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半导体工艺与制造设备
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003-半导体设备通信标准SECSGEM协议
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《SECSGEM设备状态机设计与GEM功能验证》
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本课程属于:003-半导体设备通信标准SECSGEM协议
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SECSGEM设备状态机设计与GEM功能验证
共计 30 章节
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01
SECS/GEM协议概述
SEMI标准体系 · SECS-I · SECS-II
SECS/GEM
协议概述
02
设备状态机基础
状态机概念 · 状态 · 事件
设备状态机基础
状态机概念
03
GEM设备状态模型
INIT · NOT_READY · READY
GEM
设备状态模型
04
状态转换条件
各状态之间的合法转换路径 · 触发条件(如上电 · 初始化
状态转换条件
各状态之间的合法…
05
控制状态机(Control State Machine)
ENABLE/DISABLE · OPERATOR/REMOTE控制模…
Control
State
06
通信状态机(Communication State Machine)
DISABLED · ENABLED · COMMUNICATING状态及转换
Communicatio…
State
07
处理状态机(Processing State Machine)
IDLE · SETUP · PROCESSING
Processing
State
08
状态机设计原则
状态最小化 · 避免状态爆炸 · 状态与事件解耦设计
状态机设计原则
状态最小化
09
状态机实现方法
基于枚举+switch-case · 状态模式(State Pattern… · 有限状态机库
状态机实现方法
switch-case
10
GEM消息结构
Stream · Function · WBit
GEM
消息结构
11
S1F1/S1F2
Are You There / On…
S1F1/S1F2
Are
12
S1F3/S1F4
Selected Equipment…
S1F3/S1F4
Selected
13
S1F13/S1F14
Establish Communic…
S1F13/S1F14
Establish
14
S1F17/S1F18
Request ON-LINE /…
S1F17/S1F18
Request
15
S2F13/S2F14
Equipment Constant…
S2F13/S2F14
Equipment
16
S2F17/S2F18
Date and Time Requ…
S2F17/S2F18
Date
17
S2F41/S2F42
Host Command Send…
S2F41/S2F42
Host
18
S5F1/S5F2
Alarm Report Send…
S5F1/S5F2
Alarm
19
S6F11/S6F12
Event Report Send…
S6F11/S6F12
Event
20
S7F1/S7F2
Process Program Lo…
S7F1/S7F2
Process
21
S10F1/S10F2
Terminal Display /…
S10F1/S10F2
Terminal
22
GEM功能验证概述
验证目的 · 验证范围 · 验证环境搭建(模拟器+真实设备)
GEM
功能验证概述
23
通信建立验证
测试S1F13/S1F14交互 · 验证状态机从DISABLED到COM…
通信建立验证
S1F13/S1F14
24
在线/离线切换验证
测试S1F17/S1F18 · 验证控制状态机LOCAL/REMOT…
离线切换验证
S1F17/S1F18
25
事件报告验证
配置事件ID · 触发事件 · 验证S6F11消息内容与状态机一致性
事件报告验证
ID
26
告警上报验证
模拟告警条件 · 验证S5F1消息及告警清除流程
告警上报验证
模拟告警条件
27
设备常量读写验证
通过S2F13/S2F14读写EC · 验证参数持久化与状态机响应
设备常量读写验证
S2F13/S2F14
28
主机命令验证
通过S2F41下发命令(如START · STOP) · 验证处理状态机转换
主机命令验证
S2F41
29
配方管理验证
通过S7F1/S7F2加载配方 · 验证配方数据完整性与状态机联动
配方管理验证
S7F1/S7F2
30
综合场景验证
设计多步场景(上电→通信建立→远程控… · 验证全状态机路径正确性
综合场景验证
设计多步场景
所属VIP或分类
同VIP:SECSGEM协议E系列规范与GEM功能集成开发
同VIP:SECSGEM协议E系列规范与SML解析集成
同VIP:SECSGEM协议GEM功能与设备状态机联调