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半导体工艺与制造设备
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003-半导体设备通信标准SECSGEM协议
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《SECSGEM协议E系列规范与GEM功能集成开发》
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本课程属于:003-半导体设备通信标准SECSGEM协议
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SECSGEM协议E系列规范与GEM功能集成开发
共计 30 章节
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01
SECS/GEM协议概述
半导体工厂自动化背景 · SECS/GEM协议族介绍 · E系列规范体系结构
SECS/GEM
协议概述
02
E4规范详解
SECS-I协议定义 · RS-232物理层特性 · 数据帧格式
E4
规范详解
03
E5规范详解
SECS-II消息标准 · 数据项(Data Item)定义 · 消息流(Stream)与功能(Fun…
E5
规范详解
04
E30规范详解
GEM通用设备模型 · 设备状态模型 · 处理状态模型
E30
规范详解
05
E37规范详解
HSMS高速消息服务协议 · TCP/IP传输层 · 连接建立与断开
E37
规范详解
06
E37规范深入
HSMS连接状态机 · 超时参数配置(T3/T4/T5/T6… · 心跳机制
E37
规范深入
07
E39规范详解
SECS/GEM对象服务 · 对象类型定义 · 对象属性与方法
E39
规范详解
08
E40规范详解
设备异常管理 · 报警(Alarm)分类与定义 · 报警上报机制
E40
规范详解
09
E87规范详解
载具管理 · 载具ID识别 · 载具状态跟踪
E87
规范详解
10
E90规范详解
设备追踪与追溯 · 设备状态历史记录 · 事件日志管理
E90
规范详解
11
GEM功能模型
GEM五大功能领域(设备控制 · 数据收集 · 报警管理
GEM
功能模型
12
GEM状态模型
设备状态模型(INIT/EQ_OFF… · 处理状态模型(IDLE/PROCES… · 状态转换规则
GEM
状态模型
13
GEM事件通知
事件定义与分类 · 事件上报机制 · 事件收集器(Event Collec…
GEM
事件通知
14
GEM变量管理
设备常量(Equipment Con… · 状态变量(Status Variab… · 数据变量(Data Variable…
GEM
变量管理
15
GEM配方管理
配方(Recipe)定义 · 配方上传与下载 · 配方验证
GEM
配方管理
16
GEM远程控制
远程命令定义 · 命令参数传递 · 命令执行状态反馈
GEM
远程控制
17
GEM数据收集
数据收集计划(Data Collec… · 数据收集触发条件 · 数据上报格式
GEM
数据收集
18
GEM报警管理
报警定义与分类 · 报警上报流程 · 报警确认与清除
GEM
报警管理
19
GEM时钟同步
时间戳规范 · 时钟同步机制 · 时间偏移管理
GEM
时钟同步
20
GEM安全机制
访问控制列表 · 用户认证 · 权限管理
GEM
安全机制
21
SECS/GEM消息编码与解码
消息头格式 · 消息体编码规则 · 数据项编码
SECS/GEM
消息编码
22
HSMS通信实现
Socket编程基础 · HSMS消息封装 · 连接管理实现
HSMS
通信实现
23
SECS/GEM状态机实现
设备状态机编程 · 处理状态机编程 · 状态转换事件处理
SECS/GEM
状态机实现
24
GEM事件系统开发
事件定义与注册 · 事件触发逻辑 · 事件上报实现
GEM
事件系统开发
25
GEM变量系统开发
变量定义与注册 · 变量读写接口 · 变量变化通知
GEM
变量系统开发
26
GEM远程命令开发
命令定义与注册 · 命令解析与分发 · 命令执行引擎
GEM
远程命令开发
27
GEM配方管理开发
配方数据结构设计 · 配方存储与检索 · 配方传输协议实现
GEM
配方管理开发
28
SECS/GEM测试与调试
模拟器使用 · 消息抓包分析 · 日志分析
SECS/GEM
测试
29
SECS/GEM集成案例
设备端GEM集成流程 · 主机端通信开发 · 典型场景实现(设备启动
SECS/GEM
集成案例
30
SECS/GEM最佳实践
性能优化策略 · 可靠性设计 · 兼容性考虑
SECS/GEM
最佳实践
所属VIP或分类
同VIP:SECSGEM协议E系列规范与SML解析集成
同VIP:SECSGEM协议GEM功能与设备状态机联调
同VIP:SECSGEM协议SML解析与消息事务处理实战