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本课程属于：025-深亚微米CMOS工艺 半导体工艺与制造设备 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。

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器件仿真与模型验证联合流程

共计 30 章节

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器件仿真与模型验证的重要性 · 联合流程概述 · 课程目标与学习路径

课程导论器件仿真

半导体物理基础回顾

能带理论 · 载流子统计 · 漂移扩散方程

半导体物理基础回…能带理论

TCAD仿真工具概述

Sentaurus · Silvaco · QCAD

TCAD仿真工具概述

器件结构定义

几何尺寸 · 掺杂分布 · 网格划分策略（自适应网格

器件结构定义几何尺寸

物理模型选择

迁移率模型 · 复合模型（SRH · Auger）

物理模型选择迁移率模型

数值求解方法

Newton法 · Gummel法 · 耦合求解策略

数值求解方法Newton

MOSFET直流特性仿真

转移特性 · 输出特性 · 阈值电压提取

MOSFET直流特性仿真

MOSFET交流与射频特性仿真

C-V特性 · 截止频率fT · 最大振荡频率fmax

双极型晶体管（BJT/HBT）仿真

Gummel图 · 电流增益 · Early电压

BJT/HBT双极型晶体管

功率器件仿真

LDMOS · VDMOS · IGBT的击穿电压

功率器件仿真LDMOS

存储器器件仿真

Flash存储器 · RRAM · MRAM的基本操作与仿真方法

存储器器件仿真Flash

光电与传感器件仿真

光电二极管 · 太阳能电池 · CMOS图像传感器像素仿真

光电传感器件仿真

工艺仿真集成

离子注入 · 扩散 · 氧化

工艺仿真集成离子注入

模型验证基础

模型验证的定义 · 验证指标（误差 · 相关性）

模型验证基础模型验证的定义

参数提取方法

局部优化 · 全局优化 · Levenberg-Marquard…

参数提取方法局部优化

紧凑模型（Compact Model）基础

BSIM · PSP · HiSIM模型族介绍与选择

模型参数与物理一致性

参数物理意义 · 参数相关性 · 非物理参数的处理

模型参数物理一致性

联合流程架构设计

仿真-提取-验证闭环 · 数据流管理 · 版本控制策略

联合流程架构设计仿真

自动化流程搭建

Python/Shell脚本驱动TC… · 参数扫描 · 批量仿真与结果收集

自动化流程搭建Python/Shell

数据管理与数据库

HDF5 · SQLite · 自定义数据格式在仿真数据存储中的应用

数据管理数据库

可视化与数据分析

Matplotlib · Plotly · ParaView在仿真结果后处理中的…

可视化数据分析

统计建模与工艺角（Corner）仿真

蒙特卡洛分析 · 工艺角定义 · 最坏情况分析

Corner统计建模

可靠性仿真

热载流子注入（HCI） · 负偏置温度不稳定性（NBTI） · 电迁移仿真

可靠性仿真HCI

模型验证标准与流程

JEDEC标准 · IC-CAP/BSIMPro验证流程 · 工业级验证报告

模型验证标准流程

28nm CMOS器件仿真与BSIM…

SiGe HBT器件仿真与HICUM…

GaN HEMT功率器件仿真与ASM…

联合流程中的常见问题与调试

收敛失败 · 参数退化 · 模型失配的排查方法

联合流程常见问题

机器学习辅助参数提取 · 数字孪生 · 云端TCAD平台

前沿技术机器学习辅助参数…

课程总结与未来展望

联合流程的标准化趋势 · 开放标准（OpenPDK）与生态建设

课程总结未来展望