3. 低照度成像物理基础

低照度成像的难点,不在于“光少”本身,而在于光少之后,信号与各类噪声之间的比例关系急剧恶化。要理解onsemi图像传感器在暗光下的表现,必须先把五个物理量放在同一条信号链上看:光子散粒噪声、读出噪声、暗电流、量子效率与信噪比。它们不是并列的五个名词,而是共同决定“一个像素最终能输出多干净的数字值”的因果链。

一、光子散粒噪声:低照度的物理下限

光以离散光子形式到达像素。即使光源完全稳定,单位时间内到达某像素的光子数也服从泊松分布。若某像素在曝光时间内平均收集到 N 个光电子,则其固有涨落约为 √N,这就是光子散粒噪声。它带来的直接结论是:散粒噪声决定的信噪比上限为 N/√N = √N。也就是说,想获得 20 dB 的散粒噪声受限信噪比,至少需要约 100 个光电子;想获得 40 dB,则需要约 10000 个光电子。

在onsemi的CMOS传感器中,散粒噪声通常用光电子数或等效输入电荷表示。例如某像素满阱容量为 8000 e⁻,在低照度下只收集到 25 e⁻,则散粒噪声为 5 e⁻,仅散粒噪声一项就把信噪比限制在约 14 dB。此时即使读出电路完全理想,图像仍然会呈现明显的颗粒感。因此低照度优化的第一原则是:尽可能提高光子收集效率,让 N 变大,而不是先急着降读出噪声。

二、量子效率:把光子变成电子的比例

量子效率(QE)定义为入射光子转化为可收集光生电子的概率。它决定了同样光照下能拿到多少 N。onsemi的背照式(BSI)传感器通过将光电二极管受光面靠近入射光一侧,减少金属布线和晶体管遮挡,使QE在可见光到近红外波段明显提升。以典型产品为例,BSI结构在550 nm附近QE可达到70%~80%,而前照式(FSI)结构在同一波长可能只有50%~60%。

QE不是单一数字,而是随波长变化的曲线。低照度场景若使用850 nm或940 nm近红外光源,必须关注传感器在该波长的QE,而不是只看峰值QE。例如某onsemi BSI传感器在940 nm的QE约为30%,意味着1000个入射光子只能产生约300个光电子;若换成550 nm绿光,同样1000个光子可产生约750个光电子。两者散粒噪声受限信噪比相差约4 dB。因此,光源波长与传感器QE曲线的匹配,是低照度系统设计中最容易被忽视却影响巨大的环节。

三、读出噪声:暗光下的电子底噪

读出噪声是像素信号被读出、放大并数字化过程中引入的噪声,通常以输入参考电子数(e⁻ RMS)表示。它不随光信号增大而增大,因此在强光下可忽略,但在极暗光下会成为主要限制。onsemi传感器通过相关双采样(CDS)、列级低噪声放大器和片上降噪技术,把读出噪声压到较低水平。普通滚动快门传感器读出噪声可能在2~5 e⁻,而低噪声型号可做到1 e⁻以下。

读出噪声与散粒噪声的关系可以用总噪声公式表示:总噪声 = √(散粒噪声² + 读出噪声² + 暗电流噪声²)。当N=25 e⁻、读出噪声为3 e⁻时,总噪声为√(25+9)=√34≈5.8 e⁻,信噪比约为12.7 dB;若读出噪声降到1 e⁻,总噪声为√26≈5.1 e⁻,信噪比约13.9 dB。可见在光子数很少时,降低读出噪声仍有约1.2 dB的收益,但收益远小于把QE从50%提升到80%带来的效果。

四、暗电流:时间与温度的敌人

暗电流是即使没有入射光,硅晶格热激发也会产生的电子。它随温度升高呈指数增长,通常温度每升高约6~8 ℃,暗电流翻倍。暗电流本身是直流偏置,但它的涨落形成暗电流散粒噪声,且长时间曝光会积累暗电流,压缩可用动态范围。onsemi传感器在暗电流控制上采用深耗尽光电二极管、表面钝化和低缺陷工艺,使常温下暗电流可低至几个e⁻/s每像素量级。

在低照度长曝光场景中,暗电流的影响不可忽略。例如曝光1 s、暗电流为5 e⁻/s,则暗电流信号为5 e⁻,其散粒噪声为√5≈2.2 e⁻。若曝光延长到10 s,暗电流信号达50 e⁻,散粒噪声约7.1 e⁻,已经超过许多传感器的读出噪声。因此,低照度应用若不能缩短曝光,就必须考虑制冷或暗电流补偿。onsemi部分工业传感器支持暗电流校正和温度补偿寄存器,可在一定温度范围内减小暗电流漂移。

