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半导体良率工程师核心技能：数据分析与SPC实战

共计 30 章节
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01
半导体制造与良率概述
半导体产业链简介 · 晶圆制造流程 · 良率定义与分类（CP/FT良率）
半导体制造良率概述
02
数据分析基础与Python环境搭建
Python与Anaconda安装 · Jupyter Notebook使用 · Pandas与NumPy库简介
Python数据分析基础
03
数据清洗与预处理实战
处理缺失值 · 异常值检测（IQR/3σ法则） · 数据标准化与归一化
数据清洗预处理实战
04
描述性统计分析
均值 · 中位数 · 众数
描述性统计分析均值
05
数据可视化基础
Matplotlib与Seaborn… · 直方图 · 箱线图
数据可视化基础Matplotlib
06
SPC（统计过程控制）理论基础
过程变差来源（普通原因与特殊原因） · 控制图原理 · 中心极限定理
SPC统计过程控制
07
计量型控制图（一）
Xbar-R图：原理 · 控制限计算 · 在刻蚀/薄膜厚度监控中的应用
计量型控制图Xbar-R
08
计量型控制图（二）
Xbar-S图与I-MR图 · 在关键尺寸（CD）测量中的应用
计量型控制图Xbar-S
09
计数型控制图（一）
P图与NP图：不合格品率控制图 · 在良率监控（Bin Count）中的… · 数据要求与样本量计算
计数型控制图NP
10
计数型控制图（二）
U图与C图：单位缺陷数与缺陷数控制图 · 在缺陷密度（Defect Densi…
计数型控制图U图
11
过程能力分析（Cp/Cpk）
过程能力指数Cp · Cpk · Pp
Cp/Cpk过程能力分析
12
非正态数据的过程能力分析
Box-Cox变换 · Johnson变换 · 非正态能力分析（百分位数法）
非正态数据的过程…Box-Cox
13
测量系统分析（MSA）基础
测量系统变差组成（重复性与再现性） · GR&R研究 · P/T比率
MSA测量系统分析
14
假设检验基础
原假设与备择假设 · 显著性水平 · P值
假设检验基础原假设
15
相关性分析与回归分析
皮尔逊相关系数 · 线性回归 · 多元回归
相关性分析回归分析
16
晶圆图（Wafer Map）数据分析
Bin Map可视化 · 缺陷聚类分析 · 空间相关性分析
WaferMap
17
良率损失分析（Yield Pareto）
帕累托图制作 · Top Defect/ Top Bi… · 分层分析（Layer/Equipme…
YieldPareto
18
工艺窗口与DOE基础
工艺窗口定义 · 全因子与部分因子实验设计 · 响应曲面法
DOE工艺窗口
19
时间序列分析与趋势监控
移动平均 · 指数平滑 · 趋势图
时间序列分析趋势监控
20
自动化数据报表与Dashboard
使用Python（Plotly Da… · 自动发送异常报警邮件
Dashboard自动化数据报表
21
良率提升方法论（DMAIC）
定义 · 测量 · 分析
DMAIC良率提升方法论
22
良率与电性测试（WAT）关联分析
WAT参数（Vt/Ion/Ioff/… · 电性参数SPC监控 · Spec限设定方法
WAT良率
23
缺陷数据管理与分析
缺陷分类（Particle/Scra… · 缺陷密度（D0）计算 · 缺陷空间分布与良率模型（Y=Y0*e…
缺陷数据管理分析
24
设备工程系统（EES）与FDC数据
设备参数（RF Power/Temp… · FDC异常检测与良率联动
EESFDC
25
多变量分析（PCA/PLS）
主成分分析（PCA）降维 · 偏最小二乘法（PLS）建模 · 在复杂工艺参数与良率建模中的应用
PCA/PLS多变量分析
26
机器学习在良率预测中的应用
决策树 · 随机森林 · XGBoost
机器学习良率预测
27
异常事件根因分析（RCA）
5Why分析法 · 鱼骨图 · 故障树分析（FTA）
RCA异常事件根因分析
28
良率报告撰写与跨部门沟通
良率日报/周报/月报结构 · 数据故事化（Data Storyte… · 面向管理层与工程师的汇报技巧
良率报告撰写跨部门沟通
29
半导体行业数据分析工具进阶
JMP与Minitab在半导体中的应… · Python与SQL数据库（如MyS…
半导体行业数据分…JMP
30
综合实战项目
从Fab数据中提取历史良率数据 · 完成数据清洗 · SPC监控
综合实战项目Fab