助控制与优化 · 模块化与即插即用
前沿趋势
持续改进
所属VIP或分类
同VIP:低温工艺设备制冷系统与温度控制
同VIP:功率器件热设计与安全工作区(SOA)分析
同VIP:半导体设备加热盘、多区温控与温度均匀性工程