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025-深亚微米CMOS工艺
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《深亚微米CMOS工艺PDK集成与SPICE建模实践》
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深亚微米CMOS工艺PDK集成与SPICE建模实践
共计 30 章节
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01
PDK基础概念
PDK的定义 · PDK在IC设计流程中的作用 · PDK的组成要素(器件模型
PDK
基础概念
02
深亚微米工艺挑战
短沟道效应 · 迁移率退化 · 速度饱和
深亚微米工艺挑战
短沟道效应
03
SPICE模型基础
SPICE仿真器简介 · SPICE网表语法 · 模型语句(.MODEL)
SPICE
模型基础
04
BSIM4模型核心参数
阈值电压模型 · 沟道长度调制效应 · DIBL效应
BSIM4
模型核心参数
05
BSIM4模型参数提取流程
DC参数提取(I-V曲线) · CV参数提取(C-V曲线) · 参数优化与拟合
BSIM4
模型参数提取流程
06
PDK集成环境搭建
PDK安装目录结构 · 工艺文件(.tf)配置 · 显示文件(.display)设置
PDK
集成环境搭建
07
PDK中的标准器件库
NMOS/PMOS器件 · 电阻(Poly/扩散/阱电阻) · 电容(MIM/MOM电容)
PDK
标准器件库
08
PDK中的匹配器件
叉指结构 · 共质心布局 · 虚拟器件(Dummy)
PDK
匹配器件
09
PDK中的高压器件
LDMOS器件结构 · 漂移区建模 · 击穿电压模型
PDK
高压器件
10
PDK中的射频器件
RF MOSFET模型 · 噪声模型(1/f噪声 · 热噪声)
PDK
射频器件
11
PDK中的工艺角模型
TT/FF/SS/FS/SF工艺角定… · 全局波动与局部波动 · 蒙特卡洛模型参数设置
PDK
工艺角模型
12
PDK中的温度模型
温度系数建模 · 自热效应 · 温度相关的迁移率与阈值电压模型
PDK
温度模型
13
PDK中的统计模型
失配模型(Pelgrom模型) · 随机波动模型 · 工艺波动对电路良率的影响
PDK
统计模型
14
PDK中的互连寄生模型
RC寄生提取 · 耦合电容 · 电感效应
PDK
互连寄生模型
15
PDK中的ESD器件模型
GGNMOS · GCNMOS · SCR结构
PDK
ESD
16
PDK中的LVS规则文件
LVS规则语法 · 器件识别层 · 连接关系定义
PDK
LVS
17
PDK中的DRC规则文件
最小间距 · 最小宽度 · 包围规则
PDK
DRC
18
PDK中的PEX寄生提取
寄生参数提取流程 · 耦合电容提取 · 电阻提取
PDK
PEX
19
PDK中的工艺文件(Techfile)
层定义 · 层映射 · 工艺规则
PDK
Techfile
20
PDK中的标准单元库
数字标准单元(INV/NAND/NO… · 时序模型(Liberty格式) · 功耗模型
PDK
标准单元库
21
PDK中的模拟IP库
带隙基准 · 运算放大器 · 比较器
PDK
IP
22
PDK中的IO库
IO Pad结构 · ESD保护电路 · IO缓冲器模型
PDK
IO
23
PDK中的存储器模型
SRAM单元 · ROM单元 · 存储器外围电路
PDK
存储器模型
24
PDK中的MEMS器件模型
MEMS电容 · MEMS开关 · MEMS谐振器
PDK
MEMS
25
PDK中的光电器件模型
光电二极管 · 光电晶体管 · 量子效率模型
PDK
光电器件模型
26
PDK中的功率器件模型
功率MOSFET · IGBT · 功率二极管
PDK
功率器件模型
27
PDK中的噪声模型
器件噪声模型(热噪声 · 散粒噪声 · 闪烁噪声)
PDK
噪声模型
28
PDK中的可靠性模型
热载流子注入(HCI)退化模型 · 负偏置温度不稳定性(NBTI)模型 · 电迁移(EM)模型
PDK
可靠性模型
29
PDK中的模型验证方法
DC/AC/瞬态仿真验证 · 蒙特卡洛仿真验证 · 工艺角仿真验证
PDK
模型验证方法
30
PDK集成与SPICE建模综合实践
从工艺文件到完整PDK的集成流程 · 自定义器件建模与PDK集成 · 项目实战案例(如设计一个低噪声放大器…
PDK
SPICE
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