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宽禁带半导体材料缺陷检测与分析

共计 30 章节
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01
课程导入
宽禁带半导体的定义 · 材料体系（SiC · GaN
课程导入宽禁带半导体的定…
02
宽禁带半导体基础
晶体结构 · 能带特点 · 关键物理性质（击穿场强
宽禁带半导体基础晶体结构
03
缺陷分类与基础概念
点缺陷 · 线缺陷 · 面缺陷
缺陷分类基础概念
04
典型缺陷类型详解
位错（螺纹位错 · 刃位错） · 层错
典型缺陷类型详解位错
05
缺陷对器件性能的影响
漏电流 · 击穿电压 · 可靠性
缺陷对器件性能的…漏电流
06
缺陷检测技术总览
光学 · 电子束 · X射线
缺陷检测技术总览光学
07
光学检测方法
光致发光（PL） · 阴极发光（CL） · 红外显微
光学检测方法PL
08
X射线检测技术
X射线形貌术（XRT） · X射线衍射（XRD） · 同步辐射X射线成像在缺陷检测中的应用
X射线检测技术XRT
09
电子束检测技术
扫描电子显微镜（SEM） · 透射电子显微镜（TEM） · 电子束诱导电流（EBIC）等
电子束检测技术SEM
10
扫描探针显微镜技术
原子力显微镜（AFM） · 导电原子力显微镜（C-AFM） · 扫描电容显微镜（SCM）等
扫描探针显微镜技…AFM
11
缺陷检测的样品制备
切割 · 抛光 · 化学机械抛光（CMP）
缺陷检测的样品制…切割
12
无损检测与在线检测
红外热成像 · 超声 · 光声等无损方法及产线在线检测需求
无损检测线检测
13
缺陷密度统计与表征参数
蚀坑密度（EPD） · 位错密度 · 缺陷分布均匀性等标准与计算方法
缺陷密度统计表征参数
14
缺陷检测标准与规范
SEMI · ASTM等标准对缺陷检测方法 · 样品
缺陷检测标准规范
15
SiC衬底缺陷检测案例
微管 · 位错 · 堆垛层错的检测流程与结果分析
SiC衬底缺陷检测案例
16
GaN外延层缺陷检测案例
穿透位错 · V型坑 · 裂纹的检测与评估
GaN外延层缺陷检测案…
17
Ga2O3等新型宽禁带材料缺陷检测
当前挑战与初步解决方案
Ga2O3等新型宽禁带材料…
18
缺陷检测中的图像处理与数据分析
图像增强 · 特征提取 · 自动识别与统计
缺陷检测图像处理
19
机器学习在缺陷检测中的应用
分类 · 聚类 · 异常检测
机器学习缺陷检测
20
缺陷与器件失效关联分析
通过缺陷检测预测器件寿命与可靠性的方…
缺陷器件失效关联分析
21
缺陷形成机理与抑制策略
生长工艺（MOCVD · PVT等）对缺陷的影响及优化
缺陷形成机理抑制策略
22
缺陷检测的常见问题与对策
假象 · 分辨率限制 · 样品损伤
缺陷检测的常见问…对策
23
多技术联用与综合分析
如何结合多种检测手段全面评估缺陷
多技术联用综合分析
24
缺陷检测实验室建设
设备选型 · 环境要求 · 人员培训与安全规范
缺陷检测实验室建…设备选型
25
实战项目
SiC衬底缺陷检测全流程操作（从样品…
实战项目SiC
26
实战项目
GaN外延层缺陷的CL与TEM联合分…
实战项目GaN
27
实战项目
基于机器学习的缺陷自动分类系统搭建
实战项目基于机器学习的缺…
28
前沿进展
缺陷工程 · 量子缺陷 · 原位检测
前沿进展缺陷工程
29
综合提升
如何根据缺陷检测结果优化材料生长与器…
综合提升如何根据缺陷检测…
30
课程总结与展望
核心知识回顾 · 行业趋势 · 学习资源与职业发展建议
课程总结核心知识回顾