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外延工艺缺陷预防与排除实战课程

共计 30 章节
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01
课程导入
学习目标 · 课程价值 · 适用人群
课程导入学习目标
02
外延工艺基础
外延生长原理 · 常见外延技术（MOCVD · MBE
外延工艺基础外延生长原理
03
外延缺陷分类体系
按形貌 · 成分 · 电学性能
外延缺陷分类体系按形貌
04
缺陷表征技术
光学显微镜 · SEM · AFM
缺陷表征技术光学显微镜
05
缺陷对器件性能的影响
缺陷如何影响LED · 激光器 · 功率器件
缺陷对器件性能的…LED
06
外延生长工艺参数与缺陷关联
温度 · 压力 · V/III比
外延生长工艺参数缺陷关联
07
衬底与外延层界面缺陷
衬底表面污染 · 损伤 · 晶格失配
衬底外延层界面缺陷
08
位错缺陷的预防与排除
穿透位错 · 螺旋位错 · 刃型位错的成因
位错缺陷的预防排除
09
点缺陷与杂质缺陷
空位 · 间隙原子 · 反位缺陷
点缺陷杂质缺陷
10
表面形貌缺陷
丘状缺陷 · 坑状缺陷 · 台阶聚集
表面形貌缺陷丘状缺陷
11
外延层裂纹与翘曲
热应力 · 晶格失配 · 厚度不均导致的裂纹与翘曲的预防措施
外延层裂纹翘曲
12
掺杂均匀性与缺陷
掺杂剂分布不均 · 补偿效应 · 掺杂诱导缺陷的机理与优化
掺杂均匀性缺陷
13
外延生长气氛与气体纯度控制
载气 · 源气 · 泄漏
外延生长气氛气体纯度控制
14
反应室环境与维护
反应室残留 · 颗粒 · 壁沉积物
反应室环境维护
15
外延工艺窗口优化
通过DOE设计实验 · 确定最佳工艺窗口以最小化缺陷密度
外延工艺窗口优化DOE
16
缺陷检测与在线监控
在线监测技术（反射率 · 温度 · 曲率等）与实时缺陷预警系统
缺陷检测线监控
17
缺陷根因分析方法
鱼骨图 · 5Why · FTA
缺陷根因分析方法鱼骨图
18
案例实战
GaN基LED外延中常见缺陷（V-p… · 裂纹 · 黄斑）的预防与排除
案例实战GaN
19
案例实战
GaAs基射频器件外延中缺陷（椭圆缺… · 堆垛层错）的根因分析与解决
案例实战GaAs
20
案例实战
SiC功率器件外延中缺陷（微管 · 基面位错 · 三角缺陷）的抑制策略
案例实战SiC
21
案例实战
InP基光电器件外延中缺陷（暗线缺陷 · 组分偏析）的排除流程
案例实战InP
22
外延缺陷与良率提升
缺陷密度与芯片良率的量化关系 · 以及通过缺陷控制提升良率的实战方法
外延缺陷良率提升
23
外延工艺稳定性与重复性
如何通过SPC · 工艺监控 · 设备维护保证批次间缺陷一致性
外延工艺稳定性重复性
24
缺陷预防的先进技术
选区外延 · 图形化衬底 · 缓冲层设计
缺陷预防的先进技…选区外延
25
外延后处理与缺陷修复
退火 · 表面钝化 · 化学机械抛光等后工艺对缺陷的改善作用
外延后处理缺陷修复
26
缺陷数据库与知识管理
建立缺陷案例库 · 专家系统 · 经验传承与团队能力提升
缺陷数据库知识管理
27
外延缺陷的模拟与预测
TCAD · 有限元模拟 · 机器学习在缺陷形成预测与工艺优化中的…
外延缺陷的模拟预测
28
综合实战项目
针对一种典型外延缺陷 · 从检测 · 分析
综合实战项目针对一种典型外延…
29
常见问题与误区
外延缺陷处理中的常见错误 · 误区 · 陷阱及应对策略
常见问题误区
30
课程总结与进阶路径
核心知识回顾 · 技能自测 · 行业资源
课程总结进阶路径