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良率提升工具：DOE实验设计在工艺优化中的应用

共计 30 章节
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01
课程导论
什么是DOE · DOE在工艺优化与良率提升中的核心价… · 课程目标与学习路径
课程导论DOE
02
基础统计回顾
总体与样本 · 均值与方差 · 正态分布与3σ原则
基础统计回顾总体
03
变异来源分析
普通原因与特殊原因 · 过程能力指数Cp/Cpk · 良率与缺陷密度关系
变异来源分析普通原因
04
DOE基本术语
因子 · 水平 · 响应
DOE基本术语
05
全因子设计原理
2^k全因子设计 · 试验次数计算 · 正交性原理
全因子设计原理2^k全因子设计
06
全因子设计实践
因子编码 · 试验顺序随机化 · 重复与区组
全因子设计实践因子编码
07
部分因子设计
混淆与分辨率 · 分辨率III/IV/V设计 · 筛选试验策略
部分因子设计混淆
08
Plackett-Burman设计
用于因子筛选的饱和设计 · 应用场景与局限性
Plackett-Bur…设计
09
中心复合设计
响应曲面法基础 · 序贯设计 · 轴点与中心点
心复合设计响应曲面法基础
10
Box-Behnken设计
三水平设计 · 球面设计 · 与CCD的比较
Box-Behnken设计
11
响应曲面分析
拟合二阶模型 · 等高线图与曲面图 · 最优区域搜索
响应曲面分析拟合二阶模型
12
混料设计
混料约束 · 单纯形格点设计 · 极端顶点设计
混料设计混料约束
13
田口方法
信噪比 · 稳健参数设计 · 内外表设计
田口方法信噪比
14
DOE在刻蚀工艺优化中的应用
刻蚀速率 · 均匀性 · 选择性的因子分析
DOE刻蚀工艺优化
15
DOE在薄膜沉积中的应用
厚度均匀性 · 应力 · 折射率的优化
DOE薄膜沉积
16
DOE在光刻工艺中的应用
关键尺寸 · 侧壁角度 · 曝光宽容度的优化
DOE光刻工艺
17
DOE在CMP平坦化中的应用
去除速率 · 表面缺陷 · 平坦度优化
DOECMP
18
DOE在焊接工艺中的应用
焊点强度 · 空洞率 · 润湿角优化
DOE焊接工艺
19
DOE在注塑成型中的应用
收缩率 · 翘曲 · 填充平衡优化
DOE注塑成型
20
DOE在化学合成中的应用
产率 · 纯度 · 反应时间优化
DOE化学合成
21
DOE软件工具介绍
Minitab · JMP · Design-Expert的基本操作
DOE软件工具介绍
22
DOE数据分析流程
方差分析 · 模型诊断 · 残差分析
DOE数据分析流程
23
主效应与交互效应图
如何解读效应图 · 帕累托图 · 半正态图
主效应交互效应图
24
模型优化与验证
期望函数 · 多响应优化 · 确认试验
模型优化验证
25
DOE与SPC的集成
控制图监控 · 过程调整 · 持续改进循环
DOESPC
26
DOE与机器学习结合
贝叶斯优化 · 高斯过程 · 主动学习策略
DOE机器学习结合
27
高维因子筛选
Definitive Screeni… · 自适应设计
高维因子筛选Definitive
28
DOE项目实战案例一
某半导体刻蚀工艺良率从85%提升至9…
DOE项目实战案例一
29
DOE项目实战案例二
某注塑成型工艺翘曲缺陷降低50%的优…
DOE项目实战案例二
30
课程总结与进阶路径
DOE常见陷阱 · 六西格玛黑带认证 · 未来趋势
课程总结进阶路径