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半导体EAP事件、过程数据与设备追溯系统工程

共计 30 章节

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课程导入与全景认知

目标=半导体制造中EAP的定位 · 事件驱动架构 · 过程数据流与设备追溯系统的整体关系

课程导入全景认知

半导体设备与EAP通信基础

目标=SECS/GEM · HSMS · 设备状态模型

EAP半导体设备

EAP事件模型设计

目标=事件分类 · 事件触发条件 · 事件生命周期

EAP事件模型设计

过程数据采集与建模

目标=过程数据来源 · 采样策略 · 数据质量

过程数据采集建模

设备追溯系统需求分析

目标=追溯粒度 · 追溯链路 · 法规与客户要求

设备追溯系统需求…目标=追溯粒度

EAP与MES/EAP与RMS/APC的接口协同

目标=工单下发 · 配方管理 · 设备控制

设备事件采集实战

目标=基于SECS/GEM事件报告配… · CEID/DVVAL/REPORT定… · 事件订阅与解析的工程任务

设备事件采集实战SECS/GEM

过程数据采集实战

目标=从设备PLC/传感器/EAP日… · 压力 · 流量

过程数据采集实战PLC

事件与过程数据的存储设计

目标=时序数据库 · 关系数据库 · 数据湖选型

事件过程数据的存储设…

设备追溯数据模型

目标=设备层级 · 腔体层级 · 晶圆层级追溯模型

设备追溯数据模型目标=设备层级

EAP事件处理引擎

目标=规则引擎 · 流处理 · 复杂事件处理（CEP）在EAP事件实…

EAP事件处理引擎

实时事件告警与联动

目标=基于EAP事件的设备异常告警 · 自动Hold · 停线

实时事件告警联动

过程数据质量与异常检测

目标=缺失值 · 漂移 · 噪声

过程数据质量异常检测

设备追溯系统工程实现

目标=追溯系统架构 · 数据采集层 · 服务层

设备追溯系统工程…目标=追溯系统架…

EAP事件与追溯的集成案例

目标=从设备报警到批次追溯 · 从过程数据异常到晶圆影响范围分析的端…

半导体前道设备追溯实战

目标=光刻 · 刻蚀 · 薄膜

半导体前道设备追…目标=光刻

半导体后道设备追溯实战

目标=划片 · 装片 · 键合

半导体后道设备追…目标=划片

EAP事件日志与审计追踪

目标=日志规范 · 审计要求 · 事件回放

EAP事件日志

设备追溯与良率分析

目标=将EAP事件 · 过程数据与良率数据关联 · 进行缺陷溯源与工艺窗口分析

设备追溯良率分析

EAP事件与SPC/FDC集成

目标=过程数据接入SPC控制图 · FDC故障检测与分类 · 事件驱动的反馈控制

追溯系统数据安全与权限

目标=数据完整性 · 访问控制 · 防篡改

追溯系统数据安全权限

EAP事件与设备追溯的标准化

目标=SEMI标准 · E10 · E58

系统性能与可扩展性

目标=高并发事件采集 · 海量过程数据存储 · 追溯查询加速

系统性能可扩展性

EAP事件与追溯系统测试

目标=事件模拟 · 数据注入 · 追溯验证

设备追溯系统运维

目标=监控 · 备份 · 恢复

设备追溯系统运维目标=监控

EAP事件与过程数据在数字孪生中的应用

目标=基于事件与过程数据构建设备数字…

跨厂区/跨平台追溯

目标=多工厂EAP事件汇聚 · 统一追溯标识 · 数据同步与全局追溯查询

跨厂区跨平台追溯

AI/ML在EAP事件与追溯中的应用

目标=事件预测 · 异常根因分析 · 追溯图谱挖掘与智能推荐

综合项目实战

目标=设计并实现一个半导体EAP事件 · 过程数据与设备追溯系统原型 · 覆盖采集

综合项目实战EAP

课程总结与工程落地路线

目标=关键知识点回顾 · 系统建设路线图 · 团队角色

课程总结工程落地路线