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半导体工艺与制造设备
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003-半导体设备通信标准SECSGEM协议
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《SECSGEM协议栈与MES系统对接接口开发》
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本课程属于:003-半导体设备通信标准SECSGEM协议
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SECSGEM协议栈与MES系统对接接口开发
共计 30 章节
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01
SECS/GEM概述
半导体工厂自动化背景 · SECS/GEM协议在EAP与MES… · 协议栈整体架构
SECS/GEM
半导体工厂自动化…
02
HSMS通信基础
HSMS协议定义 · TCP/IP连接建立 · 会话管理与心跳机制
HSMS
通信基础
03
SECS-I与RS-232
传统串口通信原理 · SECS-I报文格式 · 与HSMS的对比
SECS-I
RS-232
04
SECS-II消息结构
Stream与Function概念 · Message ID · WBit与EBit详解
SECS-II
消息结构
05
SECS-II数据类型
ASCII · Binary · Boolean
SECS-II
数据类型
06
SECS-II列表与嵌套
List类型 · 多层嵌套结构 · Item与Data Item的解析
SECS-II
列表
07
GEM标准模型
GEM状态模型 · 设备状态 · 控制状态
GEM
标准模型
08
GEM状态机详解
DISABLED · INIT · IDLE
GEM
状态机详解
09
GEM事件通知
CEID(Collection Ev… · 事件报告 · 事件订阅与取消
GEM
事件通知
10
GEM变量体系
SVID(状态变量) · ECID(设备常量) · VID(变量ID)的定义与使用
GEM
变量体系
11
GEM报警管理
ALID(报警ID) · 报警设置 · 报警清除
GEM
报警管理
12
GEM远程命令
RCMD(远程命令) · 命令参数 · 命令执行与响应
GEM
远程命令
13
GEM配方管理
PPID(配方ID) · 配方上传 · 配方下载
GEM
配方管理
14
GEM数据收集
数据收集计划(DCP) · 数据收集触发 · 数据上报格式
GEM
数据收集
15
GEM时间管理
时间同步 · 时间戳格式 · 定时事件
GEM
时间管理
16
GEM追踪功能
Trace ID · Trace数据收集 · Trace启动与停止
GEM
追踪功能
17
GEM终端服务
终端显示 · 终端输入 · 终端消息格式
GEM
终端服务
18
GEM初始化流程
S1F13/S1F14建立通信 · S1F1/S1F2查询设备信息 · S2F17/S2F18日期时间
GEM
初始化流程
19
GEM在线/离线管理
S1F15/S1F16在线请求 · S1F17/S1F18离线请求 · Online/Offline状态切换
GEM
离线管理
20
GEM异常处理
通信超时 · 消息重发 · 错误码定义
GEM
异常处理
21
MES系统架构
MES核心功能 · MES与EAP/设备的关系 · MES接口标准
MES
系统架构
22
MES与EAP通信
MES下发工单 · EAP转发至设备 · 设备上报完成状态
MES
EAP
23
MES物料管理接口
物料批次 · 物料追踪 · 物料消耗上报
MES
物料管理接口
24
MES设备状态接口
设备状态上报 · 设备报警上报 · 设备维护请求
MES
设备状态接口
25
MES生产数据接口
生产参数下发 · 生产数据采集 · 数据校验与存储
MES
生产数据接口
26
MES质量数据接口
测量数据上报 · SPC数据 · 缺陷数据
MES
质量数据接口
27
SECS/GEM驱动开发
驱动架构设计 · 消息编解码器 · 会话管理模块
SECS/GEM
驱动开发
28
SECS/GEM模拟器开发
设备模拟器 · MES模拟器 · 测试用例设计
SECS/GEM
模拟器开发
29
SECS/GEM性能优化
消息队列 · 并发处理 · 超时控制
SECS/GEM
性能优化
30
项目实战
从零搭建SECS/GEM与MES对接… · 完整代码实现与调试
项目实战
SECS/GEM
所属VIP或分类
同VIP:SECSGEM协议E系列规范与GEM功能集成开发
同VIP:SECSGEM协议E系列规范与SML解析集成
同VIP:SECSGEM协议GEM功能与设备状态机联调