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工艺流片阶段测试结构与故障定位联合调试

共计 30 章节
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01
课程导论
工艺流片阶段测试结构的作用与故障定位…
课程导论工艺流片阶段测试…
02
测试结构基础
电阻 · 电容 · 晶体管测试结构的设计原理
测试结构基础电阻
03
测试结构布局规则
版图设计规则与测试结构最小化原则
测试结构布局规则版图设计规则
04
测试结构库管理
标准测试结构单元库的建立与版本控制
测试结构库管理标准测试结构单元…
05
流片前仿真验证
测试结构电学特性的SPICE仿真方法
流片前仿真验证SPICE
06
晶圆允收测试(WAT)基础
WAT测试参数与测试流程介绍
WAT晶圆允收测试
07
参数测试系统
自动测试设备(ATE)与探针台的工作…
参数测试系统ATE
08
开短路测试
接触电阻测试与连续性故障定位
开短路测试接触电阻测试
09
阈值电压测试
MOSFET阈值电压提取方法与异常分…
阈值电压测试MOSFET
10
饱和电流测试
Idsat测试与驱动能力故障定位
电流测试Idsat
11
接触电阻测试
通孔/接触孔电阻测试结构及故障分析
接触电阻测试通孔
12
金属层电阻测试
金属线电阻测试结构与电迁移早期预警
金属层电阻测试金属线电阻测试结…
13
层间介质击穿测试
TDDB测试结构与绝缘可靠性评估
层间介质击穿测试TDDB
14
热载流子注入测试
HCI测试结构与器件寿命预测
热载流子注入测试HCI
15
负偏压温度不稳定性测试
NBTI测试结构与老化故障定位
负偏压温度不稳定…NBTI
16
测试数据管理
测试数据格式(如STDF)与数据库存…
测试数据管理STDF
17
数据统计分析
良率分布 · 正态分布与帕累托图在故障定位中的应用
数据统计分析良率分布
18
空间故障定位
晶圆图(Wafer Map)分析与缺…
空间故障定位Wafer
19
电性故障分类
短路 · 断路 · 漏电
电性故障分类短路
20
故障树分析
从系统级到器件级的故障树建立方法
故障树分析从系统级到器件级…
21
扫描电子显微镜联用
电性测试与物理失效分析(PFA)的联…
扫描电子显微镜联…PFA
22
聚焦离子束联用
FIB切割与电性测试的协同故障定位
聚焦离子束联用FIB
23
热成像故障定位
微热成像技术在漏电路径定位中的应用
热成像故障定位微热成像技术
24
光发射显微镜联用
EMMI技术与电性测试的联合调试
光发射显微镜联用EMMI
25
良率学习系统
良率管理系统(YMS)与测试数据的闭…
良率学习系统YMS
26
自动化测试脚本
Python在测试数据批量处理与故障…
自动化测试脚本Python
27
案例研究一
金属桥接故障的测试结构与电性定位全过…
案例研究一金属桥接故障的测…
28
案例研究二
栅氧化层击穿故障的测试结构与物理分析…
案例研究二栅氧化层击穿故障…
29
案例研究三
接触孔高阻故障的测试结构设计与定位
案例研究三接触孔高阻故障的…
30
课程总结与未来趋势
先进节点测试结构挑战与AI辅助故障定…
课程总结未来趋势