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半导体工艺与制造设备
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003-半导体设备通信标准SECSGEM协议
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《SECSGEM协议GEM功能与设备状态机联调》
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SECSGEM协议GEM功能与设备状态机联调
共计 30 章节
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01
SECS/GEM协议概述
半导体工厂自动化架构 · SECS-I/HSMS/SECS-I… · GEM标准核心价值
SECS/GEM
协议概述
02
设备状态机基础
状态机概念 · 设备生命周期 · 状态转换事件
设备状态机基础
状态机概念
03
GEM核心状态定义
INIT状态 · DISABLED状态 · ENABLED状态
GEM
核心状态定义
04
状态转换条件与触发机制
控制状态转换 · 通信状态转换 · 处理状态转换
状态转换条件
触发机制
05
GEM通信状态机
COMM_STATE模型 · NOT_CONNECTED · CONNECTED
GEM
通信状态机
06
GEM控制状态机
CONTROL_STATE模型 · OFF_LINE · ON_LINE_LOCAL
GEM
控制状态机
07
GEM处理状态机
PROCESS_STATE模型 · IDLE · SETUP
GEM
处理状态机
08
状态机联调概念
联调目标 · 联调环境搭建 · 联调工具选择
状态机联调概念
联调目标
09
HSMS通信建立与状态同步
HSMS连接建立流程 · T5/T6/T7/T8定时器作用 · 通信状态同步机制
HSMS
通信建立
10
S1F1/S1F2消息与状态查询
Are You There请求 · 设备ID验证 · 状态数据返回
S1F1/S1F2
消息
11
S1F3/S1F4消息与设备属性
设备属性定义 · S1F3请求格式 · S1F4响应格式
S1F3/S1F4
消息
12
S2F13/S2F14消息与设备常量
设备常量概念 · S2F13设置请求 · S2F14确认响应
S2F13/S2F14
消息
13
S2F17/S2F18消息与日期时间
日期时间请求 · 日期时间设置 · 时间同步联调
S2F17/S2F18
消息
14
S5F1/S5F2消息与报警管理
报警定义 · 报警使能 · 报警触发
S5F1/S5F2
消息
15
S6F11/S6F12消息与事件报告
事件报告定义 · 事件使能 · 事件触发
S6F11/S6F12
消息
16
S7F1/S7F2消息与流程程序管理
流程程序加载 · 流程程序验证 · 流程程序删除
S7F1/S7F2
消息
17
S9F1/S9F2消息与终端服务
终端显示 · 终端输入 · 终端服务联调
S9F1/S9F2
消息
18
S10F1/S10F2消息与终端显示
终端消息发送 · 终端消息接收 · 终端显示格式
S10F1/S10F2
消息
19
S12F1/S12F2消息与配方管理
配方定义 · 配方加载 · 配方验证
S12F1/S12F2
消息
20
状态机联调之INIT状态测试
INIT状态进入条件 · INIT状态行为验证 · INIT状态退出测试
INIT
状态机联调之
21
状态机联调之DISABLED状态测试
DISABLED状态进入条件 · DISABLED状态行为验证 · DISABLED状态退出测试
DISABLED
状态机联调之
22
状态机联调之ENABLED状态测试
ENABLED状态进入条件 · ENABLED状态行为验证 · ENABLED状态退出测试
ENABLED
状态机联调之
23
状态机联调之LOCAL状态测试
LOCAL状态进入条件 · LOCAL状态行为验证 · LOCAL状态退出测试
LOCAL
状态机联调之
24
状态机联调之REMOTE状态测试
REMOTE状态进入条件 · REMOTE状态行为验证 · REMOTE状态退出测试
REMOTE
状态机联调之
25
状态转换异常处理联调
超时异常处理 · 消息格式异常处理 · 状态冲突处理
状态转换异常处理…
超时异常处理
26
多设备状态同步联调
设备集群状态同步 · 主从设备状态协调 · 状态广播机制
多设备状态同步联…
设备集群状态同步
27
GEM联调工具使用
SECS/GEM模拟器使用 · 协议分析器使用 · 日志分析工具使用
GEM
联调工具使用
28
联调案例实战一
单设备状态机联调全流程 · 消息交互验证 · 状态一致性检查
联调案例实战一
单设备状态机联调…
29
联调案例实战二
多设备协同状态机联调:设备间状态联动 · 事件同步 · 报警协同
联调案例实战二
多设备协同状态机…
30
联调总结与最佳实践
常见联调问题汇总 · 联调效率提升技巧 · 状态机设计优化建议
联调总结
最佳实践
所属VIP或分类
同VIP:SECSGEM协议E系列规范与GEM功能集成开发
同VIP:SECSGEM协议E系列规范与SML解析集成
同VIP:SECSGEM协议SML解析与消息事务处理实战