2. 第2节

我们先从最基本的马赫-曾德尔干涉仪(MZI)结构讲起。你想象一下,两根波导并排走,中间有两个耦合器,这就是MZI的骨架。我刚开始接触这东西的时候也觉得挺直观,但真正上手做测试才发现,里面的门道比表面看起来要多得多。

2.1 基本结构回顾

一个标准的MZI由以下几个部分组成:

  • 输入端口:光信号从这里进来,通常是单模波导。
  • 第一个分束器:通常是定向耦合器或多模干涉耦合器(MMI),把光分成两路。
  • 两个干涉臂:光在这两段波导里传播,积累相位差。
  • 第二个合束器:两路光在这碰到一起,再经过一个耦合器输出。
  • 输出端口:一般有两个,一个叫交叉端口,一个叫直通端口。
小提示: 在实际流片中,干涉臂的长度差需要精确控制。我见过有些设计只差几微米,结果FSR(自由光谱范围)大得根本没法用。嗯,这里要注意。
MZI基本结构与光路示意图 输入 3dB 上臂 (无加热) 下臂 (加热器,可调相位) 3dB 输出1 输出2 关键方程: ∣E_out1∣² = cos²(Δφ/2) × ∣E_in∣² ∣E_out2∣² = sin²(Δφ/2) × ∣E_in∣² 其中 Δφ = (2π/λ) × n_eff × ΔL

2.2 传输函数的数学推导

好,我们来推公式。我个人习惯先写出耦合器的传输矩阵。

对于一个理想的3-dB耦合器,它的传输矩阵是:

E_out1   =   [1/√2   j/√2]   [E_in1]
E_out2       [j/√2   1/√2]   [E_in2]

这个j代表90度的相移,也就是光从直通臂进来,有90度相移才到交叉臂。

假设光从端口1进来,E_in1 = 1,E_in2 = 0。经过第一个耦合器后:

E_upper = 1/√2          (上臂,无相移)
E_lower = j/√2          (下臂,多了90度)

然后两臂分别传播路径长度L1和L2,积累的相位是βL1和βL2:

E_upper' = (1/√2) * exp(jβL1)
E_lower' = (j/√2) * exp(jβL2)

这里β=2πn_eff/λ,是传播常数。

接着进入第二个耦合器。注意,第二个耦合器是从头到尾反过来用的,矩阵同样是:

E_out1   =   [1/√2   j/√2]   [E_upper']
E_out2       [j/√2   1/√2]   [E_lower']

把E_upper'和E_lower'代入,算一下:

输出端口的最终表达式:

E_out1 = (1/2) * exp(jβL1) + (j²/2) * exp(jβL2)
       = (1/2) * [exp(jβL1) - exp(jβL2)]

E_out2 = (j/2) * exp(jβL1) + (j/2) * exp(jβL2)
       = (j/2) * [exp(jβL1) + exp(jβL2)]

取强度(模平方):

∣E_out1∣² = 1/4 * |exp(jβL1) - exp(jβL2)|²
          = 1/4 * [2 - 2cos(βΔL)]
          = (1/2) * [1 - cos(βΔL)]
          = sin²(βΔL/2)

∣E_out2∣² = 1/4 * |exp(jβL1) + exp(jβL2)|²
          = 1/4 * [2 + 2cos(βΔL)]
          = (1/2) * [1 + cos(βΔL)]
          = cos²(βΔL/2)

你看,输出1是sin²函数,输出2是cos²函数。这就是干涉的本质。我当年推导的时候,卡在j²那个符号上卡了一下午,后来发现其实是相位符号的问题。

注意: 这里假设了耦合器是完美3-dB的。实际上,定向耦合器的分光比对工艺波动很敏感。我曾经在实验室里因为忽略MMI的实际分光比而浪费了两天时间,结果发现是仿真和流片之间的偏差。

2.3 关键参数汇总

MZI设计时,有几个参数决定了一切。我们列个表:

参数 符号 公式 物理意义
自由光谱范围 FSR FSR = λ² / (n_g · ΔL) 两个相邻干涉峰之间的波长间隔
消光比 ER ER = 10log₁₀(P_max / P_min) 信号对比度,理想是无穷大
插入损耗 IL IL = -10log₁₀(P_out / P_in) 经过MZI后的光功率损失
相位灵敏度 dφ/dλ dφ/dλ = -(2π/λ²) · n_eff · ΔL 波长变化对相位的影响

说白了,你要设计MZI,先定FSR,然后算臂长差ΔL。这是第一步。然后看消光比,如果加工不好,消光比做不高,校准起来很头痛。我个人建议在仿真阶段就预留2-3倍的余量。

2.4 相位校准的核心——为什么会漂移?

你现在理解了传输函数,但你会发现实际测试和理论总对不上。为什么会这样?三个原因:

  1. 工艺偏差:波导的宽度和厚度在高精度流片里也有±10nm的波动。
  2. 热效应:环境温度变一度,硅波导的有效折射率就变不少。
  3. 色散:不同波长的群折射率不一样,导致ΔL对应的相位差非线性。

我之前做过一个项目,用MZI做光计算芯片,初始测试时相位误差超过10度,算出来的结果根本没法看。后来就是通过内置加热器一个个调相位,才把误差压到1度以下。

调试技巧: 在测试时,准备好一个稳定的光源和光谱仪。先测无加热状态下MZI的透过率,找到波峰和波谷的位置。然后逐步给下臂加热器加电压,观察输出功率曲线的平移。你就能反推出加热器产生的相位偏置。

2.5 本章小结

我们从头到尾把MZI的结构和传输函数过了一遍。核心就是两条:耦合器矩阵和干涉臂的相位差。记住那两条sin²/cos²的公式,将来做相位校准的时候,所有算法都离不开它们。至于怎么从测试数据反推相位误差,那是后面章节的内容。