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KLA电子束缺陷检测与先进制程工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程全景
目标=KLA电子束缺陷检测在先进制程… · 学习目标 · 核心术语与整体框架
课程导入工程全景
02
电子束检测物理基础
目标=电子与固体相互作用 · 二次电子与背散射电子信号产生机制 · 成像对比度来源
电子束检测物理基…目标=电子
03
KLA电子束检测系统架构
目标=电子枪 · 电子光学镜筒 · 探测器
KLA电子束检测系统架…
04
电子光学与分辨率
目标=像差 · 束斑尺寸 · 景深
电子光学分辨率
05
扫描策略与图像采集
目标=扫描方式 · 像素驻留时间 · 帧平均
扫描策略图像采集
06
缺陷信号与对比度机制
目标=电压对比 · 形貌对比 · 材料对比
缺陷信号对比度机制
07
先进制程缺陷类型与挑战
目标=FinFET · GAA · 3D NAND
先进制程缺陷类型挑战
08
KLA电子束检测菜单设置
目标=配方创建 · 光学条件选择 · 检测区域定义与灵敏度参数配置
KLA电子束检测菜单设…
09
缺陷检测算法与图像处理
目标=图像滤波 · 对齐 · 差分检测
缺陷检测算法图像处理
10
缺陷复检与分类
目标=电子束复检流程 · 缺陷形貌分析 · 能谱辅助成分识别与缺陷归类方法
缺陷复检分类
11
电压对比检测实战
目标=针对接触孔 · 通孔 · 栅极短路/开路的电压对比成像条件与缺…
电压对比检测实战目标=针对接触孔
12
电子束检测在光刻后检查中的应用
目标=光刻胶图形缺陷 · 显影缺陷 · 线边缘粗糙度检测任务
电子束检测光刻后检查
13
电子束检测在刻蚀后检查中的应用
目标=刻蚀残留 · 过刻蚀 · 微掩膜
电子束检测刻蚀后检查
14
电子束检测在薄膜沉积与CMP后检查中的应用
目标=颗粒 · 划伤 · 空洞
CMP电子束检测
15
3D结构电子束检测
目标=高深宽比结构 · GAA沟道 · 3D NAND阶梯区的成像与缺陷捕获…
3D结构电子束检…目标=高深宽比结…
16
EUV制程缺陷检测
目标=EUV随机缺陷 · 掩模缺陷 · 抗蚀剂缺陷的电子束检测方案与挑战
EUV制程缺陷检测
17
KLA电子束检测设备操作与维护
目标=日常开机 · 校准 · 样品装载
KLA电子束检测设备操…
18
检测配方优化与灵敏度提升
目标=通过参数扫描 · DOE方法优化检测条件降低漏检与误检
检测配方优化灵敏度提升
19
缺陷数据管理与分析
目标=缺陷图 · 缺陷帕累托 · 良率关联分析
缺陷数据管理分析
20
与其它检测手段的协同
目标=电子束检测与光学检测 · AFM · SEM
其它检测手段的协…目标=电子束检测
21
电子束检测在良率提升中的实战
目标=从缺陷发现到根因分析 · 工艺修正与验证的闭环案例
电子束检测良率提升
22
先进制程整合中的电子束检测
目标=在FinFET/GAA集成流程…
先进制程整合电子束检测
23
电子束检测的自动化与智能化
目标=自动缺陷分类 · 机器学习辅助缺陷识别 · 智能复检与预测性维护
电子束检测的自动…智能化
24
检测吞吐量与成本优化
目标=多束电子束检测 · 高速扫描策略 · 抽样检测与产能规划
检测吞吐量成本优化
25
电子束检测的工艺窗口与设计规则
目标=检测灵敏度与工艺窗口的关系 · 设计规则对检测的影响
电子束检测的工艺…设计规则
26
电子束检测中的充电与损伤控制
目标=样品充电管理 · 电子束致损伤机制与低损伤检测条件
电子束检测充电
27
KLA电子束检测系统故障排查
目标=常见报警 · 图像异常 · 真空故障
KLA电子束检测系统故…
28
先进封装与异构集成中的电子束检测
目标=TSV · 微凸点 · 混合键合界面的缺陷检测应用
先进封装异构集成
29
电子束检测技术前沿
目标=多束SEM · 高分辨率低电压检测 · 人工智能实时检测的发展趋势
电子束检测技术前…SEM
30
课程综合实战项目
目标=针对一个先进制程缺陷案例 · 完成检测配方设计 · 数据采集
课程综合实战项目目标=针对一个先…