像素架构探秘:FSI vs BSI,谁才是低光之王?

做图像传感器调试这些年,我遇到过不少客户拿着暗光下的样片来找我,问为什么噪点这么多。每次我都会先问一句:你这传感器是FSI还是BSI?

很多人觉得像素架构是芯片设计的事,跟调试关系不大。其实不然。你想想看,像素怎么收光、怎么走线,直接决定了你的图像在暗处能看见多少细节。今天我们就来把FSI和BSI这两兄弟彻底聊透。

FSI:传统但依然能打的结构

FSI,全称Front-Side Illuminated,前照式。这是最传统的像素结构。

它的光路是这样的:光线从微透镜进来,先穿过金属布线层,再到达底部的光电二极管。说白了,光要绕路。

FSI的核心痛点: 金属走线会遮挡和反射光线,导致实际到达光电二极管的光量打折扣。金属层越厚、布线越密,损失越大。

我在一个0.18μm工艺的项目上吃过亏。当时为了追求高帧率,把金属走线加粗了,结果暗光下的灵敏度直接掉了15%。后来才意识到,FSI的金属层就像一把伞,遮住了本该进到像素里的光。

FSI的优势在哪?工艺成熟,成本低。对于大像素(比如3μm以上),FSI的收光效率其实不差。因为像素面积大,金属层占用的比例相对小,光损失没那么明显。

参数 FSI表现 原因
量子效率(QE) 中等(50-65%) 金属层遮挡,光损失约20-30%
串扰 较高 光线在金属层间多次反射
暗电流 较低 工艺成熟,缺陷控制好
成本 低 标准CMOS工艺,无需额外工序

BSI:把光路翻过来

BSI,Back-Side Illuminated,背照式。它的思路很简单:把硅片翻过来,让光从背面直接照到光电二极管。

这样一来,金属布线层就跑到光电二极管的背面去了。光线不再需要穿过金属层,直接就能被光电二极管吸收。说白了,就是把挡光的东西挪开。

我的经验: BSI的量子效率通常能做到75-90%,比FSI高出15-25个百分点。这个差距在暗光下非常明显。我调过一款BSI的安防摄像头,0.1 lux下还能分辨出人脸轮廓,FSI在这个照度下基本就是一片噪点。

BSI的代价是什么?工艺复杂,成本高。因为要把硅片减薄到几微米,然后翻转键合到支撑衬底上。每一步都是良率的挑战。

我记得2015年帮一家手机厂商调模组,BSI的良率只有70%左右,FSI能做到90%以上。但现在工艺成熟了,BSI的良率已经追到85-90%。

参数 BSI表现 原因
量子效率(QE) 高(75-90%) 无金属遮挡,光直接进入PD
串扰 较低 光路短,反射少
暗电流 略高 减薄工艺引入缺陷
成本 高 需要减薄、键合等特殊工艺

低光性能的终极对决

回到我们最关心的问题:谁才是低光之王?

答案是:BSI。但前提是像素尺寸在1.4μm以下。

为什么会这样?我画了一张图来说明两者的光路差异。

FSI vs BSI 光路对比 FSI 前照式 微透镜 彩色滤光片 金属布线层 (遮挡光线) 光电二极管 (接收剩余光线) 硅衬底 光被遮挡 BSI 背照式 微透镜 彩色滤光片 光电二极管 (直接接收光线) 金属布线层 (在背面,不挡光) 硅衬底 BSI 光路更短、无遮挡,量子效率比 FSI 高 15-25%

从图上可以看得很清楚:FSI的光要穿过金属层,BSI的光直接打到光电二极管上。这个差异在像素尺寸缩小时会被急剧放大。

像素尺寸与结构选择的权衡

我整理了一个决策矩阵,帮你快速判断该选哪种结构。

像素尺寸 推荐结构 理由
> 3.0 μm FSI 像素面积大,金属层遮挡比例小,FSI成本优势明显
1.4 - 3.0 μm FSI 或 BSI 看应用场景:暗光多选BSI,成本敏感选FSI
< 1.4 μm BSI FSI的金属遮挡比例超过30%,QE损失不可接受
避坑指南: 我曾经在一个1.12μm的FSI项目上踩过坑。客户要求暗光性能,我硬着头皮用FSI做,结果QE只有38%,暗光下全是噪点。后来换成BSI,QE直接跳到72%。所以小像素千万别省BSI的成本,省下来的钱不够补性能的窟窿。

调试中的实际考量

作为调试工程师,你不需要去流片,但你需要知道怎么调。

  • FSI的调试重点: 补偿金属层带来的光损失。我习惯在暗光下把模拟增益提高6-8dB,同时配合数字降噪。但要注意,增益提太高会放大暗电流噪声。
  • BSI的调试重点: 控制暗电流。BSI的减薄工艺会引入更多缺陷,暗电流通常比FSI高30-50%。我建议在BSI模组上开启更激进的暗电流校正(DCN),同时把温度补偿做得更细。
一个小技巧: 如果你拿到一款BSI传感器,先测一下暗电流随温度的变化曲线。BSI的暗电流对温度更敏感,温度每升高10°C,暗电流可能翻倍。这个规律在FSI上没那么明显。

总结一下

FSI和BSI没有的好坏,只有合不合适。大像素、成本敏感的场景,FSI依然能打。小像素、暗光优先的场景,BSI是唯一的选择。

嗯,说到这我想起一个项目。当时用BSI做了一款车载摄像头,客户反馈暗光下效果很好,但高温下出现了条纹噪声。查了半天,发现是BSI的减薄层在高温下产生了应力,导致像素响应不均匀。后来在调试里加了逐像素校正(PPC),才把问题压下去。

所以你看,结构选对了只是第一步,调试才是真正见功夫的地方。