1. HSMS 协议概述

1.1 HSMS 在 SECS/GEM 体系中的位置

SECS/GEM 协议族是半导体制造设备与工厂主机（Host）之间通信的国际标准（SEMI E4/E5/E30/E37）。HSMS（High-Speed SECS Message Services，SEMI E37）位于该体系中的传输层，负责在 TCP/IP 网络上可靠地传输 SECS-II 消息。

1.2 HSMS vs RS-232 对比

HSMS 与 RS-232 是 SECS/GEM 体系中两种截然不同的物理/传输层实现。理解它们的差异，有助于在连接建立失败时快速定位问题根源。

1.3 HSMS 基本通信模型

HSMS 采用客户端-服务器（Client-Server）模型，但角色分配与常规 TCP 应用有所不同：

• 主动方（Active）：发起 TCP 连接请求的一方，通常是设备（Equipment）或主机（Host）。
• 被动方（Passive）：监听 TCP 端口，等待连接的一方。
• 连接建立后：双方对等通信，不再区分主动/被动。

HSMS 连接的生命周期包含以下阶段：

1. TCP 连接建立：三次握手，建立底层传输通道。
2. HSMS 控制消息交换：发送 Select.req / Select.rsp 建立 HSMS 会话。
3. 数据通信：传输 SECS-II 消息（Data Message）。
4. 连接断开：发送 Deselect.req / Separate.req 或 TCP 断开。

1.4 HSMS 消息格式

HSMS 在 TCP 流上传输的消息具有固定格式的头部（Header）和可选的正文（Data）：

HSMS 消息格式（SEMI E37）：
+--------+--------+--------+--------+
| 长度 (Length)    |  S (1) |  F (1) |
+--------+--------+--------+--------+
|  PType  |  SType  |  Session ID  |
+--------+--------+--------+--------+
| 系统字节 (System Bytes)            |
+--------+--------+--------+--------+
| 数据正文 (Data Block，可选)        |
+--------+--------+--------+--------+

字段说明：
- Length: 4 字节，表示后续所有字节的总长度（包括头部自身 10 字节 + 数据正文）
- S/F: 各 1 字节，Stream 和 Function 编号（仅 Data Message 有效）
- PType: 1 字节，协议类型（0x00 表示 HSMS）
- SType: 1 字节，会话类型（0x00 表示 Data Message，非 0 表示控制消息）
- Session ID: 2 字节，设备标识
- System Bytes: 4 字节，消息唯一标识，用于请求-响应匹配

1.5 HSMS 控制消息类型

HSMS 定义了 6 种控制消息（SType ≠ 0），用于连接管理和会话控制：