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006-统计质量、DOE与六西格玛工程
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《SPC良率趋势建模与预测实战》
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良率预测实战:基于SPC数据的良率趋势建模方法
共计 30 章节
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01
课程导论
良率预测在半导体制造中的重要性 · SPC数据基础概念 · 课程目标与学习路径
课程导论
良率预测
02
SPC理论基础
统计过程控制原理 · 控制图(X-bar/R图 · P图
SPC
理论基础
03
数据采集与清洗
从MES系统获取SPC数据 · 处理缺失值 · 异常值检测与处理(3σ原则
数据采集
清洗
04
特征工程(上)
时间序列特征提取(滚动窗口统计量 · 滞后特征 · 差分特征)
特征工程
时间序列特征提取
05
特征工程(下)
工艺参数特征(均值 · 方差 · CPK)
特征工程
工艺参数特征
06
数据探索性分析(EDA)
良率分布可视化 · SPC参数与良率的相关性热力图 · 趋势图分析
EDA
数据探索性分析
07
数据预处理
标准化(Z-score) · 归一化(Min-Max) · 处理类别特征(One-Hot Enc…
数据预处理
Z-score
08
数据集划分
时间序列交叉验证(TimeSerie… · 避免数据泄露的策略
数据集划分
TimeSerie
09
基线模型建立
线性回归(Linear Regres… · 模型评估指标(MAE · RMSE
基线模型建立
Linear
10
时间序列模型(ARIMA)
ARIMA模型原理 · 差分平稳性检验(ADF检验) · ACF/PACF图定阶
ARIMA
时间序列模型
11
机器学习模型(随机森林)
随机森林回归原理 · 特征重要性排序 · 超参数调优(GridSearchCV…
机器学习模型
随机森林
12
机器学习模型(XGBoost)
XGBoost原理 · 早停法(Early Stopping… · 学习率与树深度调优
XGBoost
机器学习模型
13
深度学习模型(LSTM)
LSTM网络结构 · 时间步长与滑动窗口构建 · Keras实现
LSTM
深度学习模型
14
模型集成(Stacking)
基学习器选择 · 元学习器训练 · 集成策略与效果对比
Stacking
模型集成
15
模型评估与对比
交叉验证结果对比 · 残差分析 · 预测区间计算
模型评估
对比
16
超参数调优实战
贝叶斯优化(BayesianOpti… · Optuna框架使用
超参数调优实战
BayesianOpti
17
特征选择
递归特征消除(RFE) · 基于模型的特征选择(SelectFr…
特征选择
RFE
18
异常检测与良率
利用Isolation Forest… · 异常事件对良率的影响量化
异常检测
良率
19
多步预测
递归多步预测 · 直接多步预测 · Seq2Seq模型简介
多步预测
递归多步预测
20
不确定性量化
蒙特卡洛Dropout · 预测置信区间生成
不确定性量化
Dropout
21
模型部署
Flask API搭建 · 模型序列化(Pickle/Jobli… · Docker容器化
模型部署
Flask
22
实时监控与预警
SPC控制图实时更新 · 良率下降预警阈值设定
实时监控
预警
23
案例实战(一)
晶圆良率预测——数据加载与预处理全流…
案例实战
晶圆良率预测
24
案例实战(二)
晶圆良率预测——特征工程与模型训练
案例实战
晶圆良率预测
25
案例实战(三)
晶圆良率预测——模型评估与结果可视化
案例实战
晶圆良率预测
26
案例实战(四)
封装测试良率预测——多站点数据融合
案例实战
封装测试良率预测
27
案例实战(五)
封装测试良率预测——迁移学习应用
案例实战
封装测试良率预测
28
高级话题
因果推断在良率分析中的应用 · 反事实预测
高级话题
因果推断
29
项目总结
常见陷阱与最佳实践 · 模型可解释性(SHAP值分析)
项目总结
常见陷阱
30
未来展望
数字孪生与虚拟量测 · AI驱动的自适应工艺控制
未来展望
数字孪生
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