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本课程属于：014-洁净室工程实施 半导体工艺与制造设备 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
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风淋室门控互锁联动调试与吹淋参数配置实战课程

共计 30 章节
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01
风淋室概述
风淋室在洁净室中的作用 · 风淋室的基本结构组成（箱体 · 风机
风淋室概述风淋室
02
门控互锁系统原理
电磁锁与电子互锁的基本原理 · 两门互锁与三门互锁的逻辑关系
门控互锁系统原理电磁锁
03
核心元器件识别
PLC控制器 · 门磁开关 · 电磁锁
核心元器件识别PLC
04
电气原理图阅读
风淋室主回路与控制回路图纸解读 · 电源分配与信号线缆标识
电气原理图阅读风淋室主回路
05
PLC选型与I/O分配
常用PLC品牌（西门子 · 三菱 · 台达）选型要点
PLCI/O
06
PLC编程基础
梯形图（LAD）基本指令（常开 · 常闭 · 线圈
PLC编程基础
07
互锁逻辑编程实战（一）
编写双门互锁程序——一门开启时另一门…
互锁逻辑编程实战编写双门互锁程序
08
互锁逻辑编程实战（二）
编写三门互锁程序——任意一门开启时其… · 紧急情况全解锁
互锁逻辑编程实战编写三门互锁程序
09
门控延时与报警逻辑
开门超时报警 · 关门到位检测 · 延时自动上锁的编程实现
门控延时报警逻辑
10
HMI人机界面设计
触摸屏组态软件基础 · 互锁状态指示灯 · 手动/自动模式切换界面设计
HMI人机界面设计
11
吹淋参数概述
吹淋时间 · 吹淋风速 · 吹淋方向（顶部/侧部）
吹淋参数概述吹淋时间
12
变频器基础
变频器在风淋风机调速中的应用 · 主要参数（频率 · 加减速时间
变频器基础变频器
13
吹淋时间参数配置
通过PLC定时器或HMI设定吹淋时间… · 实现精确控制
吹淋时间参数配置PLC
14
吹淋风速参数配置
通过变频器调节风机频率（0-50Hz… · 实现风速（20-30m/s）的线性调…
吹淋风速参数配置Hz
15
吹淋方向与喷嘴角度调试
顶部与侧部喷嘴的机械角度调整 · 气流覆盖均匀性测试方法
吹淋方向喷嘴角度调试
16
压差监测与联锁
风淋室内部压差传感器安装 · 压差阈值设定 · 压差不达标时禁止开门逻辑
压差监测联锁
17
吹淋启动逻辑
红外感应启动 · 手动按钮启动 · 门磁联动启动三种模式的编程与切换
吹淋启动逻辑红外感应启动
18
吹淋过程中的门控策略
吹淋进行中强制锁门 · 吹淋结束后自动解锁 · 紧急停止时立即解锁
吹淋过程门控策略
19
参数存储与配方功能
利用PLC数据块或HMI配方功能存储…
参数存储配方功能
20
通信与数据采集
PLC与上位机Modbus RTU通… · 吹淋记录（时间 · 风速
通信数据采集
21
系统调试准备
硬件接线检查 · 电源测试 · 传感器信号测试
系统调试准备硬件接线检查
22
互锁功能调试
逐项测试双门/三门互锁逻辑 · 超时报警 · 紧急解锁功能
互锁功能调试逐项测试双门
23
吹淋参数调试
使用风速仪校准实际风速 · 秒表校准吹淋时间 · 调整变频器参数至目标值
吹淋参数调试使用风速仪校准实…
24
联机联动调试
模拟人员进出流程 · 验证“进门-锁门-吹淋-解锁-出门”…
联机联动调试模拟人员进出流程
25
故障模拟与排查
常见故障（门锁不吸合 · 风机不转 · 吹淋不停止）的模拟与排除方法
故障模拟排查
26
安全保护机制调试
急停按钮测试 · 过载保护测试 · 门未关严禁止启动测试
安全保护机制调试急停按钮测试
27
验收标准与测试报告
风淋室验收规范（GB 50591-2… · 测试数据记录表 · 合格判定标准
验收标准测试报告
28
维护与保养
高效过滤器更换周期 · 风机轴承润滑 · 门锁机构清洁
维护保养
29
常见问题与解决方案
互锁失效 · 吹淋风速不足 · HMI通讯中断等问题的原因分析与处理
常见问题解决方案
30
课程总结与考核
核心知识点回顾 · 实操考核要点 · 学员常见错误纠正
课程总结考核