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良率改善：半导体Fab良率改善体系搭建实战方法

共计 30 章节
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01
良率基础概念
半导体良率定义 · 晶圆良率与芯片良率区别 · 良率对Fab成本与利润的影响
良率基础概念半导体良率定义
02
良率分类体系
晶圆良率（Line Yield） · 芯片良率（Die Yield） · 封装良率（Assembly Yiel…
良率分类体系Line
03
良率损失模型
泊松模型 · 负二项模型 · 复合泊松模型在良率预测中的应用与局限…
良率损失模型泊松模型
04
缺陷密度与良率关系
缺陷密度（D0）定义 · 随机缺陷与系统缺陷 · 良率与缺陷密度的数学关系
缺陷密度良率关系
05
良率改善组织架构
良率改善团队（YE）的组成 · 角色分工（工艺 · 设备
良率改善组织架构YE
06
良率改善流程框架
DMAIC方法论在良率改善中的应用 · Define-Measure-Ana…
良率改善流程框架DMAIC
07
良率数据采集体系
EES（设备工程系统） · APC（先进过程控制） · MES（制造执行系统）的数据流设计
良率数据采集体系EES
08
良率数据仓库搭建
数据清洗 · 数据标准化 · 良率数据模型设计
良率数据仓库搭建数据清洗
09
良率KPI指标体系
关键良率指标（CPK · PPK · DPU
KPI良率
10
良率基线建立
历史良率数据分析 · 基线设定方法 · 良率目标分解（按工艺层
良率基线建立历史良率数据分析
11
缺陷检测技术
光学检测（AOI） · 电子束检测（EBI） · 暗场/明场检测原理与应用场景
缺陷检测技术AOI
12
缺陷分类与根因分析
缺陷自动分类（ADC） · SEM/EDX成分分析 · 空间分布分析（Spatial Sig…
缺陷分类根因分析
13
良率与工艺参数关联分析
单变量分析 · 多变量分析 · 相关性矩阵
良率工艺参数关联分析
14
统计过程控制（SPC）在良率中的应用
控制图（X-bar R · P图 · U图）
SPC统计过程控制
15
良率改善的DOE方法
全因子设计 · 部分因子设计 · 响应曲面法在工艺优化中的实战案例
DOE良率改善的
16
良率改善的FMEA方法
失效模式与影响分析（FMEA）在工艺…
FMEA良率改善的
17
良率改善的8D问题解决法
8D步骤详解 · 在重大良率异常事件中的实战应用
良率改善的8D问…8D步骤详解
18
良率改善的鱼骨图与5Why分析
因果分析工具在根因定位中的使用技巧
Why良率改善的鱼骨图
19
良率改善的假设检验
t检验 · ANOVA · 卡方检验在工艺比较与良率差异分析中的…
良率改善的假设检…t检验
20
良率改善的回归分析
线性回归 · 逻辑回归 · 多元回归在良率预测与关键因子识别中的…
良率改善的回归分…线性回归
21
良率改善的机器学习方法
决策树 · 随机森林 · XGBoost在良率预测与缺陷分类中…
良率改善的机器学…决策树
22
良率改善的深度学习应用
CNN在晶圆缺陷图像识别 · RNN在时间序列良率预测中的应用
良率改善的深度学…CNN
23
良率改善的自动化系统
RPA在良率数据报表自动化 · 异常自动报警系统设计
良率改善的自动化…RPA
24
良率改善的看板与可视化
良率仪表盘设计 · 实时良率监控看板 · 良率趋势可视化
良率改善的看板可视化
25
良率改善的变更管理
工艺变更流程（PCN） · 变更风险评估 · 变更后良率验证方法
良率改善的变更管…PCN
26
良率改善的持续改进机制
PDCA循环 · 良率改善周会/月会机制 · 良率改善项目跟踪
良率改善的持续改…PDCA
27
良率改善的跨厂区对标
不同Fab之间良率对标方法 · 最佳实践转移 · 良率差距分析
良率改善的跨厂区…Fab
28
良率改善的成本效益分析
良率改善投入产出比计算 · 良率提升对毛利率的影响模型
良率改善的成本效…良率改善投入产出…
29
良率改善的文档与知识管理
良率改善案例库建设 · 经验教训文档（LL） · 知识传承机制
良率改善的文档知识管理
30
良率改善体系成熟度评估
良率改善体系成熟度模型（初始级-优化… · 评估方法 · 持续优化路线图
良率改善体系成熟…初始级