所属分类：视觉图像与光学光电 当前为单品课程，可返回上一级继续浏览同方向资料。
← 返回上一级
← 返回所属目录 咨询 / 购买

第三代半导体材料缺陷检测方法

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
课程导入
第三代半导体材料（SiC · GaN · Ga2O3等）的定义
课程导入SiC
02
材料基础与缺陷分类
第三代半导体晶体结构 · 外延工艺简介 · 缺陷的分类体系（点缺陷
材料基础缺陷分类
03
缺陷检测技术总览
光学显微 · 扫描电子显微（SEM） · 透射电子显微（TEM）
缺陷检测技术总览光学显微
04
光学检测方法
明场/暗场光学显微 · 微分干涉对比（DIC） · 共聚焦显微
光学检测方法明场
05
扫描电子显微（SEM）与能谱分析（EDS）
SEM成像原理 · 二次电子与背散射电子模式 · 配合EDS进行缺陷区域成分分析
SEMEDS
06
透射电子显微（TEM）与高分辨分析
TEM样品制备（聚焦离子束FIB） · 衍射衬度成像 · 高分辨TEM（HRTEM）
TEM透射电子显微
07
原子力显微（AFM）与表面形貌
AFM工作原理 · 接触/非接触/轻敲模式 · 表面粗糙度
AFM原子力显微
08
X射线衍射（XRD）与高分辨XRD
XRD基本原理 · 摇摆曲线 · 倒空间图
XRDX射线衍射
09
X射线形貌术（XRT）
同步辐射X射线形貌术原理 · 透射与反射模式 · 位错
XRTX射线形貌术
10
光致发光（PL）与阴极发光（CL）光谱
PL/CL原理 · 缺陷相关的发光峰（如D1 · D2中心）
PLCL
11
拉曼光谱与应力/结构表征
拉曼散射原理 · 声子峰位移与应力关系 · 用于晶格完整性
拉曼光谱应力
12
深能级瞬态谱（DLTS）与电学缺陷检测
DLTS原理 · 深能级缺陷（如碳空位 · 硅空位）的能级与浓度测量
DLTS深能级瞬态谱
13
缺陷检测的样品制备与预处理
切割 · 研磨 · 抛光
缺陷检测的样品制…预处理
14
缺陷腐蚀与显示技术
熔融KOH腐蚀 · 氢等离子体腐蚀 · 化学刻蚀等显示位错
缺陷腐蚀显示技术
15
无损检测技术
红外热成像 · 超声显微 · X射线计算机断层扫描（CT）
无损检测技术红外热成像
16
自动化缺陷检测与图像处理
光学/电子图像的自动采集 · 图像增强 · 阈值分割
自动化缺陷检测图像处理
17
缺陷密度与统计分析方法
位错密度（EPD） · 微管密度 · 层错密度的计算
缺陷密度统计分析方法
18
缺陷对器件性能的影响
缺陷对功率器件（肖特基二极管 · MOSFET · HEMT）的漏电流
缺陷对器件性能的…缺陷对功率器件
19
典型缺陷案例库
收集SiC · GaN · Ga2O3中常见缺陷的典型图像
典型缺陷案例库SiC
20
SiC衬底缺陷检测实战
从晶圆接收到缺陷检测的完整流程 · 包括表面缺陷光学检测 · XRT体缺陷
SiC衬底缺陷检测实战
21
GaN外延层缺陷检测实战
针对GaN-on-SiC或GaN-o… · 使用AFM · SEM
GaN外延层缺陷检测实…
22
Ga2O3材料缺陷检测实战
氧化镓衬底与外延层的缺陷类型（位错 · 孪晶 · 空位）
Ga2O3材料缺陷检测实战
23
缺陷检测中的常见问题与对策
样品制备引入的伪缺陷 · 检测参数优化 · 图像判读误区
缺陷检测常见问题
24
缺陷检测标准与规范
SEMI标准 · ASTM标准 · IEC标准中关于缺陷检测的术语
缺陷检测标准规范
25
新型缺陷检测技术前沿
基于深度学习的缺陷识别 · 太赫兹时域光谱 · 光热显微
新型缺陷检测技术…基于深度学习的缺…
26
缺陷检测与材料生长工艺联动
通过缺陷检测反馈优化晶体生长（PVT · HTCVD · MOCVD）和外延工艺参数
缺陷检测材料生长工艺联动
27
综合实战项目
给定一批SiC晶圆 · 要求制定缺陷检测方案 · 执行检测（模拟或实验）
综合实战项目SiC
28
课程总结与知识体系梳理
回顾所有检测方法 · 适用场景 · 优缺点
课程总结知识体系梳理
29
考核与认证
理论考试（选择题 · 简答题）与实操考核（缺陷图像识别 · 检测数据分析）
考核认证
30
拓展学习资源与社区
推荐书籍 · · 行业会议
拓展学习资源社区