五、信噪比:五个量的综合结果

信噪比(SNR)是最终判据。在低照度下,SNR由光子数、QE、读出噪声和暗电流共同决定。用光电子数表示:SNR = N / √(N + σ_read² + N_dark),其中N为光生电子数,σ_read为读出噪声,N_dark为暗电流电子数。这个公式说明:当N很小时,分母中读出噪声和暗电流项占比大,SNR随N增长缓慢;当N远大于读出噪声平方和暗电流时,SNR趋近√N,进入散粒噪声受限区。

onsemi传感器在低照度下的典型表现可以这样理解:BSI工艺提高QE,使同样光照下N更大;低噪声读出电路压低σ_read,使暗光下分母更小;低暗电流工艺减小N_dark,使长曝光不迅速恶化。三者共同作用,把低照度SNR曲线整体向左推移,即在更少光子数下达到可用信噪比。

低照度成像信号链与噪声来源(onsemi CMOS像素级) 入射光子 波长 λ / 光子数 量子效率 QE BSI 550nm ≈ 75% 光生电子 N N = 光子数 × QE 读出与数字化 CDS + 列放大器 + ADC 光子散粒噪声 σ_shot = √N 暗电流噪声 σ_dark = √N_dark 读出噪声 σ_read ≈ 1~5 e⁻ RMS 总噪声 σ_total = √(N + σ_read² + N_dark) 信噪比 SNR = N / σ_total 低照度优化方向与onsemi对应手段 ① 提高QE:BSI结构、减薄、抗反射层 → 增大N ② 降低读出噪声:CDS、列级放大、低噪声工艺 → 减小σ_read ③ 抑制暗电流:深耗尽、钝化、温度补偿 → 减小N_dark

六、把五个量放在一起看:一个低照度示例

假设某onsemi BSI传感器像素在550 nm、曝光10 ms下收集到40个光电子,读出噪声为2 e⁻,暗电流为1 e⁻/s,则暗电流电子数约0.01 e⁻,可忽略。总噪声为√(40+4)≈6.6 e⁻,SNR≈15.5 dB。若把QE从60%提升到80%,同样光照下N变为约53 e⁻,总噪声√(53+4)≈7.5 e⁻,SNR≈17.0 dB,提升约1.5 dB。若再把读出噪声从2 e⁻降到1 e⁻,总噪声√(53+1)≈7.3 e⁻,SNR≈17.2 dB,仅再提升约0.2 dB。这个示例说明:在光子数不足时,QE提升的收益远大于读出噪声优化;但当N已经较大时,读出噪声的边际收益迅速下降。

低照度优化的优先级应遵循:先提高QE和光子收集量,再压低读出噪声,最后处理暗电流。顺序颠倒会导致投入大量精力优化读出噪声,却仍被散粒噪声限制。

七、onsemi传感器中的实际观察点

在评估onsemi传感器低照度表现时,建议直接查看数据手册中的几个关键曲线:QE vs 波长曲线、读出噪声 vs 增益曲线、暗电流 vs 温度曲线,以及SNR vs 曝光曲线。不要只看单一“低照度性能”指标。例如,某传感器在最高增益下读出噪声标称0.8 e⁻,但此时满阱容量可能降到几千电子,动态范围反而变窄;另一传感器读出噪声为2.5 e⁻,但QE更高、暗电流更低,在长曝光低照度下可能表现更好。

实际调试时,可以固定曝光时间和温度,逐步增加光源亮度,记录不同光强下的输出均值和标准差,拟合出SNR曲线。曲线左侧平坦区由读出噪声主导,中间过渡区由读出噪声和散粒噪声共同决定,右侧线性上升区由散粒噪声主导。通过观察拐点位置,可以判断当前系统是读出噪声受限还是散粒噪声受限,从而决定下一步优化方向。

总结来说,低照度成像不是单一噪声的战争,而是光子数、QE、读出噪声和暗电流四者在信噪比公式中的博弈。onsemi传感器通过BSI工艺、低噪声读出链和低暗电流工艺,把这场博弈的起点尽量向左推,使工程师在暗光下仍有可用的信噪比余量。理解这五个量的物理含义和相互制约关系,才能在选型、曝光设计、增益配置和图像评估中做出正确判断。