3. 微透镜单元设计

做微透镜设计,很多人一上来就扎进几何光学里,用光线追迹算得飞起。但做到小尺寸——比如透镜口径小于 100 微米,或者你关心焦斑到底能压到多小——几何光学就不够用了。这时候必须回到波动光学。

说白了,光是一种电磁波。微透镜阵列的核心功能是调制波前。你不懂干涉和衍射,就很难理解为什么焦斑有个极限,为什么阵列之间会串扰。我个人习惯,在讲具体设计之前,先把这几块地基夯实。

本章核心: 从波动方程出发,理清干涉与衍射的本质区别,掌握菲涅尔与夫琅禾费两种衍射模型的适用边界,最后理解点扩散函数(PSF)如何成为评价微透镜成像质量的“通用语言”。

3.1 干涉:两束光相遇,发生了什么?

干涉,就是两束相干光叠加后,光强在空间重新分布。不是简单的 1+1=2,而是 1+1 可能等于 4,也可能等于 0。

条件大家都知道:同频率、同振动方向、相位差恒定。但实际做微透镜阵列时,真正坑人的是“部分相干”。

避坑提醒: 我曾经在一个激光照明项目里,用高相干光源照射微透镜阵列,结果阵列周期与波长可比拟,每个透镜出射的光之间产生了强烈的干涉条纹,把均匀照明硬生生变成了“斑马纹”。后来加了匀光片才解决。所以,干涉分析不能只看单个透镜,必须考虑阵列整体的相干叠加。

干涉的光强分布公式很简单:

I = I₁ + I₂ + 2√(I₁I₂) cos(Δφ)

其中 Δφ 是相位差。对于微透镜阵列,相邻透镜出射光的相位差由光程差决定,而光程差又跟透镜的矢高、入射角、波长直接挂钩。

3.2 衍射:光为什么会“拐弯”?

衍射,是光遇到障碍物或孔径时,偏离直线传播的现象。你想想看,如果光真的完全直线传播,那微透镜的焦斑应该是一个几何点。但实际不是——因为透镜口径有限,光在边缘必然发生衍射。

判断衍射是否显著,看一个数就行:菲涅尔数。

菲涅尔数 N_F 物理含义 典型场景
N_F >> 1 几何光学主导,衍射可忽略 大口径透镜、宏观成像
N_F ≈ 1 ~ 10 衍射与几何共同作用 大多数微透镜阵列
N_F < 1 衍射完全主导 亚波长孔径、近场光学

菲涅尔数的定义:

N_F = a² / (λ · z)

其中 a 是孔径半径,λ 是波长,z 是传播距离。做微透镜设计时,我建议你先算一下这个数,心里就有底了。

3.3 菲涅尔衍射 vs 夫琅禾费衍射

这两个概念,说白了就是观察距离不同,近似程度不同。

  • 菲涅尔衍射(近场):保留波前的二次相位因子,适用于观察面离孔径不太远的情况。计算复杂,但更精确。
  • 夫琅禾费衍射(远场):忽略二次相位,认为波前是平面波。计算简单,适用于远场或透镜后焦面。

分界线在哪里?用菲涅尔数判断:

  • N_F > 1:菲涅尔衍射区
  • N_F << 1:夫琅禾费衍射区

我做微透镜设计时,大部分情况落在菲涅尔区。但如果你在测试时用傅里叶透镜把远场拉近到后焦面,那就可以直接用夫琅禾费模型,省很多计算量。

实用技巧: 在仿真中,菲涅尔衍射可以用角谱法或菲涅尔传递函数快速计算。夫琅禾费衍射直接用傅里叶变换就行。我个人习惯先用夫琅禾费做初步优化,再用菲涅尔做最终验证,效率高很多。

下面这张图,帮你理清两种衍射的适用场景和转换关系:

衍射模型选择流程图 输入:孔径 a, 波长 λ, 距离 z 计算 N_F = a² / (λ·z) N_F > 1:菲涅尔衍射 N_F << 1:夫琅禾费衍射 保留二次相位因子 角谱法 / 菲涅尔传递函数 忽略二次相位 直接傅里叶变换

3.4 点扩散函数(PSF):微透镜的“指纹”

点扩散函数,就是系统对一个理想点光源的响应。说白了,你往微透镜前面放一个无限小的点光源,它在像面上会成一个什么样的斑——这个斑就是 PSF。

对于微透镜,PSF 由两个因素决定:

  1. 衍射极限:由孔径形状和大小决定。圆形孔径的 PSF 就是艾里斑。
  2. 像差:实际透镜的加工误差、材料色散、离焦等,都会让 PSF 展宽。

艾里斑的第一暗环半径:

r_Airy = 1.22 · λ · f / D

其中 f 是焦距,D 是透镜口径。这个公式告诉你:想压小焦斑,要么用短波长,要么用大数值孔径(NA)。

设计启示: 微透镜阵列的 PSF 直接决定了系统的分辨率、串扰和能量集中度。我通常用 PSF 的半高全宽(FWHM)作为优化目标,而不是几何光学的 RMS 光斑半径。因为 PSF 包含了衍射效应,更贴近实际。

3.5 从 PSF 到 MTF:评价成像质量

PSF 是空间域的响应。对它做傅里叶变换,就得到光学传递函数(OTF),它的模就是调制传递函数(MTF)。

MTF 告诉你:不同空间频率的对比度传递能力。高频对应细节,低频对应轮廓。

指标 域 物理含义 微透镜设计中的用途
PSF 空间域 点光源的像斑分布 评估焦斑大小、能量集中度
MTF 频率域 各频率对比度传递比 评估成像清晰度、截止频率
斯特列尔比 标量 实际 PSF 峰值 / 理想 PSF 峰值 快速判断像差是否可接受
我的经验: 做微透镜阵列优化时,不要只看单个透镜的 PSF。阵列的 PSF 是每个透镜 PSF 的叠加,还要考虑相位一致性。我曾经在一个波前传感项目里,单个透镜 PSF 很漂亮,但阵列整体 PSF 因为相位失配出现了分裂——排查了三天,最后发现是基底厚度不均匀导致的。

3.6 本章小结

波动光学是微透镜设计的底层语言。干涉告诉你阵列之间会怎么互相影响,衍射告诉你焦斑的物理极限在哪,PSF 和 MTF 给你一把量化评价的尺子。