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SECSGEM协议栈与MES系统数据交互设计

共计 30 章节
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01
SECS/GEM概述
SECS/GEM协议在半导体制造中的… · 与MES的关系 · 协议栈整体架构
SECS/GEM协议
02
HSMS通信基础
HSMS协议定义 · TCP/IP连接建立 · 会话管理与心跳机制
HSMS通信基础
03
SECS-I通信基础
SECS-I协议定义 · RS-232串口通信 · 数据帧格式与校验
SECS-I通信基础
04
SECS-II消息结构
SECS-II消息格式 · Stream与Function概念 · Message ID与Wait Bi…
SECS-II消息结构
05
SECS-II数据类型
List · Binary · Boolean
SECS-II数据类型
06
SECS-II消息编码与解码
Item结构 · Length与Value编码 · 嵌套List的序列化与反序列化
SECS-II消息编码
07
GEM标准模型
GEM标准（E30）概述 · Equipment Model · Control Model
GEM标准模型
08
设备状态模型
Communication Stat… · Control State · Processing State
设备状态模型Communicatio…
09
GEM基本能力
Remote Command · Variable · Collection Event
GEM基本能力
10
GEM高级能力
Trace · Spooling · Terminal Service
GEM高级能力
11
MES与设备交互场景
Lot Start · Lot End · Equipment Status
MES设备交互场景
12
S1F0 - Abort Transaction
Abort消息格式 · 使用场景 · 错误处理机制
S1F0Abort
13
S1F1 - Are You There
设备在线检测 · 回复格式 · 超时处理
S1F1Are
14
S1F2 - On-Line Data
设备在线数据请求 · 数据格式 · 应用场景
S1F2On-Line
15
S1F3 - Selected Equipment Status Request
设备状态变量查询 · SVID定义 · 回复格式
S1F3Selected
16
S1F4 - Selected Equipment Status Data
状态变量数据回复 · 数据格式 · 多变量处理
S1F4Selected
17
S1F5 - Formatted Equipment Status Reques
格式化状态请求 · 格式定义 · 应用场景
S1F5Formatted
18
S1F6 - Formatted Equipment Status Data
格式化状态数据回复 · 数据解析 · 与S1F4的区别
S1F6Formatted
19
S1F7 - Process Program List Request
工艺程序列表请求 · PPID列表格式 · 分页处理
S1F7Process
20
S1F8 - Process Program List Data
工艺程序列表数据回复 · PPID与文件信息 · 应用场景
S1F8Process
21
S1F9 - Equipment Constant Request
设备常量查询 · ECID定义 · 回复格式
S1F9Equipment
22
S1F10 - Equipment Constant Data
设备常量数据回复 · 数据格式 · 多常量处理
S1F10Equipment
23
S1F11 - Status Variable Namelist Request
状态变量名称列表请求 · SVID与名称映射
S1F11Status
24
S1F12 - Status Variable Namelist Data
状态变量名称列表数据回复 · 名称与描述 · 应用场景
S1F12Status
25
S1F13 - Equipment Constant Namelist Requ
设备常量名称列表请求 · ECID与名称映射
S1F13Equipment
26
S1F14 - Equipment Constant Namelist Data
设备常量名称列表数据回复 · 名称与描述 · 应用场景
S1F14Equipment
27
S1F15 - Request OFF-LINE
请求设备离线 · 离线状态转换 · MES与设备协调
S1F15Request
28
S1F16 - Request ON-LINE
请求设备在线 · 在线状态转换 · 通信恢复流程
S1F16Request
29
S1F17 - Request Date and Time
请求设备日期时间 · 时间同步机制 · 格式定义
S1F17Request
30
S1F18 - Date and Time Data
设备日期时间数据回复 · 时间格式 · 同步应用场景
S1F18Date