3、像素结构解剖:微透镜、彩色滤光片阵列(CFA)、光电二极管(PD)与钉扎层(PPD)、浮动扩散区(FD)

好,咱们今天来拆像素。说白了,一个图像传感器芯片上几百万甚至上千万个像素,每个都是一个微缩的感光单元。你想想看,光从镜头进来,到最终变成数字信号,中间经历了什么?

我个人习惯把像素结构分成四个核心部分:微透镜、彩色滤光片阵列(CFA)、光电二极管(PD)与钉扎层(PPD)、浮动扩散区(FD)。它们各司其职,缺一不可。

核心逻辑链: 光子 → 微透镜(聚光) → CFA(分色) → PD/PPD(光电转换+存储) → FD(电荷转电压) → 读出电路

下面这张图,是我手绘的像素剖面结构。你看一眼,心里就有谱了。

像素剖面结构图 像素剖面结构图(4T-APS) 微透镜 彩色滤光片(CFA) 金属布线层 PPD 钉扎光电二极管 TG FD P型硅衬底 说明: ① 光子经微透镜汇聚,穿过CFA滤色,到达PPD。 ② PPD完成光电转换并存储电荷,TG开启后电荷转移至FD。 ③ FD将电荷包转换为电压信号,供后续SF源跟随器读出。

3.1 微透镜:把光「挤」进像素

微透镜是像素最上面的一层。它是个凸透镜,作用就是把入射光汇聚到光电二极管的感光区域上。

你想想看,像素表面有金属布线、有晶体管,这些都会挡住光。如果没有微透镜,很多光子会打在金属线上白白浪费掉。微透镜就是负责把这些「跑偏」的光子拉回来。

实战经验: 我在做一款手机摄像头传感器时,发现边缘像素的响应比中心低了30%。后来排查发现是微透镜的偏移量没调好。微透镜需要根据主光线角(CRA)做位置补偿,否则边缘像素会严重「吃不到光」。

微透镜的材料通常是光刻胶或聚合物,折射率在1.5~1.7之间。关键参数有两个:

  • 曲率半径: 决定了焦距。太陡会聚光过强,反而导致光斑超出PD区域;太平则聚光不足。
  • 填充因子: 微透镜覆盖面积与像素总面积之比。背照式(BSI)传感器能做到接近100%。

3.2 彩色滤光片阵列(CFA):给黑白世界涂上颜色

光电二极管本身是色盲——它只响应光子数量,不区分波长。要得到彩色图像,就得在像素上覆盖滤光片,让每个像素只响应特定波段的光。

最常见的CFA就是Bayer阵列,以50%绿、25%红、25%蓝的比例排列。为什么绿色多?因为人眼对绿色最敏感。

CFA类型 排列方式 优点 缺点
Bayer RGGB 2×2 成熟、算法丰富 需要去马赛克,有伪色
X-Trans 6×6 不规则 伪色少,摩尔纹轻 算法复杂,专利限制
Quad Bayer 4×4 同色合并 高感光、支持HDR 分辨率折损
RYYB 黄+蓝+红 进光量提升40% 偏色校正难度大

避坑指南: 我曾经遇到一个项目,CFA涂布厚度不均匀,导致同一片传感器上不同区域的色彩响应不一致。后来在产线上加了膜厚在线检测,才把良率拉回来。CFA的工艺均匀性,比你想象的重要得多。

3.3 光电二极管(PD)与钉扎层(PPD):核心的感光单元

光电二极管是像素的心脏。光子入射到硅中,产生电子-空穴对,被PN结收集形成光生电荷。

但普通的PN结光电二极管有个大问题:暗电流大、噪声高。为什么?因为硅表面有大量悬挂键和界面态,这些缺陷会热激发电子,产生暗电流。

于是就有了钉扎光电二极管(PPD)。它的结构是在N型区上方再加一层P+钉扎层。这层P+把N区「钉」在衬底电位上,隔离了硅表面缺陷。

PPD的好处很明显:

  • 暗电流降低: 表面缺陷被P+层屏蔽,暗电流可以降到普通PD的1/10以下。
  • 完全耗尽: PPD在复位后可以完全耗尽,实现零残留电荷,消除图像拖影。
  • 低噪声: 配合相关双采样(CDS),读出噪声可以做到1~3 e- rms。

关键参数: PPD的满阱容量(FWC)通常在10,000~100,000 e-之间,取决于像素尺寸和掺杂浓度。我见过一个设计,为了追求高满阱,把N区做得很深,结果传输拖尾严重——电荷从PPD转移到FD的时间太长,导致图像有残影。

3.4 浮动扩散区(FD):电荷到电压的转换

PPD收集的电荷是模拟量,不能直接读出。需要先把电荷转移到浮动扩散区(FD),由FD的寄生电容完成电荷-电压转换。

FD本质上是一个反向偏置的PN结,它的电容很小,通常只有1~10 fF。转换增益的计算公式是:

CG = q / C_FD

其中:
CG = 转换增益(μV/e-)
q  = 电子电荷(1.6×10^-19 C)
C_FD = FD节点总电容(F)

举个例子,如果C_FD = 3 fF,那么CG = 1.6e-19 / 3e-15 ≈ 53 μV/e-。也就是说,每收集一个电子,FD上电压变化53微伏。

FD的设计有几个关键点:

  • 电容越小越好: 电容小,转换增益高,读出噪声低。但电容太小,满阱容量也小,容易饱和。
  • 漏电要低: FD的漏电会引入额外噪声。我见过一个芯片,FD漏电太大,导致暗场下图像有「白点」闪烁。
  • 复位噪声: FD复位时会产生KTC噪声,大小约为 sqrt(kT/C)。这个噪声可以通过CDS消除。

我的习惯: 在设计FD时,我会先根据目标满阱和转换增益反推电容值。然后通过版图仿真提取寄生电容,确保实际值与设计值偏差在10%以内。这一步做不好,后面流片回来再改就来不及了。

3.5 像素的完整工作流程

一个典型的4T-APS(4晶体管有源像素)的工作流程如下:

  1. 复位: 打开RST管,将FD复位到电源电压VDD。
  2. 采样复位电平: 关闭RST,通过SF源跟随器读出FD的复位电压V_rst。
  3. 曝光积分: 光生电荷在PPD中积累。积分时间由快门控制。
  4. 传输: 打开TG传输管,PPD中的电荷全部转移到FD。
  5. 采样信号电平: 读出FD上的信号电压V_sig。
  6. CDS计算: 输出差值 V_out = V_rst - V_sig,消除复位噪声和固定模式噪声。

核心要点: 整个像素设计的精髓,就是在满阱容量、转换增益、暗电流、传输效率这四个指标之间做权衡。没有完美的像素,只有最适合应用场景的像素。

嗯,像素结构就讲到这里。每个部分单独看都不复杂,但组合在一起,要考虑的细节就多了。下次你拿到一颗传感器芯片,可以想想:光从微透镜进来,到FD输出电压,中间经历了怎样的一段旅程。