VIP21
本课程属于：020-精密装调、校准与整机验收工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 21 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

硅片台真空运动控制与EUV光刻机项目部署验收实践

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
EUV光刻机概述
EUV光源原理 · 光刻机整体架构 · 硅片台系统在光刻机中的核心地位
EUV光刻机概述
02
真空技术基础
真空度定义与单位 · 真空区域划分（粗真空 · 高真空
真空技术基础真空度定义
03
真空测量与检漏
真空计类型（皮拉尼 · 冷阴极 · 热阴极）
真空测量检漏
04
硅片台真空腔体设计
腔体材料选择（不锈钢 · 铝合金） · 密封技术（金属密封
硅片台真空腔体设…腔体材料选择
05
精密运动控制基础
运动控制三要素（控制器 · 驱动器 · 执行器）
精密运动控制基础运动控制三要素
06
硅片台运动系统架构
粗动台与微动台设计 · 长行程与短行程运动解耦 · 六自由度并联机构（Stewart平台…
硅片台运动系统架…粗动台
07
真空环境下的运动挑战
真空中散热问题 · 材料放气与出气 · 润滑与轴承选择（陶瓷轴承
真空环境下的运动…真空
08
控制系统硬件选型
实时控制器（如ACS · Aerotech · Beckhoff）
控制系统硬件选型ACS
09
控制算法与软件
PID控制 · 前馈控制 · 陷波滤波器
控制算法软件
10
真空运动控制软件架构
上位机软件（C#/Python） · 实时核与通信层 · 状态机设计（初始化
真空运动控制软件…C#/Python
11
硅片台标定与校准
激光干涉仪标定 · 光栅尺校准 · 阿贝误差补偿
硅片台标定校准
12
真空环境下的传感器集成
真空兼容传感器（电容式 · 光学式） · 传感器信号调理
真空环境下的传感…真空兼容传感器
13
EUV光源与真空接口
光源腔与硅片台腔的真空隔离 · 光束传输管道 · 动态气体锁（DGL）原理
EUV光源
14
晶圆传输与对准系统
真空机械手（EFEM） · 预对准台 · 晶圆边缘检测
晶圆传输对准系统
15
真空运动控制的安全联锁
门互锁 · 真空失效保护 · 急停逻辑
真空运动控制的安…门互锁
16
项目部署流程
需求分析 · 系统设计评审 · BOM清单与采购
项目部署流程需求分析
17
工厂验收测试（FAT）
测试计划编写 · 功能测试 · 性能测试（速度
FAT工厂验收测试
18
现场验收测试（SAT）
现场安装条件确认 · 系统恢复与调试 · 与上位机联调
SAT现场验收测试
19
真空系统调试
抽真空流程 · 检漏与修补 · 真空度稳定性测试
真空系统调试抽真空流程
20
运动系统调试
电机整定（电流环 · 速度环 · 位置环）
运动系统调试电机整定
21
精度测试与评估
定位精度 · 重复定位精度 · 跟随误差
精度测试评估
22
吞吐量测试
晶圆交换时间 · 步进与扫描时间 · 系统节拍分析
吞吐量测试晶圆交换时间
23
可靠性测试
MTBF（平均无故障时间）测试 · 加速寿命测试 · 关键部件寿命评估
可靠性测试MTBF
24
EMC与电气安全测试
电磁兼容性测试 · 接地与屏蔽 · CE/UL认证要求
EMC电气安全测试
25
文档与交付物管理
技术文档清单 · 操作手册 · 维护手册
文档交付物管理
26
常见故障与排除
真空泄漏 · 电机抖动 · 编码器丢失
常见故障排除
27
维护与保养计划
日常点检表 · 定期更换部件（密封圈 · 过滤器
维护保养计划
28
EUV光刻机整机集成
光源 · 照明 · 投影物镜
EUV光刻机整机集成
29
未来技术趋势
高数值孔径（High-NA）EUV · 高速高加速运动平台 · 智能预测性维护
未来技术趋势High-NA
30
课程总结与项目复盘
关键知识点回顾 · 项目经验教训 · 行业认证与职业发展建议
课程总结项目复盘