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Calibre版图制造规则问题诊断

共计 30 章节
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01
课程导入与诊断思维建立
目标=明确Calibre版图制造规则… · 核心对象 · 常见问题分类
课程导入诊断思维建立
02
Calibre DRC运行环境与结果解读
目标=掌握Calibre DRC运行… · 规则文件 · 日志文件
CalibreDRC
03
制造规则问题诊断的数据准备
目标=理解版图数据 · 层映射 · 规则文件
制造规则问题诊断…目标=理解版图数…
04
DRC错误分类与优先级判断
目标=学习按错误类型 · 严重程度 · 影响范围对DRC结果进行归类
DRC错误分类
05
规则文件语法与逻辑错误诊断
目标=识别Calibre SVRF/… · 层定义错误 · 逻辑运算错误和条件判断错误
规则文件语法逻辑错误诊断
06
层操作与布尔运算问题诊断
目标=针对AND · OR · NOT
层操作布尔运算问题诊断
07
间距规则违例诊断
目标=深入分析间距检查中的最小间距 · 边到边 · 角到角
间距规则违例诊断目标=深入分析间…
08
宽度与面积规则违例诊断
目标=诊断最小宽度 · 最小面积 · 最小孔密度等规则违例
宽度面积规则违例诊断
09
包围与延伸规则违例诊断
目标=针对ENCLOSURE · EXTENSION · OVERLAP等规则
包围延伸规则违例诊断
10
密度与均匀性规则问题诊断
目标=学习金属密度 · Poly密度 · CMP密度等检查中的窗口划分
密度均匀性规则问题诊…
11
天线规则违例诊断
目标=理解天线比计算 · 金属层与栅氧连接关系 · 诊断天线规则违例中的累积电荷
天线规则违例诊断目标=理解天线比…
12
Latch-up与阱规则问题诊断
目标=针对阱区 · 衬底接触 · 保护环等规则
Latch-up阱规则问题诊断
13
ERC与连接性规则问题诊断
目标=诊断电气规则检查中的浮空节点 · 短路 · 开路
ERC连接性规则问题诊…
14
DFM规则问题诊断
目标=针对冗余金属 · 通孔优化 · 线端扩展等DFM规则
DFM规则问题诊断
15
密度梯度与CMP问题诊断
目标=学习密度梯度规则检查方法 · 诊断因金属密度不均 · dummy填充不足导致的CMP相关制…
CMP密度梯度
16
光刻与分辨率规则问题诊断
目标=理解光刻友好规则 · 最小线宽/间距与分辨率增强技术的关系 · 诊断光刻热点和规则冲突
光刻分辨率规则问题诊…
17
多重曝光与 coloring 规则诊断
目标=针对双重/多重曝光中的 col… · 奇数周期 · 颜色分配错误
coloring多重曝光
18
FinFET与先进工艺规则诊断
目标=分析FinFET工艺中鳍 · 栅极 · 接触孔等特殊制造规则
FinFET先进工艺规则诊断
19
3D IC与TSV规则问题诊断
目标=针对TSV · 微凸块 · 堆叠层间规则
ICTSV
20
假错与误报诊断
目标=系统排查因规则文件 · 层映射 · 数据精度
假错误报诊断
21
漏报与规则覆盖诊断
目标=分析规则未覆盖 · 条件未触发 · 检查范围不完整导致的漏报
漏报规则覆盖诊断
22
规则冲突与优先级诊断
目标=诊断多条规则之间相互矛盾 · 优先级不清 · 条件重叠的问题
规则冲突优先级诊断
23
版图修复与迭代验证
目标=根据诊断结果修改版图或规则 · 运行增量DRC验证修复效果 · 形成诊断-修复-验证的闭环流程
版图修复迭代验证
24
Calibre RVE与图形化诊断
目标=使用Calibre RVE · Layout Viewer等工具进行… · 交叉探测
CalibreRVE
25
脚本化与自动化诊断
目标=利用Tcl · Shell · Python等脚本调用Calibre…
脚本化自动化诊断
26
典型DRC违例案例诊断实战一
目标=以金属间距违例为例 · 完整演示从结果读取 · 版图定位
DRC典型
27
典型DRC违例案例诊断实战二
目标=以栅极包围接触孔违例为例 · 分析规则定义 · 版图结构
DRC典型
28
典型ERC与天线违例案例诊断实战
目标=结合天线比和连接性错误 · 演示跨层追溯 · 电路与版图对照的诊断方法
ERC典型
29
先进工艺规则诊断综合实战
目标=面向FinFET或多重曝光工艺 · 综合诊断多种规则违例 · 制定优先级和修复计划
先进工艺规则诊断…FinFET
30
诊断报告与知识沉淀
目标=总结Calibre版图制造规则… · 根因分析方法 · 经验库建设和团队协作流程
诊断报告知识沉淀