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高端制造、半导体装备与精密工程
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013-3D视觉与非接触精密测量工程
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《激光精密测量系统精度验证与不确定度工程》
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本课程属于:013-3D视觉与非接触精密测量工程
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激光精密测量系统精度验证与不确定度工程
共计 30 章节
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01
课程导入与工程视角建立
目标=激光精密测量系统的典型组成 · 精度验证与不确定度工程在研发/验收/… · 课程任务链与交付物定义
课程导入
工程视角建立
02
测量任务与指标定义
目标=从图纸/工艺/装配需求出发定义… · 分辨率 · 重复性
测量任务
指标定义
03
激光测量原理与误差源地图
目标=干涉 · 三角 · 飞行时间
激光测量原理
误差源地图
04
系统建模与测量方程
目标=把激光测量系统写成输入-输出模… · 明确环境 · 材料
系统建模
测量方程
05
精度验证试验设计基础
目标=对照测量 · 重复性/复现性试验 · 盲样与随机化
精度验证试验设计…
目标=对照测量
06
参考标准与溯源链搭建
目标=量块 · 步距规 · 激光干涉仪
参考标准
溯源链搭建
07
环境参量测量与补偿验证
目标=温度 · 气压 · 湿度
环境参量测量
补偿验证
08
机械与运动误差分离
目标=导轨直线度 · 角摆 · 阿贝误差
机械
运动误差分离
09
探测器与信号链精度验证
目标=光电探测 · 放大 · 滤波
探测器
信号链精度验证
10
算法与数据处理精度验证
目标=拟合 · 解包裹 · 峰值提取
算法
数据处理精度验证
11
重复性与复现性(R&R)工程实施
目标=设计嵌套/交叉R&R试验 · 计算重复性 · 复现性
重复性
复现性
12
示值误差与线性度验证
目标=多位置/多量程比对试验 · 计算示值误差 · 线性度
示值误差
线性度验证
13
不确定度工程总览
目标=GUM与蒙特卡洛方法的选择准则 · 不确定度分量识别 · A/B类评定
不确定度工程总览
GUM
14
A类不确定度评定实战
目标=从重复测量数据计算标准偏差 · 标准误与自由度 · 处理非正态
A类不确定度评定…
目标=从重复测量…
15
B类不确定度评定实战
目标=校准证书 · 分辨率 · 漂移
B类不确定度评定…
目标=校准证书
16
不确定度传播与灵敏度分析
目标=基于测量方程求灵敏度系数 · 用数值微分与蒙特卡洛做传播 · 识别主导分量与改进优先级
不确定度传播
灵敏度分析
17
相关性与协方差处理
目标=共享标准器 · 同环境 · 同算法导致的相关分量
相关性
协方差处理
18
扩展不确定度与包含区间
目标=自由度 · 有效自由度 · t分布与k因子选择
扩展不确定度
包含区间
19
不确定度预算表与报告编制
目标=从分量清单到预算表 · 贡献图 · 报告模板
不确定度预算表
报告编制
20
蒙特卡洛仿真验证不确定度
目标=用MCM验证GUM线性近似结果 · 设置试验次数 · 收敛判据与数值容差
蒙特卡洛仿真验证…
MCM
21
精度验证中的比对与能力验证
目标=组织内部/外部比对 · 使用En值 · z比分数
精度验证
比对
22
长期稳定性与漂移验证
目标=制定期间核查与长期稳定性试验 · 分析漂移趋势 · 随机游走与突变
长期稳定性
漂移验证
23
动态与在线测量精度验证
目标=扫描/跟踪/在线工况下的动态误… · 时间同步 · 延迟与运动模糊
动态
线测量精度验证
24
多传感器与多站激光测量验证
目标=激光跟踪仪 · 激光雷达 · 视觉/激光复合系统的联合测量
多传感器
多站激光测量验证
25
软件与数据链的验证
目标=采集 · 传输 · 存储
软件
数据链的验证
26
不确定度工程在验收与放行中的应用
目标=制定验收判据 · 风险决策规则(简单接受/拒绝/不确定… · 处理测量不确定度与公差的关系
不确定度工程
验收
27
故障诊断与精度异常排查
目标=从不确定度预算与验证数据定位异… · 使用控制图 · 残差分析
故障诊断
精度异常排查
28
精度改进与不确定度优化
目标=基于灵敏度与贡献度排序 · 实施硬件 · 环境
精度改进
不确定度优化
29
完整案例
目标=激光干涉位移测量系统精度验证与… · 试验设计 · 数据采集到预算表与报告的全流程实战
完整案例
目标=激光干涉位…
30
完整案例
目标=激光跟踪/扫描三维测量系统精度… · 完成溯源 · 比对
完整案例
目标=激光跟踪
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