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SECSGEM消息事务与通信会话测试工程案例

共计 30 章节
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01
SECS/GEM概述
SECS/GEM协议在半导体制造中的… · HSMS与SECS-I传输层对比 · GEM标准功能集介绍
SECS/GEM协议
02
HSMS通信建立
HSMS主动连接与被动连接模式 · T3/T5/T6/T8定时器配置 · 通信状态机（Not Connecte…
HSMS通信建立
03
SECS-II消息结构
Stream与Function的概念 · Message ID与WBit/EB… · 消息头（Message Header…
SECS-II消息结构
04
事务（Transaction）基础
事务ID（System Bytes）… · 单块消息与多块消息事务 · 事务超时与重试机制
Transaction事务
05
S1F1与S1F2（Are You There/OnLine）
设备状态查询事务 · S1F2数据项（MDLN · SOFTREV）解析
S1F1S1F2
06
S1F3与S1F4（Selected Equipment Status Requ
SVID（状态变量ID）的定义与查询 · S1F4返回数据格式（SV List… · 典型应用场景
S1F3S1F4
07
S2F13与S2F14（Equipment Constant Request/S
ECID（设备常量ID）的读写事务 · S2F14数据格式（EC List） · 持久化与易失性EC的区别
S2F13S2F14
08
S2F17与S2F18（Date and Time Request/Set）
设备时间同步事务 · 时间格式（ASCII与Binary） · 时区处理与精度要求
S2F17S2F18
09
S2F41与S2F42（Host Command Send/Command Re
远程命令事务（RCMD） · 命令参数（CPNAME/CPVAL）… · 命令执行状态报告
S2F41S2F42
10
S5F1与S5F2（Alarm Report/Acknowledge）
报警（Alarm）触发机制 · ALID（报警ID）与ALCD（报警… · 报警清除事务
S5F1S5F2
11
S5F3与S5F4（Enable/Disable Alarm）
报警使能控制事务 · 报警掩码管理 · 典型测试场景：使能后触发报警验证
S5F3S5F4
12
S6F11与S6F12（Event Report Request/Data）
事件（Event）配置与报告 · CEID（收集事件ID） · RPTID（报告ID）与VID（变量…
S6F11S6F12
13
S6F15与S6F16（Event Report Request Link/Un
报告与收集事件的链接/解链事务 · 多报告复用同一事件 · 链路完整性测试
S6F15S6F16
14
S7F1与S7F2（Process Program Load/Request）
工艺程序（PP）上传与下载事务 · PPID命名规则 · PP数据格式（ASCII/Binar…
S7F1S7F2
15
S7F3与S7F4（Process Program Delete/List）
工艺程序删除与列表查询事务 · 删除确认机制 · 列表返回格式（PPID List）
S7F3S7F4
16
S9F1至S9F12（系统错误消息）
未识别Stream/Function… · 无效数据长度错误 · 事务ID不匹配错误
S9F1S9F12
17
S10F1与S10F2（Terminal Display/Response）
终端显示消息事务 · TID（终端ID）与文本内容 · 操作员确认响应测试
S10F1S10F2
18
S10F3与S10F4（Terminal Request/Response）
终端请求输入事务 · 输入类型（数字/文本/选择） · 超时与取消测试
S10F3S10F4
19
多块消息（Multi-block Message）
大块数据拆分与重组 · 块序号（Block Number）管… · CRC校验与重传机制
Multi-blockMessage
20
通信会话保持与心跳
T3定时器（Reply Timeou… · T5定时器（Connect Sepa… · 心跳消息（Link Test Req…
通信会话保持心跳
21
GEM状态模型
设备状态（EQUIP_STATE） · 控制状态（CONTROL_STATE… · 处理状态（PROCESS_STATE…
GEM状态模型
22
GEM收集事件（CE）与报告（RPT）
CEID使能/禁用 · RPTID动态创建与删除 · VID数据源绑定测试
GEMCE
23
GEM报警管理（AL）
报警ID注册 · 报警文本（ALTX）配置 · 报警状态（ALST）轮询与主动上报
GEMAL
24
GEM工艺程序管理（PP）
PP存储空间限制测试 · PP版本管理 · PP上传/下载并发冲突测试
GEMPP
25
GEM远程命令（RCMD）
自定义命令注册 · 命令参数校验 · 命令执行结果（CMDA）返回测试
GEMRCMD
26
GEM在线/离线模式切换
本地控制（Local Control… · 操作员锁定（Operator Loc…
GEM离线模式切换
27
GEM时钟同步测试
主机主动设置设备时间 · 设备主动请求时间 · 时间同步精度验证（毫秒级）
GEM时钟同步测试
28
GEM异常场景测试
网络断开重连 · 设备断电重启 · 消息乱序到达
GEM异常场景测试
29
GEM日志与追踪
消息日志记录格式 · 事务追踪（Trace）功能 · 日志分析工具使用
GEM日志
30
综合测试案例
搭建完整SECS/GEM测试环境 · 编写自动化测试脚本（Python） · 执行全功能回归测试并生成报告
综合测试案例SECS/GEM