2、先进封装核心工艺(一):晶圆级封装(WLP)、扇入/扇出型封装(Fan-In/Fan-Out)、凸点制作技术
各位好,今天我们聊聊先进封装里最基础的几个工艺。晶圆级封装、扇入扇出、还有凸点制作。说实话,这些名词听起来有点绕,但搞懂了它们,后面学系统级封装就顺了。
我刚开始接触封装那会儿,也分不清WLP和Fan-Out到底啥区别。后来在项目里踩过坑,才真正理解。嗯,咱们一个一个来。
2.1 晶圆级封装(WLP)
晶圆级封装,说白了就是在晶圆上直接做封装。传统封装是先切芯片,再一颗颗封。WLP反过来——先封好,再切。
这样做的好处很明显:
- 成本低——批量处理,一次搞定所有芯片
- 尺寸小——封装几乎就是芯片大小
- 电性能好——互连路径短,寄生参数小
我个人习惯把WLP分成两类:
| 类型 | 特点 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 扇入型WLP | 焊盘在芯片面积内 | 手机射频、电源管理 |
| 扇出型WLP | 焊盘扩展到芯片外 | 多芯片集成、高I/O |
关键点:WLP的良率直接受晶圆良率影响。一颗坏die,整片晶圆都得跟着遭殃。所以WLP对晶圆良率要求很高,一般要99%以上。
2.2 扇入型封装(Fan-In)
扇入型封装,就是焊盘全部放在芯片正下方。你想想看,芯片多大,封装就多大。这种封装也叫CSP(Chip Scale Package)。
我在一个手机项目里用过扇入封装。当时客户要求封装厚度小于0.5mm,I/O数不到100个。扇入封装正好合适,成本低,性能也好。
扇入封装的典型流程:
- 晶圆上制作RDL(再分布层)
- 涂覆介电层
- 制作焊料凸点
- 划片
- 测试
经验之谈:扇入封装的关键在于RDL设计。线宽线距、金属厚度、介电层材料,这些参数直接影响电性能和可靠性。我建议新手先从简单的单层RDL开始,别一上来就搞多层。
2.3 扇出型封装(Fan-Out)
扇出型封装,就是把焊盘做到芯片外面去。这样封装面积比芯片大,但好处是可以放更多I/O,还能集成多个芯片。
为什么会这样?因为芯片面积有限,焊盘放不下那么多。扇出封装通过塑封料把芯片包起来,然后在上面做RDL,把焊盘引到外面。
我曾经在一个5G基站项目里用过扇出封装。那个芯片I/O数超过500个,扇入根本放不下。用扇出封装后,不仅解决了I/O问题,还把两个die集成在一起,省了PCB面积。
扇出封装的主要类型:
- 芯片先装(Chip-First)——先放芯片,再做RDL
- 芯片后装(Chip-Last)——先做RDL,再放芯片
- 晶圆级扇出(WLFO)——在晶圆上做扇出
- 面板级扇出(PLFO)——在面板上做扇出,成本更低
注意:扇出封装最大的挑战是芯片偏移。塑封时芯片会跑位,导致RDL对不准。我曾经遇到过一批产品,芯片偏移超过20μm,整批报废。后来我们改了工艺参数,把偏移控制在5μm以内才解决。
2.4 凸点制作技术
凸点,就是芯片和基板之间的连接点。没有凸点,芯片就焊不上去。凸点技术是先进封装的基石。
常见的凸点类型:
| 类型 | 材料 | 间距 | 应用 |
|---|---|---|---|
| 焊料凸点 | SnAgCu | ≥150μm | 传统封装 |
| 铜柱凸点 | Cu+SnAg | 40-150μm | 高密度封装 |
| 微凸点 | Cu+SnAg | ≤40μm | 3D封装 |
凸点制作流程(以铜柱凸点为例):
- 溅射种子层(Ti/Cu)
- 涂覆光刻胶
- 光刻显影
- 电镀铜柱
- 电镀焊料
- 去胶
- 刻蚀种子层
- 回流
核心指标:凸点高度一致性。同一颗芯片上,凸点高度差不能超过10%。否则贴片时有的凸点压不到,有的压太狠,可靠性就出问题。
我记得有个项目,凸点高度差达到15%,贴片后虚焊率超过5%。后来我们优化了电镀工艺,把电流密度从2ASD降到1.5ASD,高度差控制在5%以内,虚焊率降到0.1%以下。
2.5 三种工艺的对比
咱们把WLP、Fan-In、Fan-Out放在一起看看:
| 特性 | WLP(扇入) | Fan-Out |
|---|---|---|
| 封装面积 | =芯片面积 | >芯片面积 |
| I/O密度 | 低-中 | 中-高 |
| 成本 | 低 | 中 |
| 多芯片集成 | 不支持 | 支持 |
| 电性能 | 优秀 | 良好 |
| 可靠性 | 良好 | 良好 |
选哪种封装,主要看I/O数和成本。I/O少、成本敏感,选扇入WLP。I/O多、需要集成,选扇出。就这么简单。
2.6 知识结构图
下面这张图把本章的核心逻辑串起来了:
2.7 避坑指南
最后,分享几个我踩过的坑:
坑1:RDL设计不考虑应力
我曾经设计过一款扇出封装,RDL走线太密,热循环后直接开裂。后来加了应力释放结构才解决。建议RDL转角处用圆弧,别用直角。
坑2:凸点间距选太小
有个项目为了追求高密度,凸点间距压到30μm。结果贴片时短路率超过10%。后来放宽到40μm,良率才上来。别为了指标牺牲良率。
坑3:忽略塑封材料收缩
扇出封装里,塑封料固化后会收缩。如果芯片布局不对称,晶圆会翘曲。我建议做对称布局,或者在设计时预留翘曲补偿量。
好了,这一章就到这里。记住一句话:封装工艺的选择,永远是成本、性能和可靠性的平衡。没有最好的工艺,只有最合适的工艺。