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本课程属于：006-离子注入、退火与掺杂工程 芯片硬件与光电工程 · 共 6 门相关课程，组合学习更完整。
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半导体离子注入设备真空系统与束流传输调试技巧

共计 30 章节
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01
离子注入工艺概述
离子注入在半导体制造中的作用 · 掺杂原理 · 关键工艺参数（能量
离子注入工艺概述离子注入
02
离子注入机总体架构
离子源 · 质量分析器 · 加速管
离子注入机总体架…离子源
03
真空系统基础
真空度单位（Pa · Torr · mbar）
真空系统基础Pa
04
真空泵选型与原理
机械泵 · 罗茨泵 · 涡轮分子泵
真空泵选型原理
05
真空测量与规管
皮拉尼规 · 冷阴极规 · 热阴极规
真空测量规管
06
真空阀门与密封
闸阀 · 角阀 · 插板阀
真空阀门密封
07
真空系统检漏
氦质谱检漏法 · 压力上升率测试 · 喷氦法
真空系统检漏氦质谱检漏法
08
真空系统烘烤与除气
烘烤温度曲线 · 除气工艺 · 水汽解吸附
真空系统烘烤除气
09
离子源原理与调试
Bernas源 · RF源 · 微波源
离子源原理调试
10
质量分析器与磁铁
扇形磁铁原理 · 质量分辨率 · 磁铁电流设定
质量分析器磁铁
11
加速管与高压绝缘
加速管结构 · 高压绝缘气体（SF6） · 高压打火防护
加速管高压绝缘
12
束流传输线光学
四极透镜 · 偏转磁铁 · 束流包络
束流传输线光学四极透镜
13
束流诊断与测量
法拉第杯 · 束流剖面仪 · 束流位置监视器
束流诊断测量
14
束流扫描与均匀性
静电扫描 · 电磁扫描 · 扫描波形
束流扫描均匀性
15
终端台与晶圆传输
静电卡盘 · 机械手 · 预对准器
终端台晶圆传输
16
真空联锁与安全
真空互锁逻辑 · 高压互锁 · 辐射安全
真空联锁安全
17
真空系统调试流程
粗抽 · 预抽 · 高真空建立
真空系统调试流程粗抽
18
束流传输调试基础
束流调谐步骤 · 束流损失最小化 · 束流对中
束流传输调试基础束流调谐步骤
19
束流能量与剂量校准
能量标定方法 · 剂量计校准 · 法拉第杯校准
束流能量剂量校准
20
常见束流故障分析
束流丢失 · 束流不稳定 · 束流能量漂移
常见束流故障分析束流丢失
21
真空系统故障排查
真空度下降 · 泵组失效 · 阀门泄漏
真空系统故障排查真空度下降
22
离子源维护与寿命管理
灯丝寿命 · 源腔清洗 · 源材料更换
离子源维护寿命管理
23
质量分析器维护
磁铁极靴清洁 · 磁铁线圈冷却 · 质量分辨率下降处理
质量分析器维护磁铁极靴清洁
24
加速管维护
绝缘气体更换 · 高压部件清洁 · 加速管老练工艺
加速管维护绝缘气体更换
25
束流传输线维护
四极透镜清洁 · 束流管道内壁处理 · 束流挡板与光阑维护
束流传输线维护四极透镜清洁
26
真空系统预防性维护
泵油更换 · 轴承润滑 · 密封件更换周期
真空系统预防性维…泵油更换
27
调试工具与软件
束流模拟软件（如TRACE 3D） · 真空监控系统 · 数据采集与日志分析
调试工具软件
28
工艺调试案例
低能量高剂量注入调试 · 高能量低剂量注入调试 · 大束流调试
工艺调试案例低能量高剂量注入…
29
设备验收与性能测试
真空度验收标准 · 束流传输效率验收 · 注入均匀性验收
设备验收性能测试
30
安全规范与操作流程
高压安全 · 辐射防护 · 化学品安全
安全规范操作流程