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从I-V C-V到模型卡：器件参数提取全流程

共计 30 章节
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01
课程导论
从I-V/C-V测试到模型卡的完整流… · 课程目标与学习路径
课程导论I-V/C-V
02
半导体物理基础回顾
能带 · 载流子浓度 · 迁移率
半导体物理基础回…能带
03
测试系统搭建
探针台 · 半导体参数分析仪 · LCR表
测试系统搭建探针台
04
I-V测试原理
直流I-V扫描 · 脉冲I-V · 传输线模型(TLM)测试方法
I-V测试原理
05
C-V测试原理
高频C-V · 准静态C-V · 多频C-V测试原理与仪器设置
C-V测试原理
06
测试结构设计
MOS电容 · FET器件 · 测试键(PAD)与开尔文结构设计
测试结构设计MOS
07
数据预处理
异常值剔除 · 平滑滤波 · 去嵌入(De-embedding)技…
数据预处理异常值剔除
08
I-V参数提取基础
阈值电压(Vth)提取方法——线性外… · 常数电流法
I-V参数提取基础
09
I-V参数提取进阶
跨导(gm) · 输出电导(gds) · 饱和电压(Vdsat)提取
I-V参数提取进阶
10
迁移率提取
有效迁移率(μeff) · 场效应迁移率(μFE)提取方法
迁移率提取eff
11
串联电阻提取
总电阻法 · 通道电阻法 · TLM法提取源漏电阻(Rsd)
串联电阻提取总电阻法
12
C-V参数提取基础
氧化层电容(Cox) · 平带电压(Vfb) · 阈值电压(Vth)提取
C-V参数提取基础
13
C-V参数提取进阶
界面态密度(Dit)提取——电导法 · 高频低频法
C-V参数提取进阶
14
掺杂浓度提取
从C-V曲线提取衬底掺杂浓度(Nsu…
掺杂浓度提取C-V
15
栅氧化层厚度提取
积累区Cox提取 · 量子力学修正 · 等效氧化层厚度(EOT)
栅氧化层厚度提取Cox
16
短沟道效应参数提取
DIBL · Vth滚降 · 亚阈值摆幅(SS)提取
短沟道效应参数提…DIBL
17
温度依赖性参数提取
迁移率温度系数 · 阈值电压温度系数提取
温度依赖性参数提…迁移率温度系数
18
噪声参数提取
低频噪声(1/f噪声)与散粒噪声测量…
噪声参数提取低频噪声
19
模型卡结构解析
BSIM4/BSIM3模型卡参数分类…
模型卡结构解析BSIM4/BSIM3
20
模型卡参数映射
将提取的物理参数映射到模型卡中的对应…
模型卡参数映射将提取的物理参数…
21
参数优化与拟合
使用优化算法(Levenberg-M…
参数优化拟合
22
模型验证
I-V与C-V曲线拟合优度评估 · 均方根误差(RMSE)计算
模型验证I-V
23
统计参数提取
多器件测试 · 工艺角(Process Corner…
统计参数提取多器件测试
24
自动化脚本编写
使用Python+PyVISA控制仪…
自动化脚本编写Python+PyVIS…
25
数据管理
测试数据存储格式(ITF/MDL/C… · 数据库管理与版本控制
数据管理ITF/MDL/C
26
模型卡生成
从提取参数自动生成标准格式模型卡文件…
模型卡生成从提取参数自动生…
27
模型卡集成
将模型卡导入SPICE仿真器(如HS…
模型卡集成SPICE
28
案例分析1
NMOS器件从I-V/C-V测试到B…
案例分析1NMOS
29
案例分析2
PMOS器件参数提取与模型卡生成 · 对比NMOS差异
案例分析2PMOS
30
课程总结与展望
先进工艺(FinFET/GAA)参数…
课程总结FinFET/GAA