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半导体工艺与制造设备
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003-半导体设备通信标准SECSGEM协议
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《SECSGEM通信数据抓包与SML解析实战方法》
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SECSGEM通信数据抓包与SML解析实战方法
共计 30 章节
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01
SECS/GEM协议概述
半导体设备自动化协议族介绍 · SECS-I/HSMS/SECS-I…
SECS/GEM
协议概述
02
HSMS通信基础
TCP/IP承载SECS消息的原理 · 主动连接与被动连接模式 · 端口号与会话建立
HSMS
通信基础
03
Wireshark抓包环境搭建
Wireshark安装 · HSMS协议解析插件配置 · 过滤规则设置
Wireshark
抓包环境搭建
04
SECS消息结构解析
Message Header(消息头… · Stream/Function · Reply Expected
SECS
消息结构解析
05
SML语言入门
SML(SECS Message L… · 基本数据类型(Boolean · Binary
SML
语言入门
06
SML消息格式详解
Item与List的嵌套结构 · 长度编码规则 · 格式代码(Format Code)与…
SML
消息格式详解
07
数据抓包实战
使用Wireshark捕获设备与主机… · 保存为pcapng文件
数据抓包实战
Wireshark
08
SML解析工具介绍
开源SML解析库(如pysecsge… · secsgem)的安装与基本使用
SML
解析工具介绍
09
Python解析SML基础
使用Python读取pcap文件 · 提取HSMS负载数据 · 转换为SML格式
Python
SML
10
Stream 1(设备状态管理)消息解析
S1F0(Abort Transac… · S1F1(Are You There… · S1F2(On Line Data)
Stream
1
11
Stream 2(设备控制与诊断)消息解析
S2F13(Equipment Co… · S2F14(Equipment Co… · S2F17(Date and Tim…
Stream
2
12
Stream 5(报警管理)消息解析
S5F1(Alarm Report… · S5F2(Alarm Report… · S5F3(Enable/Disabl…
Stream
5
13
Stream 6(数据收集与事件通知)消息解析
S6F1(Trace Data Se… · S6F2(Trace Data Ac… · S6F11(Event Report…
Stream
6
14
Stream 7(过程程序管理)消息解析
S7F1(Process Progr… · S7F2(Process Progr… · S7F3(Process Progr…
Stream
7
15
Stream 10(终端服务)消息解析
S10F1(Terminal Req… · S10F2(Terminal Ack… · S10F3(Terminal Dis…
Stream
10
16
Stream 12(配方管理)消息解析
S12F1(Recipe Load… · S12F2(Recipe Load… · S12F3(Recipe Reque…
Stream
12
17
GEM核心功能解析
设备状态模型(Equipment S… · 控制状态模型(Control Sta… · 处理状态模型(Processing…
GEM
核心功能解析
18
GEM事件通知机制
事件报告(Event Report) · 数据变量(Data Variable… · 收集事件(Collection Ev…
GEM
事件通知机制
19
GEM报警管理
报警集(Alarm Set) · 报警识别(Alarm ID) · 报警文本(Alarm Text)
GEM
报警管理
20
GEM远程命令
远程命令(Remote Comman… · 参数传递 · 执行确认流程
GEM
远程命令
21
GEM配方管理
配方(Recipe)的上传 · 下载 · 删除
GEM
配方管理
22
GEM设备常量
设备常量(Equipment Con… · 写入 · 存储与恢复机制
GEM
设备常量
23
GEM状态数据收集
状态数据收集(Status Data… · 触发条件 · 数据上报格式
GEM
状态数据收集
24
GEM追踪数据
追踪数据(Trace Data)的启… · 停止 · 数据采集与上报
GEM
追踪数据
25
SML解析实战
编写Python脚本 · 从pcap文件中批量解析SML消息 · 输出为结构化JSON格式
SML
解析实战
26
SML消息过滤与统计
根据Stream/Function · Device ID · System Bytes等字段过滤消…
SML
消息过滤
27
SML消息可视化
使用Python将解析后的SML消息… · 树形图或流程图 · 辅助协议分析
SML
消息可视化
28
常见通信故障分析
超时(T3/T5/T6/T7/T8) · 连接断开 · 消息格式错误
常见通信故障分析
T3/T5/T6/T7/…
29
SECS/GEM仿真测试
使用Python搭建简单的HSMS仿… · 模拟设备与主机通信 · 验证SML解析逻辑
SECS/GEM
仿真测试
30
综合实战案例
从真实半导体工厂抓包数据中 · 完整解析一个设备上电初始化到开始生产…
综合实战案例
从真实半导体工厂…
所属VIP或分类
同VIP:SECSGEM协议E系列规范与GEM功能集成开发
同VIP:SECSGEM协议E系列规范与SML解析集成
同VIP:SECSGEM协议GEM功能与设备状态机联调