VIP20
本课程属于：003-半导体设备通信标准SECSGEM协议 半导体工艺与制造设备 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

SECSGEM设备状态机与日志解析联调工程案例

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
SECS/GEM协议概述
半导体设备自动化标准 · HSMS与SECS-I传输层 · GEM标准功能
SECS/GEM协议概述
02
设备状态机基础
状态机概念 · SECS/GEM中的设备状态模型 · 状态转换图
设备状态机基础状态机概念
03
通信建立与初始化
HSMS连接建立 · Select/Communicate… · Linktest机制
通信建立初始化
04
S1F1与S1F2消息
Are You There请求与响应 · 设备ID与状态报告
S1F1S1F2
05
S1F3与S1F4消息
设备属性请求(SV) · 数据变量查询与响应
S1F3S1F4
06
S1F13与S1F14消息
建立通信请求(CR) · 通信建立确认(CF) · 通信状态机
S1F13S1F14
07
S1F17与S1F18消息
在线/离线请求(ON/OF) · 控制状态机转换
S1F17S1F18
08
S2F13与S2F14消息
设备常量请求(EC) · 设备常量数据报告
S2F13S2F14
09
S2F17与S2F18消息
日期时间请求 · 设备时间同步机制
S2F17S2F18
10
S2F23与S2F24消息
跟踪数据请求(TR) · 跟踪数据报告
S2F23S2F24
11
S2F33与S2F34消息
远程命令请求(RCMD) · 远程命令确认
S2F33S2F34
12
S2F41与S2F42消息
主机命令发送(HCMD) · 主机命令确认
S2F41S2F42
13
S5F1与S5F2消息
报警报告(AL) · 报警确认(ACK)
S5F1S5F2
14
S5F3与S5F4消息
报警使能请求(EN) · 报警使能数据
S5F3S5F4
15
S5F5与S5F6消息
报警列表请求(ALR) · 报警列表数据
S5F5S5F6
16
S6F1与S6F2消息
追溯数据报告(TRD) · 追溯数据确认
S6F1S6F2
17
S6F11与S6F12消息
事件报告发送(ER) · 事件报告确认
S6F11S6F12
18
S6F15与S6F16消息
事件报告请求(EER) · 事件报告数据
S6F15S6F16
19
S7F1与S7F2消息
过程程序加载请求(PP) · 过程程序数据
S7F1S7F2
20
S7F3与S7F4消息
过程程序删除请求(PPD) · 删除确认
S7F3S7F4
21
S7F5与S7F6消息
过程程序列表请求(PPL) · 过程程序列表数据
S7F5S7F6
22
S9F1~S9F12消息
错误消息处理机制 · 未识别消息 · 格式错误处理
S9F1S9F12
23
S10F1~S10F6消息
终端服务消息 · 终端显示与终端请求
S10F1S10F6
24
日志解析基础
SECS/GEM日志格式 · 时间戳解析 · 消息头解析
日志解析基础SECS/GEM
25
日志解析进阶
消息体解析 · SML格式转换 · 数据项提取
日志解析进阶消息体解析
26
状态机与日志联调
日志回放驱动状态机 · 状态转换验证
状态机日志联调
27
异常场景处理
通信超时 · 消息重发 · 状态不一致恢复
异常场景处理通信超时
28
工程案例一
基于Python的SECS/GEM模…
工程案例一Python
29
工程案例二
日志分析工具开发与状态机可视化
工程案例二日志分析工具开发
30
综合实战
设备联调测试 · 问题排查与性能优化
综合实战设备联调测试