VIP20

本课程属于：071-硅光波分复用阵列波导光栅设计 高速接口与互连 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。

查看所属VIP全部课程 →

← 返回所属目录咨询 / 购买

阵列波导光栅AWG版图绘制与工艺验证

📚 共计 30 章节

AWG基础原理回顾

阵列波导光栅的工作原理、角色散方程、自由光谱范围(FSR)与通道间隔的关系。

版图设计流程总览

从Spec到GDSII的完整流程、关键设计节点与Checklist。

流程Checklist

EDA工具选择与配置

常用工具对比（L-Edit, KLayout, Tanner L-Edit, IPKISS）、PDK环境搭建。

波导层结构设计

芯层与包层折射率选择、波导宽度与厚度对单模条件的影响。

输入/输出波导设计

锥形波导(Taper)设计、耦合效率优化、最小弯曲半径。

阵列波导区域设计

波导数目的确定、相邻波导长度差(ΔL)计算、弯曲波导布局。

自由传播区(FPZ/Rowland Circle)设计

罗兰圆几何参数、输入/输出端口的角位置计算。

光栅臂弯曲设计

S-Bend与Euler Bend的选择、弯曲损耗控制、版图面积优化。

相位误差补偿

版图绘制中的光程差控制、热光效应补偿、版图对称性设计。

版图层次(Layer)规划

光刻层定义、掩模层分配、布尔运算与逻辑层设置。

波导转角与连接点处理

转角处平滑处理、连接点最小化、避免急转弯。

版图DRC规则设置

最小线宽、最小间距、波导交叉规则、密度检查。

波导交叉与耦合抑制

交叉角设计、交叉波导损耗模型、避免串扰的布局技巧。

版图参数化设计

使用Python脚本生成参数化单元(PCell)、自动化布局。

版图层次化设计

单元(Cell)引用、阵列排布、顶层集成。

版图验证与LVS

版图与原理图一致性检查、寄生参数提取。

光栅臂长度微调技巧

版图绘制中的长度微调、相位匹配实现方法。

版图导出与GDSII优化

GDSII文件压缩、数据量控制、Stream Out设置。

版图绘制中的常见错误

波导未连接、层次错误、DRC违例案例解析。

多通道AWG版图设计

32通道、48通道、64通道版图布局策略。

多通道布局

偏振相关损耗(PDL)优化

版图层面的偏振管理、双折射补偿。

温度不敏感AWG版图设计

版图布局中的温度补偿结构。

版图面积优化技巧

紧凑布局、波导折叠、空间复用。

版图绘制中的热管理

热源分布、热隔离槽设计。

热管理隔离

版图与工艺对接

光刻对准标记、划片槽、工艺容差设计。

版图绘制自动化脚本

Python + gdspy库实战、批量生成与修改。

版图后仿真与迭代

从版图提取参数、回仿验证、迭代优化流程。

后仿真迭代

高速/高带宽AWG版图设计

宽谱设计、色散管理、版图特殊处理。

高带宽色散

版图设计评审要点

同行评审Checklist、常见问题汇总。

评审Checklist

实战案例：4通道AWG版图从零绘制到验证全流程

4通道AWG版图从零绘制到验证全流程。

实战全流程