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半导体设备通信标准SECSGEM协议详解

共计 30 章节
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01
SECS/GEM概述
半导体制造自动化背景 · SECS/GEM协议体系 · HSMS与SECS-I对比
SECS/GEM半导体制造自动化…
02
SECS-I物理层
RS-232C电气特性 · 报文格式 · 块传输协议
SECS-I物理层
03
HSMS物理层
TCP/IP基础 · 连接建立与断开 · 链路测试
HSMS物理层
04
SECS-II消息层
消息格式 · Stream与Function概念 · Item数据类型
SECS-II消息层
05
SECS-II常用消息
S1F1/S1F2建立通信 · S1F3/S1F4设备属性 · S2F41/S2F42远程命令
SECS-II常用消息
06
SECS-II数据项
L · B · A
SECS-II数据项
07
SECS-II消息事务
事务ID · 多块消息 · Reply Expected机制
SECS-II消息事务
08
GEM模型概述
GEM标准模型 · 设备状态模型 · 控制状态模型
GEM模型概述
09
GEM状态模型
Equipment Constant · Status Variable · Data Variable
GEM状态模型
10
GEM设备终端服务
终端显示 · 终端消息 · 终端输入输出
GEM设备终端服务
11
GEM报警管理
报警设置 · 报警清除 · 报警列表
GEM报警管理
12
GEM事件通知
Collection Event定义 · 事件上报 · 事件链路
GEM事件通知
13
GEM配方管理
配方上传 · 配方下载 · 配方验证
GEM配方管理
14
GEM远程控制
远程命令定义 · 远程命令执行 · 远程命令状态
GEM远程控制
15
GEM设备常量
Equipment Constant… · 读取 · 写入
GEM设备常量
16
GEM状态变量
Status Variable定义 · 读取 · 订阅
GEM状态变量
17
GEM数据变量
Data Variable定义 · 读取 · 写入
GEM数据变量
18
GEM时钟同步
时间设置 · 时间查询 · 时间同步机制
GEM时钟同步
19
GEM追溯追踪
Trace定义 · Trace启动 · Trace数据上报
GEM追溯追踪
20
GEM物料管理
物料ID · 物料状态 · 物料位置
GEM物料管理
21
GEM操作员接口
操作员消息 · 操作员输入 · 操作员确认
GEM操作员接口
22
SECS/GEM通信建立流程
网络连接 · 建立通信 · 设备识别
SECS/GEM通信建立流程
23
SECS/GEM异常处理
通信中断 · 超时处理 · 重连机制
SECS/GEM异常处理
24
SECS/GEM日志与诊断
消息日志 · 错误日志 · 性能统计
SECS/GEM日志
25
SECS/GEM安全机制
访问控制 · 消息加密 · 身份认证
SECS/GEM安全机制
26
SECS/GEM性能优化
消息压缩 · 批量传输 · 优先级队列
SECS/GEM性能优化
27
SECS/GEM测试与验证
单元测试 · 集成测试 · 一致性测试
SECS/GEM测试
28
SECS/GEM开发实践
开发环境搭建 · SDK选择 · 代码框架设计
SECS/GEM开发实践
29
SECS/GEM案例分析
光刻机应用 · 刻蚀机应用 · 薄膜沉积应用
SECS/GEM案例分析
30
SECS/GEM未来趋势
SEMI标准演进 · 工业4.0集成 · 边缘计算
SECS/GEM未来趋势