像素架构探秘:FSI vs BSI,谁才是低光之王?
做图像传感器调试这些年,我遇到过不少客户拿着暗光下的样片来找我,问为什么噪点这么多。每次我都会先问一句:你这传感器是FSI还是BSI?
很多人觉得像素架构是芯片设计的事,跟调试关系不大。其实不然。你想想看,像素怎么收光、怎么走线,直接决定了你的图像在暗处能看见多少细节。今天我们就来把FSI和BSI这两兄弟彻底聊透。
FSI:传统但依然能打的结构
FSI,全称Front-Side Illuminated,前照式。这是最传统的像素结构。
它的光路是这样的:光线从微透镜进来,先穿过金属布线层,再到达底部的光电二极管。说白了,光要绕路。
我在一个0.18μm工艺的项目上吃过亏。当时为了追求高帧率,把金属走线加粗了,结果暗光下的灵敏度直接掉了15%。后来才意识到,FSI的金属层就像一把伞,遮住了本该进到像素里的光。
FSI的优势在哪?工艺成熟,成本低。对于大像素(比如3μm以上),FSI的收光效率其实不差。因为像素面积大,金属层占用的比例相对小,光损失没那么明显。
| 参数 | FSI表现 | 原因 |
|---|---|---|
| 量子效率(QE) | 中等(50-65%) | 金属层遮挡,光损失约20-30% |
| 串扰 | 较高 | 光线在金属层间多次反射 |
| 暗电流 | 较低 | 工艺成熟,缺陷控制好 |
| 成本 | 低 | 标准CMOS工艺,无需额外工序 |
BSI:把光路翻过来
BSI,Back-Side Illuminated,背照式。它的思路很简单:把硅片翻过来,让光从背面直接照到光电二极管。
这样一来,金属布线层就跑到光电二极管的背面去了。光线不再需要穿过金属层,直接就能被光电二极管吸收。说白了,就是把挡光的东西挪开。
BSI的代价是什么?工艺复杂,成本高。因为要把硅片减薄到几微米,然后翻转键合到支撑衬底上。每一步都是良率的挑战。
我记得2015年帮一家手机厂商调模组,BSI的良率只有70%左右,FSI能做到90%以上。但现在工艺成熟了,BSI的良率已经追到85-90%。
| 参数 | BSI表现 | 原因 |
|---|---|---|
| 量子效率(QE) | 高(75-90%) | 无金属遮挡,光直接进入PD |
| 串扰 | 较低 | 光路短,反射少 |
| 暗电流 | 略高 | 减薄工艺引入缺陷 |
| 成本 | 高 | 需要减薄、键合等特殊工艺 |
低光性能的终极对决
回到我们最关心的问题:谁才是低光之王?
答案是:BSI。但前提是像素尺寸在1.4μm以下。
为什么会这样?我画了一张图来说明两者的光路差异。
从图上可以看得很清楚:FSI的光要穿过金属层,BSI的光直接打到光电二极管上。这个差异在像素尺寸缩小时会被急剧放大。
像素尺寸与结构选择的权衡
我整理了一个决策矩阵,帮你快速判断该选哪种结构。
| 像素尺寸 | 推荐结构 | 理由 |
|---|---|---|
| > 3.0 μm | FSI | 像素面积大,金属层遮挡比例小,FSI成本优势明显 |
| 1.4 - 3.0 μm | FSI 或 BSI | 看应用场景:暗光多选BSI,成本敏感选FSI |
| < 1.4 μm | BSI | FSI的金属遮挡比例超过30%,QE损失不可接受 |
调试中的实际考量
作为调试工程师,你不需要去流片,但你需要知道怎么调。
- FSI的调试重点: 补偿金属层带来的光损失。我习惯在暗光下把模拟增益提高6-8dB,同时配合数字降噪。但要注意,增益提太高会放大暗电流噪声。
- BSI的调试重点: 控制暗电流。BSI的减薄工艺会引入更多缺陷,暗电流通常比FSI高30-50%。我建议在BSI模组上开启更激进的暗电流校正(DCN),同时把温度补偿做得更细。
总结一下
FSI和BSI没有的好坏,只有合不合适。大像素、成本敏感的场景,FSI依然能打。小像素、暗光优先的场景,BSI是唯一的选择。
嗯,说到这我想起一个项目。当时用BSI做了一款车载摄像头,客户反馈暗光下效果很好,但高温下出现了条纹噪声。查了半天,发现是BSI的减薄层在高温下产生了应力,导致像素响应不均匀。后来在调试里加了逐像素校正(PPC),才把问题压下去。
所以你看,结构选对了只是第一步,调试才是真正见功夫的地方。