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硅光PDK组件库：热管理仿真与波导结构设计实践

共计 30 章节
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01
硅光PDK概述
PDK定义 · 硅光PDK与传统电子PDK的区别 · PDK在芯片设计流程中的作用
PDK硅光
02
硅光波导基础
波导结构（条型 · 脊型 · 槽型）
硅光波导基础波导结构
03
常见波导材料体系
SOI · SiN · SiON
常见波导材料体系SOI
04
波导传输损耗
散射损耗 · 吸收损耗 · 弯曲损耗
波导传输损耗散射损耗
05
波导耦合器设计
端面耦合 · 光栅耦合 · 倏逝波耦合的原理与典型结构参数
波导耦合器设计端面耦合
06
MMI（多模干涉耦合器）
自映像原理 · 1×2/2×2 MMI设计流程与关键…
MMI多模干涉耦合器
07
定向耦合器
耦合长度 · 耦合系数 · 波长敏感性的分析与仿真
定向耦合器耦合长度
08
马赫-曾德尔干涉仪（MZI）
MZI结构 · 分束比 · 相位差
MZI马赫
09
微环谐振器
全通型与上下载型微环 · 自由光谱范围（FSR） · Q值
微环谐振器全通型
10
阵列波导光栅（AWG）
罗兰圆原理 · 通道间隔 · 串扰
AWG阵列波导光栅
11
光栅器件
布拉格光栅 · 啁啾光栅 · 倾斜光栅在滤波与色散补偿中的应用
光栅器件布拉格光栅
12
偏振管理器件
偏振分束旋转器（PSR） · 偏振无关波导设计方法
偏振管理器件PSR
13
调制器基础
载流子色散效应 · PN结调制器 · MZM调制器结构
调制器基础载流子色散效应
14
热光效应与热管理基础
热光系数 · 热导率 · 热时间常数
热光效应热管理基础
15
热仿真基础
热传导方程 · 有限元法（FEM）在热仿真中的应用 · COMSOL/Lumerical H…
热仿真基础热传导方程
16
微加热器设计
金属加热器（Ti/Pt/Au） · 掺杂硅加热器 · ITO加热器的材料与电阻设计
微加热器设计Ti/Pt/Au
17
热调谐波导结构
热光移相器 · 热调谐MZI · 热调谐微环的设计与仿真
热调谐波导结构热光移相器
18
热串扰分析与抑制
热隔离槽 · 悬空波导 · 热沉结构的设计与仿真验证
热串扰分析抑制
19
热管理仿真实践
稳态热仿真 · 瞬态热仿真 · 热分布可视化与数据分析
热管理仿真实践稳态热仿真
20
热-光联合仿真
热场与光场耦合仿真流程 · 折射率变化映射方法
光联合仿真热场
21
PDK组件库架构
组件层次结构 · 参数化单元（PCell） · 标准接口定义
PDK组件库架构
22
PDK组件库开发流程
需求分析 · 原理图设计 · 版图设计
PDK组件库开发流程
23
波导组件PCell开发
Python/Lumerical I… · 长度 · 层叠参数化
PCell波导组件
24
耦合器组件PCell开发
定向耦合器 · MMI耦合器的参数化建模与自动版图生…
PCell耦合器组件
25
热调谐组件PCell开发
微加热器 · 热光移相器的参数化建模与电热光联合仿…
PCell热调谐组件
26
PDK组件库验证
DRC（设计规则检查） · LVS（版图与原理图一致性检查） · 仿真结果比对
PDK组件库验证
27
PDK组件库文档与发布
组件数据手册 · 仿真报告 · 使用示例
PDK组件库文档
28
典型链路仿真案例
MZI开关链路 · 微环调制链路 · AWG复用链路的PDK组件调用与系统…
典型链路仿真案例MZI
29
热管理优化设计
低功耗热调谐 · 快速热响应 · 热串扰最小化的设计策略与案例
热管理优化设计低功耗热调谐
30
硅光PDK未来趋势
异质集成 · AI辅助PDK设计 · 开放PDK生态（如SiEPIC
PDK硅光