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硅光芯片多项目晶圆流片实战课程

共计 30 章节
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01
课程导入
硅光芯片多项目晶圆（MPW）流片的基… · 产业背景 · 学习目标与课程整体框架
课程导入MPW
02
硅光技术基础
硅光波导 · 耦合器 · 调制器
硅光技术基础硅光波导
03
MPW流片模式解析
MPW与全掩膜流片的区别 · MPW的共享成本机制 · 典型流片周期与费用构成
MPW流片模式解析
04
主流硅光工艺平台
介绍国内外主要硅光MPW流片平台（如… · AIM Photonics · LioniX
主流硅光工艺平台MPW
05
PDK（工艺设计套件）入门
PDK的组成结构 · 常用器件库 · 设计规则文件（DRC/LVS）以及如…
PDK工艺设计套件
06
设计环境搭建
常用EDA工具（如Lumerical · FDTD · Klayout
设计环境搭建EDA
07
硅光器件设计实战
基于PDK设计基础波导 · 弯曲波导 · 耦合器
硅光器件设计实战PDK
08
有源器件设计要点
调制器 · 探测器 · 激光器集成方案的设计考虑
有源器件设计要点调制器
09
版图设计基础
版图设计规则 · 图层定义 · 版图绘制工具操作
版图设计基础版图设计规则
10
DRC（设计规则检查）实战
运行DRC检查 · 解读常见DRC错误 · 修改版图以满足工艺规则
DRC设计规则检查
11
LVS（版图与原理图一致性检查）实战
LVS检查流程 · 常见错误类型 · 如何确保版图与设计意图一致
LVS版图
12
光电协同仿真
光学仿真与电学仿真联合分析方法 · S参数提取 · 等效电路模型构建
光电协同仿真光学仿真
13
MPW流片项目规划
项目时间线管理 · 设计评审节点 · 团队分工与风险控制策略
MPW流片项目规划
14
流片前设计检查清单
从器件性能 · 版图完整性 · 工艺兼容性到测试方案的全方位检查
流片前设计检查清…从器件性能
15
流片申请与提交流程
MPW流片申请步骤 · 文件格式要求 · 提交注意事项及与代工厂的沟通技巧
流片申请提交流程
16
流片后的测试方案设计
测试结构设计 · 光栅耦合测试方案 · 电光测试接口设计
流片后的测试方案…测试结构设计
17
封装与耦合方案
光纤耦合方式（端面耦合 · 光栅耦合） · 封装工艺对芯片性能的影响
封装耦合方案
18
典型MPW流片案例解析
分析一个完整的硅光MPW流片案例 · 从设计到测试的全程复盘
MPW典型
19
常见设计错误与规避
光栅耦合器对准误差 · 波导损耗异常 · 调制器带宽不足等典型问题及解决方案
常见设计错误规避
20
工艺偏差与鲁棒性设计
工艺角分析 · 蒙特卡洛仿真 · 如何提高设计对工艺波动的容忍度
工艺偏差鲁棒性设计
21
测试数据分析与反馈
如何从测试数据中提取器件参数 · 与仿真对比 · 迭代优化设计
测试数据分析反馈
22
MPW流片成本优化
如何通过合理布局 · 共享面积 · 减少迭代次数来降低流片成本
MPW流片成本优化
23
硅光芯片的可靠性设计
热效应 · 应力 · 老化等可靠性问题及设计应对措施
硅光芯片的可靠性…热效应
24
多项目晶圆中的设计分区与隔离
不同项目间的干扰抑制 · 隔离结构设计
多项目晶圆设计分区
25
高速硅光链路设计
调制器驱动电路 · 探测器跨阻放大器 · 高速封装互连设计
高速硅光链路设计调制器驱动电路
26
硅光芯片的测试仪器与设备
光学测试平台 · 探针台 · 矢量网络分析仪等设备的使用方法
硅光芯片的测试仪…设备
27
MPW流片项目管理工具
版本控制 · 设计数据库管理 · 团队协作工具在流片项目中的应用
MPW流片项目管理工具
28
从MPW到量产
MPW验证后的量产转移流程 · 良率提升 · 封装测试规模化考虑
MPW到量产
29
硅光MPW流片的最新趋势
先进工艺节点 · 异质集成 · AI辅助设计等前沿方向
MPW硅光
30
综合实战项目
学员独立完成一个从需求分析 · 器件设计 · 版图绘制
综合实战项目学员独立完成一个…